一种可以承载264片硅片的石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可以承载264片硅片的石墨舟，属于太阳能电池片加工技术领域。该石墨舟包括石墨舟片、舟腿、上电极块和下电极块，所述的上电极块和下电极块上均设有石墨隔块，所述的石墨舟片上设有硅片放置位、定位孔和卡点；其中，所述的石墨舟是由二十三组石墨舟片通过陶瓷杆连接而成，所述石墨舟片的厚度为2.0‑2.4mm，且上面设有凹槽；所述的石墨舟片之间通过陶瓷管或者凹槽进行隔开。本实用新型专利技术通过合理降低石墨舟片的厚度，以及降低相邻石墨舟片之间的距离，可以承载264片硅片，从而可以保证在不更换设备的情况下，可以提高生产产能，以解决现有石墨舟产能较低的问题。

A graphite boat capable of carrying 264 silicon wafers

【技术实现步骤摘要】
一种可以承载264片硅片的石墨舟
本技术涉及太阳能电池片加工
，具体是一种可以承载264片硅片的石墨舟。
技术介绍
石墨舟是用于太阳能电池片进行PECVD镀膜时的一种承载工具，由多个石墨舟片以及其它配件串联组成的。其中，硅片是太阳能电池片的基体，将硅片放在石墨舟片的硅片放置位上，再通过石墨舟片的卡点进行卡住硅片，可以稳固硅片，便于PECVD镀膜加工。然而，传统的石墨舟片是由21片石墨舟片组成的，加上每个石墨舟片的6个硅片放置位，最多只允许放置240片硅片，其产能已经无法满足当前市场的需求。故急需一种方案对原有的只能放置240片硅片的石墨舟进行扩容改造，从而达到在不更换设备的情况下能够提升产能的目的。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可以承载264片硅片的石墨舟，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可以承载264片硅片的石墨舟，包括石墨舟片、舟腿、上电极块和下电极块，所述的上电极块和下电极块上均设有石墨隔块，所述的石墨舟片上设有硅片放置位、定位孔和卡点；其中，所述的石墨舟是由二十三组石墨舟片通过陶瓷杆连接而成，所述石墨舟片的厚度为2.0-2.4mm，且上面设有凹槽；所述的石墨舟片之间通过陶瓷管或者凹槽进行隔开。作为本技术进一步的方案，所述石墨舟片的厚度为2.0mm，所述的石墨舟片上设有六组硅片放置位。作为本技术再进一步的方案，所述的硅片放置位倾斜设置在石墨舟片上，其相对于水平线的倾斜角度为2-10°。作为本技术再进一步的方案，所述石墨舟片之间隔开的距离为9.5-10.5mm；所述的陶瓷杆两端设有螺纹，并与石墨螺母进行螺纹连接。作为本技术再进一步的方案，所述的石墨舟片之间通过陶瓷管进行隔开；所述的陶瓷管套在陶瓷杆上，设置在相邻的石墨舟片之间，其长度为10.5mm；所述陶瓷管的半径大于定位孔的半径。作为本技术再进一步的方案，所述的石墨舟片之间通过凹槽卡住在定位孔内进行隔开；所述凹槽一共有二十三组，且均匀地设置在石墨舟片上；所述凹槽的宽度等于石墨舟片的厚度，且相邻的凹槽之间的距离a为10.5mm。与现有技术相比，本技术的有益效果是：（1）本技术通过将石墨舟片的厚度控制在2.0-2.4mm，以及将相邻石墨舟片之间的距离控制在9.5-10.5mm，能实现承载264片硅片的目的，以及可以保证得到的装有二十三组石墨舟片的石墨舟和现有二十组石墨舟片所形成的石墨舟的整体尺寸相差不大，从而保证石墨舟制造成本相似以及不更换设备的情况下，可以提高生产效率以及至少10%的产能，且还能保证硅片的加工品质。（2）本技术通过合理地降低石墨舟片之间的距离，可以保证硅片能够镀膜均匀的情况下，使石墨舟片之间被电离的等离子体的轻度得到提高，从而可以提高硅片的加工效率。（3）本技术还通过在陶瓷杆上设置与石墨舟片厚度相同的凹槽，可以通过凹槽卡住在定位孔内将石墨舟片进行隔开，省去了频繁往陶瓷杆上套陶瓷管将石墨舟片隔开的重复作用，从而大大降低了拆装难度，以及可以减少工作量和提高生产效率。附图说明图1为一种可以承载264片硅片的石墨舟的结构示意图。图2为石墨舟的俯视图。图3为石墨舟A处的局部结构示意图。图4为石墨舟片的结构示意图。图5为陶瓷杆的结构示意图。图6为陶瓷杆B处的局部放大图。图中：1-石墨舟片、2-舟腿、3-上电极块、4-下电极块、5-石墨隔块、6-石墨螺母、7-陶瓷杆、8-陶瓷管、9-硅片放置位、10-定位孔、11-卡点、12-凹槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“固定”、“安装”、“相连接”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置，其具体的连接方式可以是焊接、铆接、螺栓固定等等。