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本实用新型公开了一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，其结构包括马达、联轴器、齿轮和绝对值编码器，所述马达右侧输出端通过连接块与联轴器进行插接，所述联轴器右侧中部输出端与齿轮进行传动连接，所述齿轮顶部中侧与绝对值编码器右侧的齿轮进行啮合，本实用...
该专利属于苏州佑伦真空设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州佑伦真空设备科技有限公司授权不得商用。

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