一种透明柔性显示系统及其制备方法技术方案

本发明专利技术提供了一种透明柔性显示系统及其制备方法，涉及显示技术领域。透明柔性显示系统包括透明柔性基底、显示阵列、互连电极和驱动模块。所述显示阵列包括多个呈阵列形式排布的微LED；互连电极电连接于所述微LED，驱动模块电连接于所述互连电极，用于驱动至少部分所述微LED。所述互连电极采用金属性碳纳米管材料制成，互连电极具有良好的透光性、导电性和柔韧性，且制备方法简便。

A transparent flexible display system and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种透明柔性显示系统及其制备方法
本专利技术涉及显示
，具体而言，涉及一种透明柔性显示系统及其制备方法。
技术介绍
透明显示是指一种在显示图像的同时，能让屏幕后方光线通过，从而观察到屏幕后方景象的显示技术。柔性显示是指显示屏幕可进行一定程度的弯曲，进行曲面显示。微尺寸LED显示是如今最热门的显示技术之一，相比于液晶显示(LCD)和有机发光二极管显示(OLED)，具有高亮度、低功耗、高寿命的优势。因此，将微LED应用于透明柔性显示中，具有重要的研究和应用价值。但是现有的微LED透明显示系统中，采用的互连电极在透光性、导电性和柔韧性这些方面均不太理想。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种透明柔性显示系统及其制备方法，其互连电极具有良好的透光性、导电性和柔韧性，且制备方法简便。本专利技术实施例提供的第一种技术方案：一种透明柔性显示系统包括：透明柔性基底；显示阵列，其位于所述透明柔性基底上，所述显示阵列包括多个呈阵列形式排布的微LED；互连电极，其位于所述透明柔性基底上，且电连接于所述微LED，所述互连电极采用金属性碳纳米管材料制成；驱动模块，其电连接于所述互连电极，用于驱动至少部分所述微LED。进一步地，所述透明柔性基底采用聚乙烯、聚丙烯、聚对苯二甲酸乙醇酯、聚酰亚胺中的任一种材料制成。进一步地，所述微LED的宽度的范围为1μm～200μm，所述微LED的厚度的范围为1μm～100μm。进一步地，所述驱动模块为被动矩阵驱动模块或主动矩阵驱动模块。本专利技术实施例提供的第二种技术方案：一种透明柔性显示系统的制备方法包括：转移多个微LED至透明柔性基底形成显示阵列；在所述透明柔性基底上形成与所述微LED电连接的互连电极；将驱动模块与所述互连电极电连接，用于驱动至少部分所述微LED；其中，所述互连电极采用金属性碳纳米管材料制成。进一步地，所述在所述透明柔性基底上形成与所述微LED电连接的互连电极的步骤，包括：将金属性碳纳米管材料分散在分散液中；将所述分散液旋涂在所述透明柔性基底上，形成金属性碳纳米管薄膜；在所述金属性碳纳米管薄膜上形成介质保护绝缘层；对所述金属性碳纳米管薄膜和所述介质保护绝缘层进行图案化，形成与所述微LED电连接的所述互连电极。进一步地，所述介质保护绝缘层采用SiO2、SiNx、SU-8、polyimide中的一种或多种材料形成。进一步地，所述转移多个微LED至透明柔性基底形成显示阵列的步骤之前，包括：在发光半导体外延片上形成多个所述微LED；将所述微LED从所述发光半导体外延片上剥离。进一步地，所述发光半导体外延片为GaN蓝绿光外延片、InGaN蓝绿光外延片、AlGaInP红光外延片、AlGaN紫外光外延片中的任一种。进一步地，所述转移多个微LED至透明柔性基底形成显示阵列的步骤之前，包括：采用聚乙烯、聚丙烯、聚对苯二甲酸乙醇酯、聚酰亚胺中的任一种材料制成所述透明柔性基底。本专利技术实施例提供的透明柔性显示系统及其制备方法的有益效果是：采用金属性碳纳米管材料制成互连电极，使互连电极具有良好的透光性、导电性和柔韧性，且制备方法简单。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术实施例提供的透明柔性显示系统的一种结构示意图。图2为本专利技术实施例提供的透明柔性显示系统的另一种结构示意图。图3至图7为透明柔性显示系统的一种制备方法的流程图。图8至图11为透明柔性显示系统的一种制备方法的流程图。图标：1-透明柔性显示系统；2-透明柔性基底；3-互连电极；4-驱动模块；5-微LED；6-金属性碳纳米管薄膜；7-介质保护绝缘层；8-介质材料层；9-透明柔性TFT。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。相比于LCD和OLED，微LED显示的集成组装有一定的特殊性，需要通过异质集成的方法，将微LED从原基底剥离再转移至工作基底上，再进行互连集成封装。因此，采用微LED的透明柔性显示系统，需要将微LED转移后，再进行互连。现有的透明柔性显示系统中的互连电极，主要采用氧化铟锡(ITO)、氧化锌(ZnO)、Ni/Au、Ag、Cu等材料制成。传统制备的方法是先通过电子束蒸发或磁控溅射沉积形成电极层，再光刻腐蚀或者剥离进行图案化，或者是直接通过喷墨打印的方法制备图案化金属纳米线电极。但是作为透明金属电极的Ni/Au和ITO、ZnO等材料的韧性不足，弯曲性能较差。Ag、Cu等金属纳米线的透光性较弱，制备条件较为苛刻，需要精度较高的喷墨打印设备，且制备效率相比于光刻制备的效率较低。金属性碳纳米管材料(CNT)具有良好的透光性、导电性和柔韧性，可代替现有的电极材料，作为互连电极。请参阅图1，本实施例提供了一种透明柔性显示系统1，透明柔性显示系统1包括透明柔性基底2、显示阵列、互连电极3和驱动模块4。透明柔性基底2指的是具有一定柔韧性的透明基底，可进行一定程度的弯折而不受损坏。透明柔性基底2包含但不仅限于使用以下透明柔性材料制成：聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚对苯二甲酸乙醇酯(PET)、聚酰亚胺(PI)等。显示阵列位于透明柔性基底2上，显示阵列包括多个呈阵列形式排布的微LED5。微LED5的宽度的范围可以为1μm～200μm，微LED5的厚度的范围可以为1μm～100μm。微LE本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透明柔性显示系统，其特征在于，包括：透明柔性基底(2)；显示阵列，其位于所述透明柔性基底(2)上，所述显示阵列包括多个呈阵列形式排布的微LED(5)；互连电极(3)，其位于所述透明柔性基底(2)上，且电连接于所述微LED(5)，所述互连电极(3)采用金属性碳纳米管材料制成；驱动模块(4)，其电连接于所述互连电极(3)，用于驱动至少部分所述微LED(5)。

【技术特征摘要】
1.一种透明柔性显示系统，其特征在于，包括：透明柔性基底(2)；显示阵列，其位于所述透明柔性基底(2)上，所述显示阵列包括多个呈阵列形式排布的微LED(5)；互连电极(3)，其位于所述透明柔性基底(2)上，且电连接于所述微LED(5)，所述互连电极(3)采用金属性碳纳米管材料制成；驱动模块(4)，其电连接于所述互连电极(3)，用于驱动至少部分所述微LED(5)。2.根据权利要求1所述的透明柔性显示系统，其特征在于，所述透明柔性基底(2)采用聚乙烯、聚丙烯、聚对苯二甲酸乙醇酯、聚酰亚胺中的任一种材料制成。3.根据权利要求1所述的透明柔性显示系统，其特征在于，所述微LED(5)的宽度的范围为1μm～200μm，所述微LED(5)的厚度的范围为1μm～100μm。4.根据权利要求1所述的透明柔性显示系统，其特征在于，所述驱动模块(4)为被动矩阵驱动模块(4)或主动矩阵驱动模块(4)。5.一种透明柔性显示系统的制备方法，其特征在于，包括：转移多个微LED(5)至透明柔性基底(2)形成显示阵列；在所述透明柔性基底(2)上形成与所述微LED(5)电连接的互连电极(3)；将驱动模块(4)与所述互连电极(3)电连接，用于驱动至少部分所述微LED(5)；其中，所述互连电极(3)采用金属性碳纳米管材料制成。6.根据权利要求5所述的透明柔性显示系统的制备方法，其特征在于，所述在所述透明柔...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘章旭，龚政，龚岩芬，刘久澄，郭婵，陈志涛，
申请(专利权)人：广东省半导体产业技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东,44