一种半导体生产车间用水槽桌制造技术

技术编号:21784057 阅读:30 留言:0更新日期:2019-08-04 02:16
本实用新型专利技术涉及车间用品技术领域,尤其为一种半导体生产车间用水槽桌,包括支撑架以及位于支撑架上方的水槽,支撑架的前后两端顶部的边缘处均设置有固定座,支撑架顶端设置有顶板,顶板顶面的左侧位置处开设有避空口,水槽搭接于顶板的顶面上,支撑架的顶部设置有起升装置,起升装置包括转轴、三角块以及连杆,三角块上安装有若干滚轮,该半导体生产车间用水槽桌,通过设置的顶罩,防止清洗液到处溅射,通过设置在支撑架顶部的起升装置方便了工作人员对水槽进行挪动。

A Water Tank Table for Semiconductor Workshop

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产车间用水槽桌
本技术涉及车间用品
,具体为一种半导体生产车间用水槽桌。
技术介绍
半导体技术是指半导体加工的各种技术,包括晶圆的生长技术、薄膜沉积、光刻、蚀刻、掺杂技术和工艺整合等技术,在半导体的生产车间中,往往需要对加工的半导体零件进行清理,以去除加工过程产生的各种污渍,目前多使用水槽桌对半导体零件进行清理,水槽桌是安装有水槽的桌子,在水槽桌中对半导体零件进行清洗时,清洗液会到处溅射,影响工作环境,同时清洗半导体零件的清洗液需要进行集中整理时需要将水槽连带水槽内的清洗液进行整体更换,而装有清洗液的水槽重量较重,工作人员不易进行挪动,鉴于此,我们提出一种半导体生产车间用水槽桌。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体生产车间用水槽桌,以解决上述
技术介绍
中提出的对半导体零件进行清洗时,清洗液会到处溅射,影响工作环境以及装有清洗液的水槽重量较重,使工作人员不易进行挪动的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体生产车间用水槽桌,包括支撑架以及位于所述支撑架上方的水槽,所述支撑架的前后两端顶部的边缘处均设置有固定座,所述支撑架顶端设置有顶板,所述顶板顶面的左侧位置处开设有避空口,所述水槽搭接于所述顶板的顶面上,所述支撑架的顶部设置有起升装置;所述起升装置包括与所述固定座转动连接的转轴、套接于所述转轴上并与所述转轴固定连接的若干三角块以及安装于所述转轴前端的连杆,所述三角块上安装有若干滚轮。优选的,所述支撑架的顶端紧密焊接有加强杆,所述加强杆为两个长杆紧密焊接而成的十字形结构。优选的,所述顶板呈矩形板状结构,所述顶板顶端的四个边缘处均紧密焊接有挡边。优选的,所述顶板的顶端设置有顶罩,所述顶罩呈长方体空心结构,所述顶罩的左端位置处铰接有一对罩门,所述罩门上安装有把手,所述顶罩的顶端开设有通孔。优选的,所述转轴的末端依次从两个所述固定座中穿过,所述转轴的后端以及靠近所述转轴前端的位置处均套接有挡圈,所述挡圈与所述转轴紧密焊接,两个所述挡圈之间的最小距离大于两个所述固定座之间的最大距离。优选的,所述三角块与所述转轴紧密焊接,所述三角块的侧端面上开设有安装槽,所述滚轮安装于所述安装槽内并与所述安装槽转动连接。优选的,所述连杆前端面的边缘处紧密焊接有横杆。与现有技术相比,本技术的有益效果是:1.该半导体生产车间用水槽桌,通过设置在顶板上的顶罩将水槽罩在内部,使半导体零件在清洗时可避免清洗液到处溅射,解决了对半导体零件进行清洗时,清洗液会到处溅射,影响工作环境的问题;2.该半导体生产车间用水槽桌,通过设置在支撑架顶部的起升装置,使摇动连杆即可使滚轮将水槽一侧的底部抬起,并在滚轮的滚动下方便工作人员将水槽从顶板上抽出,进而将水槽进行整体取下,解决了装有清洗液的水槽重量较重,使工作人员不易进行挪动的问题。附图说明图1为本技术中实施例1的整体结构示意图;图2为本技术中实施例1的另一结构示意图;图3为本技术中实施例2的整体结构示意图;图4为本技术中起升装置的安装示意图;图5为本技术中起升装置的结构示意图;图6为本技术中起升装置转动时的状态示意图;图7为本技术中起升装置将水槽掀起时的状态示意图。图中:1、支撑架;11、加强杆;12、固定座;2、顶板;21、挡边;22、避空口;3、水槽;4、顶罩;41、罩门;411、把手;42、通孔;5、起升装置;51、转轴;511、挡圈;52、三角块;521、安装槽;522、滚轮;53、连杆;531、横杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。实施例1一种半导体生产车间用水槽桌,如图1和图2所示,包括支撑架1以及位于支撑架1上方的水槽3,支撑架1顶端设置有顶板2,水槽3搭接于顶板2的顶面上。本实施例中,支撑架1由40*40*1.5mm的不锈钢方管焊接而成,不锈钢具有优良的耐空气、蒸汽、水等弱腐蚀介质和酸、碱、盐等化学浸蚀性介质腐蚀性能,支撑架1的顶端紧密焊接有加强杆11,加强杆11为两个长杆紧密焊接而成的十字形结构,在加强杆11的支撑下,使顶板2能承载更多的重量。进一步的,顶板2为厚度是1mm的矩形板状结构,顶板2与支撑架1的顶端紧密焊接,顶板2顶端的四个边缘处均紧密焊接有挡边21,水槽3由壁厚为1mm的不锈钢板紧密焊接制成,当水槽3搭接在顶板2上时,挡边21将水槽3的底部包围,防止水槽3从顶板2上滑落。具体的,顶板2的顶端设置有顶罩4,顶罩4由3mm厚的亚克力板紧密粘接而成,顶罩4呈长方体空心结构,顶罩4的左端位置处铰接有一对罩门41,罩门41上安装有把手411,可通过把手411方便的将罩门41打开,顶罩4的顶端开设有通孔42,使罩门41在关闭时,通孔42起到透气的作用。实施例2在具体操作中,由于装有清洗液的水槽3重量较重,工作人员不易进行挪动,因此,在实施例1的基础上对支撑架1和顶板2作出改进,作为一种优选实施例,如图3至图7所示,支撑架1的前后两端顶部的边缘处均设置有固定座12,顶板2顶面的左侧位置处开设有避空口22,支撑架1的顶部设置有起升装置5,起升装置5包括与固定座12转动连接的转轴51、套接于转轴51上并与转轴51固定连接的若干三角块52以及安装于转轴51前端的连杆53,三角块52上安装有若干滚轮522。本实施例中,转轴51的末端依次从两个固定座12中穿过,转轴51的后端以及靠近转轴51前端的位置处均套接有挡圈511,挡圈511与转轴51紧密焊接,两个挡圈511之间的最小距离大于两个固定座12之间的最大距离,使转轴51被限制在两个固定座12之间,防止转轴51从固定座12上脱落。进一步的,三角块52呈三棱柱结构,转轴51从三角块52的一个拐角处穿过并与三角块52紧密焊接,三角块52上远离转轴51的侧端面上开设有安装槽521,滚轮522安装于安装槽521内并与安装槽521转动连接,当转轴51转动时,转轴51带动三角块52转动,从而使滚轮522从避空口22中穿过并与水槽3的底面相贴合,随着三角块52的转动,三角块52带动滚轮522对水槽3产生挤压并使水槽3底部的一侧被掀起,使水槽3呈倾斜状,以便于对水槽3进行挪动,在挪动水槽3时,通过滚轮522的滚动,使挪动的过程更加省力。具体的,连杆53紧密焊接在转轴51的前端,连杆53前端面上远离转轴51的边缘处紧密焊接有横杆531,通过握住横杆531可在连杆53的作用下对转轴51进行摇动,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体生产车间用水槽桌,包括支撑架(1)以及位于所述支撑架(1)上方的水槽(3),其特征在于:所述支撑架(1)的前后两端顶部的边缘处均设置有固定座(12),所述支撑架(1)顶端设置有顶板(2),所述顶板(2)顶面的左侧位置处开设有避空口(22),所述水槽(3)搭接于所述顶板(2)的顶面上,所述支撑架(1)的顶部设置有起升装置(5);所述起升装置(5)包括与所述固定座(12)转动连接的转轴(51)、套接于所述转轴(51)上并与所述转轴(51)固定连接的若干三角块(52)以及安装于所述转轴(51)前端的连杆(53),所述三角块(52)上安装有若干滚轮(522)。

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产车间用水槽桌,包括支撑架(1)以及位于所述支撑架(1)上方的水槽(3),其特征在于:所述支撑架(1)的前后两端顶部的边缘处均设置有固定座(12),所述支撑架(1)顶端设置有顶板(2),所述顶板(2)顶面的左侧位置处开设有避空口(22),所述水槽(3)搭接于所述顶板(2)的顶面上,所述支撑架(1)的顶部设置有起升装置(5);所述起升装置(5)包括与所述固定座(12)转动连接的转轴(51)、套接于所述转轴(51)上并与所述转轴(51)固定连接的若干三角块(52)以及安装于所述转轴(51)前端的连杆(53),所述三角块(52)上安装有若干滚轮(522)。2.根据权利要求1所述的半导体生产车间用水槽桌,其特征在于:所述支撑架(1)的顶端紧密焊接有加强杆(11),所述加强杆(11)为两个长杆紧密焊接而成的十字形结构。3.根据权利要求1所述的半导体生产车间用水槽桌,其特征在于:所述顶板(2)呈矩形板状结构,所述顶板(2)顶端的四个边缘处均紧密焊接有挡边(21)。4.根据权利要求1所述的半导...

【专利技术属性】
技术研发人员:凌永康杜良辉
申请(专利权)人:江苏壹度科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1