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压力传感器元件和具备该压力传感器元件的压力传感器模块制造技术
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下载压力传感器元件和具备该压力传感器元件的压力传感器模块的技术资料
文档序号:21840999
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压力传感器模块的压力传感器元件具有:膜片,其具备导电性,当受到压力时变形;多个固定电极,所述多个固定电极分别具备与膜片相向的电极面;以及电介质膜,其设置在多个固定电极各自的电极面上。多个固定电极沿从膜片的中央朝向外侧的方向配置。...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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