一种具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法技术

本发明专利技术涉及涂层制备工艺技术领域，具体公开了一种具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法，包括以下步骤：将工件经清洗干净并干燥后，放入真空室内的工件架中，然后用机械泵和涡轮分子泵把真空腔室抽至高真空；在真空室外壁装六个矩形磁控靶，三个所述磁控靶采用石墨，两个所述磁控靶采用铬或钛，一个所述磁控靶采用银；利用高纯氩气作为工作气体进行溅射过程，利用射频电极离化高纯氩气，在基材的表面最终形成类金刚石涂层，其中掺杂有银的纳米颗粒。该具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法，利用溅射工艺在金属基材上制备出具有高附着力和高耐磨性的类金刚石涂层，并掺杂有银纳米颗粒，具有抗菌功能。

Preparation of a Diamond-like Coating with Antibacterial and High Wear Resistance

【技术实现步骤摘要】
一种具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法
本专利技术涉及涂层制备工艺
，具体是一种具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法。
技术介绍
类金刚石涂层由于具有高硬度和弹性模量、光学透明性、良好的导热性、化学惰性、优异的摩擦学性能以及生物相容性等特性而受到广泛的关注。通常DLC涂层具有无定形结构，构成类金刚石的主要元素是碳，其涂层结构由碳的sp3和sp2形态混合而成，类金刚石涂层的性能很大程度上取决于膜层中sp3/sp2的比例。但是，类金刚石材料本身具有脆性和高应力，因此极大的限制了类金刚石的实际应用，并且类金刚石涂层在许多金属基材上的附着强度不足，类金刚石涂层不具备抗菌特性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法，包括以下步骤：步骤一：将工件经清洗干净并干燥后，放入真空室内的工件架中，然后用机械泵和涡轮分子泵把真空腔室抽至高真空；步骤二：在真空室外壁装六个矩形磁控靶，对称排列，用水冷方式进行循环冷却本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：将工件经清洗干净并干燥后，放入真空室内的工件架中，然后用机械泵和涡轮分子泵把真空腔室抽至高真空；步骤二：在真空室外壁装六个矩形磁控靶，对称排列，用水冷方式进行循环冷却，相邻磁控靶的磁极相反，三个所述磁控靶采用石墨，两个所述磁控靶采用铬或钛，一个所述磁控靶采用银，利用脉冲电源施加偏压；步骤三：利用高纯氩气作为工作气体进行溅射过程，利用射频电极离化高纯氩气，在基材的表面最终形成类金刚石涂层，其中掺杂有银的纳米颗粒。

【技术特征摘要】
1.一种具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：将工件经清洗干净并干燥后，放入真空室内的工件架中，然后用机械泵和涡轮分子泵把真空腔室抽至高真空；步骤二：在真空室外壁装六个矩形磁控靶，对称排列，用水冷方式进行循环冷却，相邻磁控靶的磁极相反，三个所述磁控靶采用石墨，两个所述磁控靶采用铬或钛，一个所述磁控靶采用银，利用脉冲电源施加偏压；步骤三：利用高纯氩气作为工作气体进行溅射过程，利用射频电极离化高纯氩气，在基材的表面最终形成类金刚石涂层，其中掺杂有银的纳米颗粒。2.根据权利要求1所述的具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法，其特征在于，步骤二中，所述石墨作为碳源，用来沉积类金刚石涂层，所述铬或钛作为金属过渡层。3.根据权利要求2所述的具有抗菌和高...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄惠，黄兴，王磊，黄亮，
申请(专利权)人：东莞市和荣纳米技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44