压力传感器元件和具备该压力传感器元件的压力传感器模块制造技术

压力传感器模块的压力传感器元件具有：膜片，其具备导电性，当受到压力时变形；多个固定电极，所述多个固定电极分别具备与膜片相向的电极面；以及电介质膜，其设置在多个固定电极各自的电极面上。多个固定电极沿从膜片的中央朝向外侧的方向配置。

Pressure sensor element and pressure sensor module with the pressure sensor element

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力传感器元件和具备该压力传感器元件的压力传感器模块
本专利技术涉及一种用于测定气压等压力的压力传感器元件和使用该压力传感器元件的压力传感器模块。
技术介绍
以往以来，如专利文献1所记载的那样，已知一种静电电容式的压力传感器。特别是，专利文献1所记载的压力传感器被称作接触式压力传感器(touch-modetypepressuresensor)。接触式压力传感器具有受到压力而变形的膜片(membrane)、具备与膜片隔开间隔地相向的电极面的固定电极以及设置在电极面上的电介质层。另外，在专利文献1所记载的压力传感器的情况下，在电介质层的与膜片的中央部相向的表面部分形成有凹部(recess，凹处)。在这样的接触式压力传感器中，当对膜片的压力增加时，首先，由于膜片与电介质层之间的距离变短而膜片与固定电极之间的静电电容增加。在膜片与电介质层接触之后，当对膜片的压力进一步增加时，由于膜片与电介质层的接触面积增加而膜片与固定电极之间的静电电容增加。在专利文献1所记载的压力传感器的情况下，通过在电介质层形成凹部，避免对膜片的压力与静电电容之间的线性度在膜片与电介质层接触前和接触后之间大幅地变化。由此本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器元件，具有：膜片，其具备导电性，当受到压力时变形；多个固定电极，所述多个固定电极分别具备与所述膜片相向的电极面；以及电介质膜，其设置在所述多个固定电极各自的电极面上，其中，所述多个固定电极沿从所述膜片的中央朝向外侧的方向配置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.12.20 JP 2016-2470551.一种压力传感器元件，具有：膜片，其具备导电性，当受到压力时变形；多个固定电极，所述多个固定电极分别具备与所述膜片相向的电极面；以及电介质膜，其设置在所述多个固定电极各自的电极面上，其中，所述多个固定电极沿从所述膜片的中央朝向外侧的方向配置。2.根据权利要求1所述的压力传感器元件，其特征在于，所述多个固定电极包括与所述膜片的中央部相向的中央固定电极。3.根据权利要求2所述的压力传感器元件，其特征在于，所述多个固定电极还包括包围所述中央固定电极的环状的外侧固定电极。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的压力传感器元件，其特征在于，还具有浮动电极，所述浮动电极设置在所述多个固定电极中的相邻的固定电极之间，并且不与所述相邻的固定电极电连接。5.一种压力传感器模块，用于测定压力，所述压力传感器模块具有压力传感器元件和传感器控制器，所述压力传感器元件具备：膜片，其具备导电性，当受到压力时变形；多个固定电极，所述多个固定电极分别具备与所述膜片相向的电极面；以及电介质膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：滨崎良平，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP