【技术实现步骤摘要】
一种真空腔室内的坩埚找位传动机构
本技术是一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，属于坩埚找位传动机构领域。
技术介绍
常规真空腔体内的坩埚找位置转动都是通过机械定位器来进行找位置信号，由于真空腔体内的压力造成的机械形变和长期热辐射的原因，使机械定位器经常出现找位置失败的故障发生，使蒸镀产品出现返工，给客户带来数万元的经济损失。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，以解决现有技术传动找位置方式单一，故障率高，且维修成本高昂，找位置功能失效而带来的停机停产和返修的问题。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，包括马达、联轴器、齿轮和绝对值编码器，所述马达右侧输出端通过连接块与联轴器进行插接，所述联轴器右侧中部输出端与齿轮进行传动连接，所述齿轮顶部中侧与绝对值编码器右侧的齿轮进行啮合。进一步地，马达和绝对值编码器外侧均设置有隔热防护罩。本技术的一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，将机械定位器和绝对值编码器两种找位方式集成一体化，当机械定位器出现故障时系统允许切换到绝对值编码器找位置，相反...
【技术保护点】
1.一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，其特征在于：包括马达（1）、联轴器（2）、齿轮（3）和绝对值编码器（4），所述马达（1）右侧输出端通过连接块与联轴器（2）进行插接，所述联轴器（2）右侧中部输出端与齿轮（3）进行传动连接，所述齿轮（3）顶部中侧与绝对值编码器（4）右侧的齿轮进行啮合。
【技术特征摘要】
1.一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，其特征在于：包括马达（1）、联轴器（2）、齿轮（3）和绝对值编码器（4），所述马达（1）右侧输出端通过连接块与联轴器（2）进行插接，所述联轴器（2）右侧中部输出端与齿轮（...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝胜，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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