一种光学检测设备防震系统技术方案

本实用新型专利技术涉及了一种光学检测设备防震系统，其包括：手套箱，其包括设置于底部的、用来放置光学检测设备的置物板；抽真空装置，用来对手套箱进行抽真空处理；清洁气体供应装置；当手套箱被抽真空完成后，借助清洁气体供应装置向手套箱内充入清洁气体；基台，其由防震台以及刚性体构成；刚性体与防震台相互独立、且围绕防震台的侧壁和底壁进行布置；手套箱放置于基台，且置物板正对应于防震台；置物板与手套箱、抽真空装置与手套箱以及清洁气体供应装置与手套箱之间均为柔性连接。这样一来，从根源上降低了基台、抽真空装置以及清洁气体供应装置的自身震动对光学检测设备造成的影响，从而提高了测量结果准确性。

A Shock-proof System for Optical Inspection Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种光学检测设备防震系统
本技术涉及光学检测设备
，特备是涉及一种光学检测设备防震系统。
技术介绍
在某些高精度检测
，需要将光学检测设备置放于手套箱内。手套箱的内腔可以根据检测需要调整为无水、无氧或无尘的环境，从而降低外界环境对光学检测精度的影响。然而，市面上现存的手套箱整体呈刚性，其自身具有震动传导性，不可避免地会影响光学检测设备的测试结果准确性。因而，亟待技术人员解决上述问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种结构设计简单，易于实现的光学检测设备防震系统。为了解决上述技术问题，本技术涉及了一种光学检测设备防震系统，其包括：手套箱，其包括设置于底部的、用来放置光学检测设备的置物板；抽真空装置，用来对手套箱进行抽真空处理；清洁气体供应装置；当手套箱被抽真空完成后，借助清洁气体供应装置向手套箱内充入清洁气体；基台，其由防震台以及刚性体构成；刚性体与防震台相互独立、且围绕防震台的侧壁和底壁进行布置；手套箱放置于基台，且置物板正对应于防震台；置物板与手套箱、抽真空装置与手套箱以及清洁气体供应装置与为手套箱之间均为柔性连接。进一步的，抽真空装置以及清洁气体供应装置均与手套箱通过软性管连接。置物板与手套箱通过弹力带连接。进一步的，防震台包括支撑板以及设置于该支撑板下方的弹簧。更进一步的，弹簧为柱状弹簧，设置为多件，且均布于支撑板下方。进一步的，该光学检测设备防震系统还包括真空压力表，其与手套箱的内腔相连通。进一步的，所述清洁气体为惰性保护气体。更进一步的，惰性保护气体为氮气或氩气中任一种通过采用上述技术方案，置物板与手套箱为柔性连接，且置物板正对于基台的防震台设置，从而有效地降低了基台自身的震动对光学检测设备的影响，另外，抽真空装置以及清洁气体供应装置均在动力源的驱动下进行工作，不可避免的存在震动，通过将两者与手套箱之间采用柔性连接，从而亦有效地降低了震动对光学检测设备的影响，进而提高其测量结果的准确性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术光学检测设备防震系统中第一种实施方式的结构示意图。图2是本技术光学检测设备防震系统中第二种实施方式的结构示意图。图3是本技术光学检测设备防震系统中防震台的结构示意图。1-手套箱；11-置物板；2-抽真空装置；3-清洁气体供应装置；4-基台；41-防震台；411-支撑板；412-弹簧；42-刚性体；5-软性管；6-弹力带；7-真空压力表。具体实施方式下面结合具体实施例，对本技术的内容做进一步的详细说明。图1示出了本技术光学检测设备防震系统中第一种实施方式的结构示意图，其由手套箱1、抽真空装置2、清洁气体供应装置3、基台4等几部分构成，其中，在手套箱1的底部设置有用来放置光学检测设备的置物板11；抽真空装置2优选由真空泵进行驱动，可用来对手套箱1的腔内进行抽真空处理；当手套箱1被抽真空完成后，借助清洁气体供应装置3向手套箱1内充入清洁气体；基台4由防震台41以及刚性体42构成；刚性体42与防震台41相互独立、且围绕防震台41的侧壁和底壁进行布置；置物板11与手套箱采用弹力带6进行连接；抽真空装置2、清洁气体供应装置3与手套箱1之间均采用软性管5进行连接，从而亦有效地降低了震动对光学检测设备的影响，进而提高其测量结果的准确性。置物板11正对于上述防震台41进行放置，从而有效地降低了基台4自身的震动对光学检测设备的影响。在实际操作过程中，可以根据实际情况对上述弹力带6的类型以及数量进行调整。在此需要说明的是，置物板11与手套箱1之间除了采用上述的弹力带6连接方式，还可以采用其他柔性连接方式，例如：由多条相互平行布置的小刚度弹簧进行替代。上述软性管5也可以通过在金属管路上通过设置多个多自由转动接头的方式来进行替代。图2示出了本技术光学检测设备防震系统中第二种实施方式的结构示意图，与第一种实施方式的区别点在于，手套箱1整体放置于防震台41上，从而取得了更好的降低震动的效果。然而，此种实施方式对防震台41的刚度要求较高，当其刚度值较低时，光学检测设备的自身平衡性难以保证，从而影响测试结果的准确性。而当防震台41的刚度值较大时，起不到降低震动的效果。图3示出了本技术光学检测设备防震系统中防震台的结构示意图，防震台41主要由支撑板411以及设置于该支撑板411下方的弹簧412构成，且为柱状弹簧。弹簧412设置为多件，且均布于支撑板411下方。通过采用上述技术方案进行设置，便于根据实际情况通过增、减弹簧412的数量来调整防震台的整体刚性。再者，上述防震台41还可以采用防震气囊、大理石台面、橡胶或塑胶等各种结构形式。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学检测设备防震系统，其特征在于，包括：手套箱，其包括设置于底部的、用来放置光学检测设备的置物板；抽真空装置，用来对所述手套箱进行抽真空处理；清洁气体供应装置；当所述手套箱被抽真空完成后，借助所述清洁气体供应装置向所述手套箱内充入清洁气体；基台，其由防震台以及刚性体构成；所述刚性体与所述防震台相互独立、且围绕所述防震台的侧壁和底壁进行布置；所述手套箱放置于基台，且所述置物板正对应于所述防震台；所述置物板与所述手套箱、所述抽真空装置与所述手套箱以及所述清洁气体供应装置与所述手套箱之间均为柔性连接。

【技术特征摘要】
1.一种光学检测设备防震系统，其特征在于，包括：手套箱，其包括设置于底部的、用来放置光学检测设备的置物板；抽真空装置，用来对所述手套箱进行抽真空处理；清洁气体供应装置；当所述手套箱被抽真空完成后，借助所述清洁气体供应装置向所述手套箱内充入清洁气体；基台，其由防震台以及刚性体构成；所述刚性体与所述防震台相互独立、且围绕所述防震台的侧壁和底壁进行布置；所述手套箱放置于基台，且所述置物板正对应于所述防震台；所述置物板与所述手套箱、所述抽真空装置与所述手套箱以及所述清洁气体供应装置与所述手套箱之间均为柔性连接。2.根据权利要求1所述的光学检测设备防震系统，其特征在于，所述抽真空装置以及所述清洁气...

【专利技术属性】
技术研发人员：李春风，
申请(专利权)人：威格气体纯化科技苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32