一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体制造技术

技术编号:21813246 阅读:54 留言:0更新日期:2019-08-07 17:19
本实用新型专利技术涉及一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体,包括陶瓷基座、密封盖和振动体本体,振动体本体包括石英晶体和第一电极膜,石英晶体的上端面和下端面上分别布置有第一电极膜和第二电极膜,石英晶体上端面右端布置有第三电极膜,第一电极膜和第二电极膜结构相同,均由Au电极面、Cr介质层和氧化铬层组成,Au电极面通过Cr介质层与石英晶体结合,Au电极面表面上布置有氧化铬层,陶瓷基座上端面中部布置有安装槽,安装槽内安装有振动体本体,陶瓷基座的上端开口通过密封盖密封,第三电极膜包括Ag电极面和介质层,Ag电极面通过介质层与石英晶体连接。本实用新型专利技术具有设计简单化,有利于微调时治具统一,使生产更方便等特点。

A Vibrator of Quartz Crystal Resonator with High Stability

【技术实现步骤摘要】
一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体
本技术涉及谐振器
,特别是涉及一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体。
技术介绍
石英晶体谐振器常使用Au做为振动体材料,其介质层Cr很容易扩散至Au膜表面被氧化形成致密的1~2nm的钝化层,当生产过程中采用离子枪技术进行频率微调时,会导致振动体表面的钝化层破坏。因为Cr极易氧化的特性,在生产过程中或者封合后的产品遇到高温时会重新氧化形成钝化层导致产品特性不稳定,为了解决上述问题,设计一种新的振动体是非常有必要的。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体,增加了第三电极膜,该电极膜用做生产过程的微调电极,避免了微调对振动体膜表面破坏,使小型化产品的特性更稳定性;同时降低了微调对产品的特性的影响,使设计简单化,有利于微调时治具统一,使生产更简单。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体,包括陶瓷基座、密封盖和振动体本体,所述的振动体本体包括石英晶体和第一电极膜,石英晶体的上端面和下端面上分别布置有第一电极膜和第二电极膜,所述的石英晶体上端面右端布置有第三电极膜,所述的第一电极膜和第二电极膜结构相同,均由Au电极面、Cr介质层和氧化铬层组成,Au电极面通过Cr介质层与石英晶体结合,所述的Au电极面表面上布置有氧化铬层,所述的陶瓷基座上端面中部布置有安装槽,安装槽内安装有振动体本体,陶瓷基座的上端开口通过密封盖密封,所述的第三电极膜包括Ag电极面和介质层,所述的Ag电极面通过介质层与石英晶体连接。所述的振动体本体下端面左端通过前后并排的两个导电银胶与陶瓷基座安装槽底部上的电极相连。所述的石英晶体表面的第一电极膜和第二电极膜与两个电极相连。所述的第三电极膜上不设置连接电极的电路。有益效果:本技术涉及一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体,增加了第三电极膜,该电极膜用做生产过程的微调电极,避免了微调对振动体膜表面破坏,使小型化产品的特性更稳定性;同时降低了微调对产品的特性的影响,使设计简单化,有利于微调时治具统一,使生产更简单。附图说明图1是本技术的振动体本体安装后的俯视图;图2是本技术所述的石英晶体的俯视图;图3是本技术主视图的全剖视图;图4是本技术所述的第一电极膜的结构视图。图示:1、第一电极膜,2、第二电极膜,3、第三电极膜,4、石英晶体,5、振动体本体,6、陶瓷基座,7、密封盖,8、导电银胶,9、电极,11、氧化铬层,12、Au电极面,13、Cr介质层,31、Ag电极面,32、介质层。具体实施方式下面结合具体实施例,进一步阐述本技术。应理解,这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。此外应理解,在阅读了本技术讲授的内容之后,本领域技术人员可以对本技术作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。本技术的实施方式涉及一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体,如图1—4所示,包括陶瓷基座6、密封盖7和振动体本体5,所述的振动体本体5包括石英晶体4和第一电极膜1,石英晶体4的上端面和下端面上分别布置有第一电极膜1和第二电极膜2,所述的石英晶体4上端面右端布置有第三电极膜3,所述的第一电极膜1和第二电极膜2结构相同,均由Au电极面12、Cr介质层13和氧化铬层11组成,Au电极面12通过Cr介质层13与石英晶体4结合,所述的Au电极面12表面上布置有氧化铬层11,所述的陶瓷基座6上端面中部布置有安装槽,安装槽内安装有振动体本体5,陶瓷基座6的上端开口通过密封盖7密封,所述的第三电极膜3包括Ag电极面31和介质层32,所述的Ag电极面31通过介质层32与石英晶体4连接。所述的振动体本体5下端面左端通过前后并排的两个导电银胶8与陶瓷基座6安装槽底部上的电极9相连。所述的石英晶体4表面的第一电极膜1和第二电极膜2与两个电极9相连。所述的第三电极膜3上不设置连接电极9的电路。实施例所述的氧化铬层11主要可由两种方式形成,一种方式就是在Au电极面12外表面直接镀氧化铬层11,第二种方式通过加热使Au电极面12和石英晶体4,使得Cr介质层13扩散至Au电极面12外表面,形成氧化铬层11。所述的第三电极膜3独立位于石英晶体4上表面,所述的第三电极膜3不和陶瓷基座6的两极部电极9连接,所述的第三电极膜3因为不导电不会形式振动区。所述的第三电极膜3用生产过程中频率微调,规避了频率微调对振动体的第一电极膜1破坏,第一电极膜1和第二电极膜2对称构成振动体区不会受到影响,降低了微调对产品的特性的影响。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体,包括陶瓷基座(6)、密封盖(7)和振动体本体(5),其特征在于:所述的振动体本体(5)包括石英晶体(4)和第一电极膜(1),石英晶体(4)的上端面和下端面上分别布置有第一电极膜(1)和第二电极膜(2),所述的石英晶体(4)上端面右端布置有第三电极膜(3),所述的第一电极膜(1)和第二电极膜(2)结构相同,均由Au电极面(12)、Cr介质层(13)和氧化铬层(11)组成,Au电极面(12)通过Cr介质层(13)与石英晶体(4)结合,所述的Au电极面(12)表面上布置有氧化铬层(11),所述的陶瓷基座(6)上端面中部布置有安装槽,安装槽内安装有振动体本体(5),陶瓷基座(6)的上端开口通过密封盖(7)密封,所述的第三电极膜(3)包括Ag电极面(31)和介质层(32),所述的Ag电极面(31)通过介质层(32)与石英晶体(4)连接。

【技术特征摘要】
1.一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体,包括陶瓷基座(6)、密封盖(7)和振动体本体(5),其特征在于:所述的振动体本体(5)包括石英晶体(4)和第一电极膜(1),石英晶体(4)的上端面和下端面上分别布置有第一电极膜(1)和第二电极膜(2),所述的石英晶体(4)上端面右端布置有第三电极膜(3),所述的第一电极膜(1)和第二电极膜(2)结构相同,均由Au电极面(12)、Cr介质层(13)和氧化铬层(11)组成,Au电极面(12)通过Cr介质层(13)与石英晶体(4)结合,所述的Au电极面(12)表面上布置有氧化铬层(11),所述的陶瓷基座(6)上端面中部布置有安装槽,安装槽内安装有振动体本体(5),陶瓷基座(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员:文玉霞王溪溪王静冬沈俊男黄国瑞赵岷江汪林亮周强
申请(专利权)人:台晶宁波电子有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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