一种硅片甩干机制造技术

本实用新型专利技术提供一种硅片甩干机，包括机壳，支撑脚，集液箱，驱动机构，氮气机构，甩干筒机构，导流板，工控机，电源线，导轨，加热板，通孔，温度传感器和盖板，本实用新型专利技术的氮气机构，集液箱，导流板和温度传感器的设置，通过氮气机构和加热板等多种形式使硅片周围温度升高，提高硅片干燥速度，干燥过程产生的废液从出水口和出液口流入机壳底部，通过导流板进行聚集，通过管道输送到集液箱内，有效的避免废液对加工现场的污染，保证周围环境的清洁，在温度传感器上设置温度值，温度传感器检测机壳内部温度，当温度达到设定值时，会发出报警提示，提示操作人员及时采取措施，防止温度过高损坏硅片，提高硅片干燥质量。

A Silicon Wafer Dryer

【技术实现步骤摘要】
一种硅片甩干机
本技术属于硅片加工设备
，尤其涉及一种硅片甩干机。
技术介绍
太阳能作为一种清洁能源，正日益得到广泛的应用，硅片是太阳能产业中最为重要的元件，硅片在生产流程中需要经过多道处理工序，以便保证硅片的光电转换效果和光利用率，对硅片表面的制绒就是一种提高硅片光利用率的有效措施，硅片表面的制绒工序是利用硝酸和氢氟酸的混合溶液对硅片表面进行蚀刻，以增加硅片表面的面积，经过蚀刻后的硅片还需要依次浸入到水槽、碱槽、水槽内，硅片制绒完毕后，需要使硅片表面干燥，以便对硅片进行下道工序作业，要实现硅片表面的干燥，通行的做法是利用离心式的甩干机对硅片进行甩干。中国专利公开号为CN202149675U，专利技术创造的名称为一种太阳能硅片甩干机，包括壳体和上盖，壳体内具有空腔，在空腔的底部设有转盘，转盘与空腔内壁之间具有间隙，转盘上设有若干固定架，上盖与壳体之间活动连接，上盖可覆盖在空腔的口部，在上盖内表面上设有朝向所述空腔的立管，立管与水泵相连，立管突出到上盖内表面外侧部分的长度略小于空腔的深度，立管上设有若干与其内部相通的喷口，本甩干机能够有效提高硅片表面的清洁度，从而能有效提高硅片的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片甩干机，其特征在于：包括机壳(1)，支撑脚(2)，集液箱(3)，驱动机构(4)，氮气机构(5)，甩干筒机构(6)，导流板(7)，工控机(8)，电源线(9)，导轨(10)，加热板(11)，通孔(12)，温度传感器(13)和盖板(14)，所述支撑脚(2)采用四个，通过螺栓固定在机壳(1)的下方四角；所述集液箱(3)通过螺栓固定在支撑脚(2)之间；所述驱动机构(4)通过螺栓固定在集液箱(3)的上方，上端贯穿至机壳(1)的内部；所述工控机(8)通过螺栓固定在支撑脚(2)右侧的上方；所述电源线(9)嵌装在工控机(8)的下方，通过导线与工控机(8)相连；所述导轨(10)采用两个，焊接在机壳(1...

【技术特征摘要】
1.一种硅片甩干机，其特征在于：包括机壳(1)，支撑脚(2)，集液箱(3)，驱动机构(4)，氮气机构(5)，甩干筒机构(6)，导流板(7)，工控机(8)，电源线(9)，导轨(10)，加热板(11)，通孔(12)，温度传感器(13)和盖板(14)，所述支撑脚(2)采用四个，通过螺栓固定在机壳(1)的下方四角；所述集液箱(3)通过螺栓固定在支撑脚(2)之间；所述驱动机构(4)通过螺栓固定在集液箱(3)的上方，上端贯穿至机壳(1)的内部；所述工控机(8)通过螺栓固定在支撑脚(2)右侧的上方；所述电源线(9)嵌装在工控机(8)的下方，通过导线与工控机(8)相连；所述导轨(10)采用两个，焊接在机壳(1)内部的两侧；所述甩干筒机构(6)设置在机壳(1)的内部，两侧卡接在导轨(10)上，下端通过轴承与传动轴(43)相连；所述加热板(11)采用多个，通过螺栓固定在机壳(1)的内部，位于导轨(10)的上方，通过导线与工控机(8)相连；所述温度传感器(13)通过螺栓固定在机壳(1)内部上端的右侧，通过导线与工控机(8)相连；所述通孔(12)开设在机壳(1)上端的左侧，内壁设置有螺纹；所述盖板(14)通过螺栓固定在通孔(12)上，上端设置有把手；所述氮气机构(5)通过螺栓固定在机壳(1)上方的右侧，下端贯穿至机壳(1)的内部；所述导流板(7)焊接在机壳(1)内部的下方，位于甩干筒机构(6)的下方。2.如权利要求1所述的硅片甩干机，其特征在于：所述驱动机构(4)包括伺服电机(41)，减震垫(42)和传动轴(43)，所述减震垫(42)通过螺栓固定在集液箱(3)的上方；所述伺服电机(41)通过螺栓固定在减震垫(42)的上方；所述传动轴(43)通过联轴器与伺服电机(41)的输出端相连，上端贯穿至机壳(1)的内部。3.如权利要求1所述的硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：江富琴，
申请(专利权)人：嘉兴中谷半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33