借助角度选择的照射确定样本对象的布置制造技术

本发明专利技术涉及一种用于确定样本对象(1031)在光学设备(100)中的布置的方法，包括：从至少一个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)和从至少一个第二照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)。所述方法也包括：执行在指示在从所述至少一个第一照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的图像的至少一个部段的数据与在从所述至少一个第二照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的图像的至少一个部段的数据之间的相关。该方法也包括：基于所述相关确定所述样本对象(1031)相对于所述光学设备的焦点平面(1035)的布置。

Determining the layout of sample objects by means of angle-selected irradiation

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】借助角度选择的照射确定样本对象的布置
本专利技术的不同的实例大体上涉及用于通过从不同的照射方向对样本对象照射来确定样本对象在光学设备中的布置的技术。本专利技术的不同的实例尤其涉及借助执行在数据之间的校正来确定布置，所述数据对应于不同的照射方向。
技术介绍
在DE102014109687A1中公开了如下技术来从不同的照射方向照射样本对象(角度选择的照射或结构化的照射)。这样获得的图像接着可以被数字处理或者分析。由此，可以获得附加的信息，例如样本对象距相应的光学设备的焦点平面的距离。已观察到，传统的用于在角度选择的照射情况下进行数字再处理的技术在特定的情况下只能具有有限的精度。例如，会出现，在距光学设备的焦点平面比较远地设置样本对象的情况下，数字再处理只能以很大的不精确性执行。
技术实现思路
因此，需要改进的技术来在角度选择的照射的情况下进行数字再处理。尤其是，存在对如下技术的需求：消除上述的缺点和局限性中的至少一些。该任务根据独立权利要求的特征来解决。从属权利要求的特征限定了实施形式。在一个实例中，用于确定样本对象在光学设备中的布置的方法包括：从至少一个第一照射方向照射样本对象，并且从至少一个第二照射方向照射样本对象。该方法也包括：执行在指示在从至少一个第一照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据与指示在从至少一个第二照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据之间的相关。该方法也包括：基于所述相关确定所述样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。在另一实例中，计算机程序产品包括程序代码，所述程序代码可以由至少一个计算单元执行。程序代码的执行实现了，至少一个计算单元执行用于确定样本对象在光学设备中的布置的方法。该方法包括：从至少一个第一照射方向照射样本对象和从至少一个第二照射方向照射样本对象。该方法也包括：执行在指示在从至少一个第一照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据与指示在从至少一个第二照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据之间的相关。该方法也包括：基于所述相关确定所述样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。在另一实例中，计算机程序产品包括程序代码，所述程序代码可以由至少一个计算单元执行。程序代码的执行实现了，至少一个计算单元执行用于确定样本对象在光学设备中的布置的方法。该方法包括：从至少一个第一照射方向照射样本对象和从至少一个第二照射方向照射样本对象。该方法也包括：执行在指示在从至少一个第一照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据与指示在从至少一个第二照射方向进行照射的情况下样本对象的的图像的至少一个部段的数据之间的相关。该方法也包括：基于所述相关确定所述样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。在另一实例中，光学设备包括至少一个计算单元以及照射模块，其具有多个光源。多个光源限定了多个照射方向。光学设备也包括样本保持器，其构建为，固定样本对象。至少一个计算单元构建为，驱动用于从至少一个第一照射方向照射样本对象的照射模块，和驱动用于从至少一个第二照射方向照射样本对象的照射模块。至少一个计算单元还构建为，执行在指示在从至少一个第一照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据与指示在从至少一个第二照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据之间的相关。至少一个计算单元还构建为，基于所述相关确定所述样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。在一个实例中，用于确定样本对象在光学设备中的布置的方法包括：从至少一个第一照射方向照射样本对象，并且从至少一个第二照射方向照射样本对象。该方法也包括：执行在指示在从至少一个第一照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据与指示在从所述至少一个第二照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据之间的比较。该方法也包括：基于所述比较确定所述样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。在另一实例中，计算机程序产品包括程序代码，所述程序代码可以由至少一个计算单元执行。程序代码的执行实现了，至少一个计算单元执行用于确定样本对象在光学设备中的布置的方法。该方法包括：从至少一个第一照射方向照射样本对象和从至少一个第二照射方向照射样本对象。该方法也包括：执行在指示在从至少一个第一照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据与指示在从所述至少一个第二照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据之间的比较。该方法也包括：基于所述比较确定所述样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。在另一实例中，计算机程序产品包括程序代码，所述程序代码可以由至少一个计算单元执行。程序代码的执行实现了，至少一个计算单元执行用于确定样本对象在光学设备中的布置的方法。该方法包括：从至少一个第一照射方向照射样本对象和从至少一个第二照射方向照射样本对象。该方法也包括：执行在指示在从至少一个第一照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据与指示在从所述至少一个第二照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据之间的比较。该方法也包括：基于所述比较确定所述样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。在另一实例中，光学设备包括至少一个计算单元以及照射模块，其具有多个光源。多个光源限定了多个照射方向。光学设备也包括样本保持器，其构建为，固定样本对象。至少一个计算单元构建为，驱动用于从至少一个第一照射方向照射样本对象的照射模块，和驱动用于从至少一个第二照射方向照射样本对象的照射模块。至少一个计算单元还构建为，将在指示在从至少一个第一照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据与指示在从所述至少一个第二照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据之间的比较相关。