【技术实现步骤摘要】
一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体
本技术涉及谐振器
,特别是涉及一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体。
技术介绍
石英晶体谐振器常使用Au做为振动体材料,其介质层Cr很容易扩散至Au膜表面被氧化形成致密的1~2nm的钝化层,当生产过程中采用离子枪技术进行频率微调时,会导致振动体表面的钝化层破坏。因为Cr极易氧化的特性,在生产过程中或者封合后的产品遇到高温时会重新氧化形成钝化层导致产品特性不稳定,为了解决上述问题,设计一种新的振动体是非常有必要的。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体,增加了第三电极膜,该电极膜用做生产过程的微调电极,避免了微调对振动体膜表面破坏,使小型化产品的特性更稳定性;同时降低了微调对产品的特性的影响,使设计简单化,有利于微调时治具统一,使生产更简单。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体,包括陶瓷基座、密封盖和振动体本体,所述的振动体本体包括石英晶体和第一电极膜,石英晶体的上端面和下端面上分别布置有第一电极膜和第二电极膜,所述的石英晶体上端面右端布置有第三电极膜,所述的第一电极膜和第二电极膜结构相同,均由Au电极面、Cr介质层和氧化铬层组成,Au电极面通过Cr介质层与石英晶体结合,所述的Au电极面表面上布置有氧化铬层,所述的陶瓷基座上端面中部布置有安装槽,安装槽内安装有振动体本体,陶瓷基座的上端开口通过密封盖密封,所述的第三电极膜包括Ag电极面和介质层,所述的Ag电极面通过介质层与石英晶体连接。所述的振动体本体下端面左端通过前后并排的两个导电银胶与陶 ...
【技术保护点】
1.一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体,包括陶瓷基座(6)、密封盖(7)和振动体本体(5),其特征在于:所述的振动体本体(5)包括石英晶体(4)和第一电极膜(1),石英晶体(4)的上端面和下端面上分别布置有第一电极膜(1)和第二电极膜(2),所述的石英晶体(4)上端面右端布置有第三电极膜(3),所述的第一电极膜(1)和第二电极膜(2)结构相同,均由Au电极面(12)、Cr介质层(13)和氧化铬层(11)组成,Au电极面(12)通过Cr介质层(13)与石英晶体(4)结合,所述的Au电极面(12)表面上布置有氧化铬层(11),所述的陶瓷基座(6)上端面中部布置有安装槽,安装槽内安装有振动体本体(5),陶瓷基座(6)的上端开口通过密封盖(7)密封,所述的第三电极膜(3)包括Ag电极面(31)和介质层(32),所述的Ag电极面(31)通过介质层(32)与石英晶体(4)连接。
【技术特征摘要】
1.一种高稳定性石英晶体谐振器的振动体,包括陶瓷基座(6)、密封盖(7)和振动体本体(5),其特征在于:所述的振动体本体(5)包括石英晶体(4)和第一电极膜(1),石英晶体(4)的上端面和下端面上分别布置有第一电极膜(1)和第二电极膜(2),所述的石英晶体(4)上端面右端布置有第三电极膜(3),所述的第一电极膜(1)和第二电极膜(2)结构相同,均由Au电极面(12)、Cr介质层(13)和氧化铬层(11)组成,Au电极面(12)通过Cr介质层(13)与石英晶体(4)结合,所述的Au电极面(12)表面上布置有氧化铬层(11),所述的陶瓷基座(6)上端面中部布置有安装槽,安装槽内安装有振动体本体(5),陶瓷基座(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员:文玉霞,王溪溪,王静冬,沈俊男,黄国瑞,赵岷江,汪林亮,周强,
申请(专利权)人:台晶宁波电子有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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