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。另外，实施例中的“上”、“下”、“左”、“右”、“底部”、“顶部”等方位词均是以附图为参考的方向。实施例1参照附图1-5，一种可以承载264片硅片的石墨舟，包括石墨舟片1、舟腿2、上电极块3和下电极块4，所述的石墨舟片1包括小耳外舟片、小耳内上舟片、直角内下舟片、圆角内上舟片和中间内下片，所述的舟腿2设置在石墨舟的底部，包括外舟腿和内舟腿，便于稳定安放整个石墨舟，所述的上电极块3和下电极块4上均设有石墨隔块5，所述石墨隔块5设置石墨舟片1的两端，包括上排小隔块、斜角隔块、缓冲隔块和普通隔块，可以起到隔开石墨舟片1的作用以及确保石墨舟片1之间的导电性。具体的，所述的石墨舟是由二十三组石墨舟片1通过陶瓷杆7连接而成，陶瓷杆7的两端设有螺纹，通过与石墨螺母6进行螺纹连接实现锁紧固定，从而使石墨舟片1串联起来形成一体；所述石墨舟片1的厚度可以为2.0mm，且上面设有凹槽12；所述的石墨舟片1上还设有六组用于放置硅片的硅片放置位9、以及设有用于穿插陶瓷杆7的定位孔10和三组用于定位硅片的卡点11。其中，硅片放置位9的左上角设有一组卡点11，硅片放置位9的右下角设有两组卡点11；所述的硅片放置位9倾斜设置在石墨舟片1上，其相对于水平线的倾斜角度可以为5°，配合三组卡点11，可以定位固定硅片，且便于硅片的拆装。通过六组硅片放置位9的设置，配合二十三组石墨舟片1的串联，可以满足该石墨舟放置264片硅片，从而大大提高了石墨舟的容量。此外，所述的石墨舟片1之间通过陶瓷管8进行隔开；具体的，所述的陶瓷管8套在陶瓷杆7上，设置在相邻的石墨舟片1之间，其长度可以为10.5mm；所述陶瓷管8的半径大于定位孔10的半径，可以将相邻的石墨舟片1进行隔开，便于硅片镀膜均匀。其中，相邻的石墨舟片1之间的距离为10.5mm，配合2.0mm厚度的石墨舟片1，可以保证二十三组石墨舟片1所形成的石墨舟的整体尺寸和现有二十组石墨舟片1所形成的石墨舟的尺寸相差不大，从而保证成本相似的情况下，可以提高生产效率，且还能保证硅片的加工品质。实施例2参照附图5-6，为了便于拆装石墨舟上的石墨舟片1，该实施例是在实施例1的基础进行改进，通过凹槽12卡住在定位孔10内的方法替代设置陶瓷管8的方法将石墨舟片1进行隔开，具体的，所述的陶瓷杆7上均匀设有二十三组凹槽12，所述凹槽12的宽度等于石墨舟片1的厚度，且相邻的凹槽12之间的距离a可以设为10.5mm。安装石墨舟片1时，将陶瓷杆7穿过二十三石墨舟片1上的定位孔10，然后将陶瓷杆7上二十三组凹槽12分别对准各个石墨舟片1上定位孔10，使定位孔10卡在凹槽12内，再接着将陶瓷杆7的两端通过石墨螺母6进行锁紧固定，即可实现石墨舟片1的限位，以及保证相邻的石墨舟片1之间隔开的距离为10.5mm，从而无需使用陶瓷管8进行隔开，避免了拆装过程中频繁往陶瓷杆7上套陶瓷管8的情况，明显降低了拆装难度，可以减本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可以承载264片硅片的石墨舟，包括石墨舟片（1）、舟腿（2）、上电极块（3）和下电极块（4），所述的上电极块（3）和下电极块（4）上均设有石墨隔块（5），所述的石墨舟片（1）上设有硅片放置位（9）、定位孔（10）和卡点（11），其特征在于，所述的石墨舟是由二十三组石墨舟片（1）通过陶瓷杆（7）连接而成，所述石墨舟片（1）的厚度为2.0‑2.4mm，且上面设有凹槽（12）；所述的石墨舟片（1）之间通过陶瓷管（8）或者凹槽（12）进行隔开。

【技术特征摘要】
1.一种可以承载264片硅片的石墨舟，包括石墨舟片（1）、舟腿（2）、上电极块（3）和下电极块（4），所述的上电极块（3）和下电极块（4）上均设有石墨隔块（5），所述的石墨舟片（1）上设有硅片放置位（9）、定位孔（10）和卡点（11），其特征在于，所述的石墨舟是由二十三组石墨舟片（1）通过陶瓷杆（7）连接而成，所述石墨舟片（1）的厚度为2.0-2.4mm，且上面设有凹槽（12）；所述的石墨舟片（1）之间通过陶瓷管（8）或者凹槽（12）进行隔开。2.根据权利要求1所述的一种可以承载264片硅片的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片（1）的厚度为2.0mm，所述的石墨舟片（1）上设有六组硅片放置位（9）。3.根据权利要求1或2所述的一种可以承载264片硅片的石墨舟，其特征在于，所述的硅片放置位（9）倾斜设置在石墨舟片（1）上，其相对于水平线的倾斜角度为2-...

【专利技术属性】
技术研发人员：余波，郑方渊，张华，冯晓倩，
申请(专利权)人：上海弘竣实业有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31