至少一个计算单元还构建为，基于所述比较确定所述样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。例如可能的是，基于所述比较和尤其相关，确定在从至少一个第一照射方向下进行照射的情况下样本对象的成像与在从至少一个第二照射方向下进行照射的情况下样本对象的成像之间的距离。基于所述距离于是可以确定布置。例如，所述布置可以指样本对象相对于焦点平面的位置，即例如在样本对象与焦点平面之间的距离。也可能的是，所述布置指样本对象相对于焦点平面的范围，即平行于光学设备的光学主轴的范围。上文所述的特征和下文将描述的特征不仅能够以对应明确地描述的组合使用而且也能够以其他组合或单独地使用，而不脱离本专利技术的保护范围。附图说明本专利技术的上面所述的特性、特征和优点以及如其实现的方式和方法结合以下对实施例的描述而能够更为清楚且明白地理解，所述实施例结合附图更为详细地予以阐述。图1示出了根据不同的实例的光学设备的示意图，所述光学设备具有计算单元、照射模块和样本保持器。图2示出了示例性的用于确定样本对象相对于焦点平面的布置的方法的流程图。图3示出了根据不同的实例的照射模块的示意图。图4示意性地阐明了根据不同的实例的在不同的照射方向下对样本对象的照射。图5示意性地阐明了样本对象的多个图像，其中根据不同的实例的不同的图像包含在从不同的照射方向进行照射的情况下样本对象的成像。图6示意性地阐明了样本对象的单独图像，其中根据本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于确定样本对象(1031)在光学设备(100)中的布置的方法，所述方法包括：‑从至少一个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，‑从至少一个第二照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，‑执行在指示在从所述至少一个第一照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的图像(111，112，113)的至少一个部段的数据(111，112，120，121，122)与指示在从所述至少一个第二照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的图像(111，112，113)的至少一个部段的数据(111，112，120，121，122)之间的相关(199)，以及‑基于所述相关(199)确定所述样本对象(1031)相对于所述光学设备(100)的焦点平面(1035)的布置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.11.30 DE 102016123154.11.一种用于确定样本对象(1031)在光学设备(100)中的布置的方法，所述方法包括：-从至少一个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，-从至少一个第二照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，-执行在指示在从所述至少一个第一照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的图像(111，112，113)的至少一个部段的数据(111，112，120，121，122)与指示在从所述至少一个第二照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的图像(111，112，113)的至少一个部段的数据(111，112，120，121，122)之间的相关(199)，以及-基于所述相关(199)确定所述样本对象(1031)相对于所述光学设备(100)的焦点平面(1035)的布置。2.根据权利要求1所述的方法，其中，在时域中并行地执行从所述至少一个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)和从所述至少一个第二照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，其中，所述相关(199)是数据(111，112，120，121，122)的自相关，所述数据指示在从所述第一照射方向(1051，1052)和所述第二照射方向(1051，1052)共同照射的情况下样本对象(1031)的图像(113)的至少一个部段。3.根据权利要求1所述的方法，其中，在时域中顺序地执行从所述至少一个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)和从所述至少一个第二照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，其中所述相关(199)是在指示在从所述第一照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的第一图像(111，112)的至少一个部段的第一数据(111，112，120，121，122)与指示在从所述第二照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的第二图像(111，112)的至少一个部段的第二数据(111，112，120，121，122)之间的互相关。4.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中，在时域中并行地利用多个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，其中所述多个第一照射方向(1051，1052)按第一图案(1042，1042-1，1042-2)设置，并且包括所述第一照射方向(1051，1052)，其中，在时域中并行地利用多个第二照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，其中所述多个第二照射方向(1051，1052)按第二图案(1042，1042-1，1042-2)设置，并且包括所述第二照射方向(1051，1052)，其中，所述第一图案(1042，1042-1，1042-2)能够通过平移(2041)成像到所述第二图案(1042，1042-1，1042-2)。5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述第一图案(1042，1042-1，1042-2)具有垂直于所述平移的方向的范围(1045A)，所述范围为所述第一图案(1042，1042-1，1042-2)平行于所述平移(2041)的方向的范围(1046A)至少两倍，可选地为至少五倍，进一步可选地为至少二十倍。6.根据权利要求4或5所述的方法，所述方法进一步包括：-基于对应的图像(111，112，113)沿着垂直于所述平移(2041)的横向方向(1045，1046)的像素(115)的组合，确定指示对应的图像(111，112，113)的至少一个部段的相应的数据(111，112，120，121，122)。7.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其还包括：-基于对应的图像(111，112，113)的对比图像(120)确定所述数据(111，112，120，121，122)。8.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述相关(199)是沿着在所述至少一个第一照射方向(1051，1052)和所述至少一个第二照射方向(1051，1052)之间的连接线(1040)的一维相关(199)。9.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其还包括：-借助所述光学设备(100)执行长时间测量，其中从所述至少一个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，并从所述至少一个第二照射方向(1051，1052...

【专利技术属性】
技术研发人员：拉尔斯·施托佩，托马斯·奥尔特，马库斯·斯帝克尔，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE