覆金属层叠板及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种提升了含镍元素的金属层与聚酰亚胺层的剥离强度的覆金属层叠板及其制造方法。覆金属层叠体包括：含镍元素的金属层、及包含层叠于所述金属层上的单层或多层的聚酰亚胺层的绝缘树脂层，且所述金属层是通过利用X射线光电子分光法对与所述绝缘树脂层接触的表面进行测定，而观测到氧化镍的峰值，且未观测到镍的峰值的金属层。所述覆金属层叠板的制造方法包括：(a)通过将聚酰亚胺前体的树脂溶液涂布于含镍元素的金属构件并进行热处理，而形成具有单层或多层的聚酰亚胺层的绝缘树脂层的步骤；(b)通过在包含氧化剂的环境中对所述金属构件进行氧化处理，而在形成所述绝缘树脂层一侧的表面形成氧化镍的被膜的步骤。

Metal-clad laminates and their manufacturing methods

【技术实现步骤摘要】
覆金属层叠板及其制造方法
本专利技术涉及一种在含镍元素的金属层上层叠聚酰亚胺层的覆金属层叠板及其制造方法。
技术介绍
备所使用的柔性印制配线板(flexibleprintedcircuit，FPC)、柔性太阳电池、锂离子电池的负极材、硬盘驱动器(harddiskdrive)的悬架(suspension)、液晶显示器(liquidcrystaldisplay，LCD)的材料、有机电致发光(electroluminescence，EL)显示器的构件、辅助材料等中得到广泛研究，正扩大在各种用途中采用。例如，有机EL显示装置被用于电视机这样的大型显示器、移动电话、个人计算机、智能手机等小型显示器或照明等中。所述有机EL显示装置是在作为支撑基材的包含玻璃或树脂的被蒸镀体(被蒸镀基板)上形成薄膜晶体管(thinfilmtransistor)(以下为TFT)，进而，依次形成电极、发光层、电极，最后，另行利用玻璃基板或多层薄膜等进行气密密封而制作。从前，在有机EL显示装置的发光层、阴极电极的形成中，对于被蒸镀体，在应进行蒸镀的区域，例如使用仅包含排列多个微细的开口部而成的金属层的蒸镀掩模。另外，近年来为了提升生产性，而需要应对因被蒸镀体的大型化而产生的生产性的提升、或有机EL显示装置的大型化，因此对于蒸镀掩模，大型化的要求也正在提高。例如，专利文献1中公开有将金属掩模与树脂掩模利用粘接剂贴合的蒸镀掩模。另外，专利文献2中公开有将透过可见光的树脂制的膜与金属制板体进行面接合的蒸镀掩模。其中，专利文献1中记载有，作为树脂掩模的材料，优选能够通过激光加工等形成高精细的开口部，且热或经时变化小、轻量的材料，作为此种材料，例示有聚酰亚胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酯、聚乙烯、聚乙烯醇、聚丙烯、聚碳酸酯、聚苯乙烯等。另外，专利文献2中公开有就耐热性高、且可精度良好地形成开口部的方面而言，优选聚酰亚胺。然而，若使用粗糙度高的金属制板体，则当在金属制板体形成开口图案时，呈现出金属制板体的表面轮廓被转印到树脂层的底部的状态。因此，理想的是使用表面粗糙度低的金属制板体，但表面粗糙度低的金属制板体由于锚固效应(anchoringeffect)、即绝缘树脂层对金属制板体的表面的凸凹的咬入量小，而有提高表面粗糙度低的金属制板体与树脂层的粘接力的课题。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2013-163864号公报[专利文献2]日本专利特开2013-83704号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]本专利技术的目的在于提供一种提升了含镍元素的金属层与聚酰亚胺层的剥离强度的覆金属层叠板及其制造方法。[解决问题的技术手段]本专利技术的覆金属层叠板包括：含镍元素的金属层、及包含层叠于所述金属层上的单层或多层的聚酰亚胺层的绝缘树脂层，且所述金属层是通过利用X射线光电子分光法对与所述绝缘树脂层接触的表面进行测定，而观测到氧化镍的峰值，且未观测到镍的峰值的金属层。另外，本专利技术的覆金属层叠板优选为与所述金属层接触的所述聚酰亚胺层的350℃下的储存弹性系数为1×108Pa以上。另外，本专利技术的覆金属层叠板优选为所述绝缘树脂层的热膨胀系数为-5ppm/K～30ppm/K的范围内。本专利技术的覆金属层叠板的制造方法包括下述步骤(a)及步骤(b)：(a)通过将聚酰亚胺前体的树脂溶液涂布于含镍元素的金属构件并进行热处理，而形成具有单层或多层的聚酰亚胺层的绝缘树脂层的步骤；(b)通过在包含氧化剂的环境中对所述金属构件进行氧化处理，而在形成所述绝缘树脂层一侧的表面形成氧化镍的被膜的步骤。另外，本专利技术的覆金属层叠板的制造方法优选为在所述步骤(a)的热处理的过程中进行所述步骤(b)的氧化处理。另外，本专利技术的覆金属层叠板的制造方法优选为所述氧化剂为氧气，且所述氧气的浓度为1体积％～25体积％的范围内。[专利技术的效果]本专利技术的覆金属层叠板中，金属层与绝缘树脂层的密接性优异，且热稳定性及尺寸稳定性优异。另外，根据本专利技术的覆金属层叠板的制造方法，可利用简单的方法制造密接性优异的覆金属层叠板。具体实施方式＜金属层＞金属层只要含有镍元素则并无特别限制，可适宜使用用作镍合金者。具体而言，可例示不锈钢、铁镍合金、镍铜合金等。这些中，作为铁镍合金的因瓦合金(Invar)由热所导致的变形少，因而可适宜使用。另外，在对被蒸镀体进行蒸镀时，在被蒸镀体的后方设置磁石等而通过磁力来吸引蒸镀掩模的情况下，优选为由磁性体来形成金属层。金属层可使用金属箔，也可通过例如溅射(sputtering)等方法来形成金属层。另外，视需要也可通过电镀等来调整金属层的厚度。金属层的厚度并无特别限制，可设为可抑制断裂或变形并且考虑到蒸镀阴影的产生的厚度，优选为2μm～100μm。金属层具有以下特征：通过利用X射线光电子分光法(X-rayphotoelectronspectroscopy，XPS)对与绝缘树脂层接触的表面进行测定，而观测到氧化镍的峰值，且未观测到镍的峰值。此外，本说明书中，将分别加以区分而使用“氧化镍”与“镍”的用语，在仅称为“镍”的情况下表示不包含氧化镍。除NiO及Ni2O3以外，氧化镍还可以Ni(OH)2的形式存在，可形成为存在于金属层的表面的氧化镍的被膜。此种氧化镍的被膜可为部分存在于金属层的表面的被膜，优选为遍及所述金属层的表面整体的被膜。另外，氧化镍的被膜可包含结晶性高的氧化镍，也可包含结晶性低的非晶状的氧化镍。关于降低金属层与绝缘树脂层的剥离强度的因素，现在尚未完全查明，可推断以下的i)或ii)的现象。i)因存在金属层中所含的镍，而在绝缘树脂层的内部形成脆弱的表层，结果，容易在所述表层产生绝缘树脂层的局部破坏，无法获得充分的剥离强度。ii)因存在金属层中所含的镍，而使金属层与绝缘树脂层的界面的粘接力变得过于牢固，结果，容易在绝缘树脂层的内部产生局部破坏，无法获得充分的剥离强度。此处，作为在所述i)的情况下，因镍的存在而形成表层的理由，考虑以下任一个。(1)因镍的作用，而产生与金属层接触的聚酰亚胺前体的表层部中的局部的低分子量化，从而在与金属层接触的聚酰亚胺层的表层部形成表层。(2)因镍的作用，而产生与金属层接触的聚酰亚胺层的表层部中的局部的取向差，从而在与金属层接触的聚酰亚胺层的表层部形成表层。本实施方式的覆金属层叠板中，在金属层的表面存在氧化镍的被膜，由此而推测：在所述i)的情况下，可抑制聚酰亚胺层内的表层的形成，另外，在所述ii)的情况下，可适度调节金属层与绝缘树脂层的界面的粘接力。作为其结果，认为可抑制聚酰亚胺层的局所的撕裂应力的集中，可提升金属层与绝缘树脂层的剥离强度。＜绝缘树脂层＞构成绝缘树脂层的聚酰亚胺层可为单层也可为多层，优选包含非热塑性聚酰亚胺层。此处，所谓“非热塑性聚酰亚胺”，通常为进行加热也会软化而不显示粘接性的聚酰亚胺，本专利技术中，是指使用动态粘弹性测定装置(动态机械分析仪(Dynamicmechanicalanalyzer，DMA))而测定出的300℃下的储存弹性系数为1.0×109Pa以上、350℃下的储存弹性系数为1.0×108Pa以上的聚酰亚胺。本实施方式的绝缘树脂层具有包含聚酰亚胺的聚酰亚胺层，构成聚酰亚胺层的聚酰亚胺是将使四羧酸二酐与二胺反应而得的聚酰胺酸加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种覆金属层叠板，其包括：金属层，所述金属层含有镍元素；以及绝缘树脂层，所述绝缘树脂层包含层叠于所述金属层上的单层或多层的聚酰亚胺层，所述覆金属层叠板的特征在于：所述金属层是通过利用X射线光电子分光法对与所述绝缘树脂层接触的表面进行测定，而观测到氧化镍的峰值，且未观测到镍的峰值的金属层。

【技术特征摘要】
2018.02.03 JP 2018-0177361.一种覆金属层叠板，其包括：金属层，所述金属层含有镍元素；以及绝缘树脂层，所述绝缘树脂层包含层叠于所述金属层上的单层或多层的聚酰亚胺层，所述覆金属层叠板的特征在于：所述金属层是通过利用X射线光电子分光法对与所述绝缘树脂层接触的表面进行测定，而观测到氧化镍的峰值，且未观测到镍的峰值的金属层。2.根据权利要求1所述的覆金属层叠板，其特征在于，与所述金属层接触的所述聚酰亚胺层的350℃下的储存弹性系数为1×108Pa以上。3.根据权利要求1或2所述的覆金属层叠板，其特征在于，所述绝缘树脂层的热膨胀系数为...

【专利技术属性】
技术研发人员：安藤智典，平石克文，山田裕明，橘高直树，
申请(专利权)人：日铁化学材料株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP