一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统技术方案

本实用新型专利技术涉及半导体晶圆抛光领域，具体涉及到一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统。包括机架与导轨；导轨有两条且水平安装在机架侧部；机械手爪安装板两端通过滑块与两导轨相连，机械手爪安装板至少有四块且通过一长螺杆串接；机械手爪安装板上设有齿轮齿条传动机构，齿条安装在机架上，齿轮安装在机械手爪安装板下端侧部并与齿条啮合；齿轮与水平驱动减速机相连，直线模组沿竖向设于机械手爪安装板上；直线模组与直线模组驱动电机相连；直线模组滑动件上设有机械手爪安装座；机械手爪设于机械手爪安装座上。本实用新型专利技术巧妙地实现了和夹持式机械手同样的功能动作，且减少了一组动力装置；相比于夹持式机械手，故障率与成本更低。

A Manipulator System for Ceramic Disk Cleaner

【技术实现步骤摘要】
一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统
本技术涉及半导体晶圆抛光领域，具体涉及到一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统。
技术介绍
在半导体晶圆加工的过程中有一道抛光的工序，晶圆经过抛光之后会大幅度提升其表面光洁度和表面质量。其中有一种抛光的工艺就是利用粘接剂将晶圆粘贴在陶瓷载盘上来实现的；为了实现陶瓷载盘的循环利用，必须想方法清洗掉陶瓷载盘上的粘接剂。为了使陶瓷载盘的清洗实现自动化，有必要提供一种自动化的陶瓷盘清洗机使陶瓷盘的清洗问题得以解决。目前的陶瓷盘清洗机对于陶瓷盘的搬运方式一般有两种，一是人工搬运，费时费力效率低且存在危险性；二是使用夹持式机械手,缺点是夹持过程故障率高。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统。为解决技术问题，本技术的解决方案是：提供一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统，包括机架、导轨、机械手组件与直线模组组件；导轨为直线导轨，有两条互相平行且水平安装在机架侧部；机械手组件包括机械手爪安装板与机械手爪；机械手爪安装板两端通过滑块与两导轨相连，机械手爪安装板至少有四块且通过一长螺杆串接；机械手爪安装板上设有齿轮齿条传动机构，齿轮安装在机械手爪安装板下端侧部，齿条安装在机架上，并与齿轮啮合；齿轮与水平驱动减速机相连，水平驱动减速机连接水平驱动电机；直线模组组件包括直线模组与直线模组驱动电机；直线模组沿竖向设于机械手爪安装板上；直线模组与直线模组驱动电机相连；最后端的直线模组与直线模组驱动电机间还设有竖直驱动减速机；直线模组滑动件上设有机械手爪安装座；机械手爪设于机械手爪安装座上。作为一种改进，机械手爪端部安装有陶瓷盘托块。作为一种改进，水平驱动减速机为行星减速机。作为一种改进，最前端的械手爪安装板还通过气缸连接一机械手爪安装板，该机械手爪安装板通过滑块设于导轨上；且该机械手爪安装板上设有直线模块组件与机械手爪，且装配方式与其余的机械手爪安装板相同，用于满足多工位的要求。与现有技术相比，本技术的有益效果为：本技术巧妙地实现了和夹持式机械手同样的功能动作，且减少了一组动力装置。相比于夹持式机械手，故障率更低、成本更低。附图说明图1是本技术的主视图。图2是本技术的左视图。附图标记：1-第一机械手爪安装板；2-机械手爪；3-直线模组驱动电机；4-机械手爪安装座；5-气缸；6-直线模组；7-第二机械手爪安装板；8-长螺杆；9-第三机械手爪安装板；10-行星减速机；11-齿轮；12-水平驱动电机；13-第四机械手爪安装板；14-齿条；15-竖直驱动减速机；16-第五机械手爪安装板；17-导轨；18-陶瓷盘托块。具体实施方式以下的实施例可以使本专业
