下载一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置的技术资料

文档序号:21918200

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本实用新型涉及反应喷淋装置技术领域,且公开了一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置,包括两个安装底座,两个所述安装底座的顶部均固定安装有支撑柱,两个所述支撑柱的顶部均固定安装有安装加工板,所述安装加工板的顶部左右两侧均固定安装有原料上料座。...
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