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本实用新型提供一种硅片甩干机，包括机壳，支撑脚，集液箱，驱动机构，氮气机构，甩干筒机构，导流板，工控机，电源线，导轨，加热板，通孔，温度传感器和盖板，本实用新型的氮气机构，集液箱，导流板和温度传感器的设置，通过氮气机构和加热板等多种形式使硅...
该专利属于嘉兴中谷半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴中谷半导体有限公司授权不得商用。

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