的技术人员更全面的了解本技术，但不以任何方式限制本技术。本技术中，提供如图1-2所示，一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统，包括机架(图中未标出)、导轨17、机械手组件与直线模组组件；导轨17为直线导轨，有两条互相平行且沿水平向安装在机架侧部。机械手组件包括机械手爪安装板与机械手爪2。机械手爪安装板通过滑块设于导轨上，机械手爪安装板有四块且通过一长螺杆8串接。分别为第一机械手爪安装板1、第三机械手爪安装板9、第四机械手爪安装板13、第五机械手爪安装板16。第三机械手爪安装板13上设有齿轮齿条传动机构，齿轮11安装在第三机械手爪安装板13下端侧部，齿条14安装在机架上，并与齿轮11啮合。齿轮11上设有行星减速机10，行星减速机10连接水平驱动电机12。第五机械手爪安装板16上设有竖直驱动减速机15，竖直驱动减速机15上连有电机，用于驱动。第一械手爪安装板1还通过气缸5连接第二机械手爪安装板7，第二机械手爪安装板7通过滑块设于导轨上，第二机械手爪安装板7上设有直线模块组件与机械手爪，且装配方式与其余的机械手爪安装板相同，用于满足多工位的要求。直线模组组件包括直线模组6与直线模组驱动电机3。直线模组6数量与机械手爪安装板数量相同。直线模组6沿竖向固设于机械手爪安装板上。直线模组6端部与直线模组驱动电机3相连。直线模组6滑动件上各设有机械手爪安装座4。机械手爪2设于机械手爪安装座4上。机械手爪端部安装有陶瓷盘托块18。本技术的原理为：机械手爪宽度大于陶瓷盘直径，而手爪底部宽度小于陶瓷盘直径；当陶瓷盘被放置于陶瓷盘清洗及内部固定架上时，机械手爪下降到底，水平驱动电机驱动手爪水平移动，移动至陶瓷盘位于机械手爪中心时，机械手爪在直线模组带动下向上运动，此时陶瓷盘因为重力刚好卡在陶瓷盘托块上，陶瓷盘因此被手爪运输至下一工位；陶瓷盘卸载过程刚好与上载过程相反，直线模组驱动机械手爪下降，当陶瓷盘嵌入陶瓷盘清洗机内部固定架上时，机械手爪继续移动一小段距离使陶瓷盘和陶瓷盘托块完全脱离开，水平驱动电机驱动机械手爪水平移动并上升至原始工位。因此，本技术的实际范围不仅包括所公开的实施例，还包括在权利要求书之下实施或者执行本技术的所有等效方案。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统，其特征在于，包括机架、导轨、机械手组件与直线模组组件；所述导轨为直线导轨，有两条互相平行且沿水平向安装在机架侧部；所述机械手组件包括机械手爪安装板与机械手爪；所述机械手爪安装板两端通过滑块与两导轨相连，机械手爪安装板至少有四块且通过一长螺杆串接；机械手爪安装板上设有齿轮齿条传动机构，齿轮安装在机械手爪安装板下端侧部，齿条安装在机架上，并与齿轮啮合；齿轮与水平驱动减速机相连，水平驱动减速机连接水平驱动电机；所述直线模组组件包括直线模组与直线模组驱动电机；直线模组沿竖向设于机械手爪安装板上；直线模组与直线模组驱动电机相连；最后端的直线模组与直线模组驱动电机间还设有竖直驱动减速机；所述直线模组滑动件上设有机械手爪安装座；机械手爪设于所述机械手爪安装座上。

【技术特征摘要】
1.一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统，其特征在于，包括机架、导轨、机械手组件与直线模组组件；所述导轨为直线导轨，有两条互相平行且沿水平向安装在机架侧部；所述机械手组件包括机械手爪安装板与机械手爪；所述机械手爪安装板两端通过滑块与两导轨相连，机械手爪安装板至少有四块且通过一长螺杆串接；机械手爪安装板上设有齿轮齿条传动机构，齿轮安装在机械手爪安装板下端侧部，齿条安装在机架上，并与齿轮啮合；齿轮与水平驱动减速机相连，水平驱动减速机连接水平驱动电机；所述直线模组组件包括直线模组与直线模组驱动电机；直线模组沿竖向设于机械手爪安装板上；直线模组与直线模组...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂瑾，曹建伟，朱亮，卢嘉彬，马旭，周锋，刘文涛，刘小琴，郑猛，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33