【技术实现步骤摘要】
一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置
本技术涉及反应喷淋装置
，具体为一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置。
技术介绍
由于金属有机化合物化学气相沉积技术具有可以生长纯度很高的材料、生长易于控制、生长超薄外延层和大规模生产等优点，所以金属有机化合物化学气相沉积技术成为现在制备化合物半导体薄膜的关键技术，如Zn(C2H5)2气体和水蒸气反应制备ZnO薄膜，被广泛的应用于太阳能电池、传感器和发光管等领域。但大部分金属有机化合物化学气相沉积设备都来源于进口，易耗品及备件中价格最高的就是反应器的喷淋头，目前有垂直喷淋方式、双束流方式和径向三重流方式，以双束流方式为主，但上述方式的大面积沉积有反应不充分造成原材料浪费和沉积不够均匀影响工艺的问题，给使用者带来了许多不便，故而提出了一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置来解决上述中提出的问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置，具备喷洒角度广且反应面积大等优点，解决了现有方式的大面积沉积有反应不充分造成原材料浪费和沉积不够均匀影响工艺的问题，给使用者带来...
【技术保护点】
1.一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置，包括两个安装底座(1)，其特征在于：两个所述安装底座(1)的顶部均固定安装有支撑柱(2)，两个所述支撑柱(2)的顶部均固定安装有安装加工板(3)，所述安装加工板(3)的顶部左右两侧均固定安装有原料上料座(4)，两个所述原料上料座(4)的顶部均活动安装有原料存储罐(5)，所述安装加工板(3)的内部开设有与原料存储罐(5)相连接的喷淋主管(6)，所述安装加工板(3)的底部固定安装有延伸至喷淋主管(6)内部的喷淋分支管(7)，所述喷淋分支管(7)的底部固定安装有高度调节管(11)，所述高度调节管(11)的内部活动安装有喷淋延伸管(15)...
【技术特征摘要】
1.一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置，包括两个安装底座(1)，其特征在于：两个所述安装底座(1)的顶部均固定安装有支撑柱(2)，两个所述支撑柱(2)的顶部均固定安装有安装加工板(3)，所述安装加工板(3)的顶部左右两侧均固定安装有原料上料座(4)，两个所述原料上料座(4)的顶部均活动安装有原料存储罐(5)，所述安装加工板(3)的内部开设有与原料存储罐(5)相连接的喷淋主管(6)，所述安装加工板(3)的底部固定安装有延伸至喷淋主管(6)内部的喷淋分支管(7)，所述喷淋分支管(7)的底部固定安装有高度调节管(11)，所述高度调节管(11)的内部活动安装有喷淋延伸管(15)，所述喷淋延伸管(15)的底部固定安装有方向调节座(12)，所述方向调节座(12)的内部活动安装有旋转调节管(16)，所述旋转调节管(16)的底部固定安装有喷淋柱头(14)，所述喷淋柱头(14)的外表面套接有调节挡片(13)，两个所述安装底座(1)形成的夹缝处固定安装有反应座(8)，所述反应座(8)的顶部固定...
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