一种28寸油扩散泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种28寸油扩散泵，包括扩散泵主体、冷却水管、法兰、进气口、一级喷嘴、喷嘴座、二级喷嘴、泵芯、二级导流管、三级喷嘴、四级喷嘴、三级导流管、出气口、加热器、底座以及扩散器，扩散泵主体外部固定安装设置有冷却水管，扩散泵主体顶端固定安装设置有法兰，法兰内部贯穿安装设置有进气口，法兰底端安装设置有一级喷嘴，一级喷嘴底端固定安装设置有喷嘴座，喷嘴座底端固定连接设置有泵芯，泵芯底部安装设置有二级喷嘴。本实用新型专利技术针对客户的前级阀门的口径设计为28英寸，结合加热时间和温度对加热器进行设计，结合真空管路以及前级泵的组装要求，对泵的外形尺寸进行设计，可满足同类型玻璃屏幕的镀膜要求。

A 28-inch Oil Diffusion Pump

【技术实现步骤摘要】
一种28寸油扩散泵
本技术涉及油扩散泵
，特别是涉及一种28寸油扩散泵。
技术介绍
油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒(1升＝10-3立方米)。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。但是现有的油扩散泵不能针对手机屏幕玻璃以及Ipad等平板电脑的镀膜工艺以及镀膜设备进行了定向研发，满足不了客户所需的抽速及返油率；因此，我们提处一种28寸油扩散泵，主要针对手机屏幕玻璃以及Ipad等平板电脑的镀膜工艺以及镀膜设备进行了定向研发，针对新型的手机或平板电脑等新型电子设备的屏幕的镀膜要求进行了分析，制作出满足客户抽速及返油率的油扩散泵。实际抽速达到11000L/S，极限真空度达到2.0E-5Pa。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供一种28寸油扩散泵，能解决现有的油扩散泵不能针对手机屏幕玻璃以及Ipad等平板电脑的镀膜工艺以及镀膜设备进行了定向研发，满足不了客户所需的抽速及返油率的问题。为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种28寸油扩散泵，包括扩散泵主体、冷却水管、法兰、进气口、一级喷嘴、喷嘴座、二级喷嘴、泵芯、二级导流管、三级喷嘴、四级喷嘴、三级导流管、出气口、加热器、底座以及扩散器，所述扩散泵主体外部固定安装设置有冷却水管，所述扩散泵主体顶端固定安装设置有法兰，所述法兰内部贯穿安装设置有进气口，所述法兰底端安装设置有一级喷嘴，所述一级喷嘴底端固定安装设置有喷嘴座，所述喷嘴座底端固定连接设置有泵芯，所述泵芯底部安装设置有二级喷嘴，所述二级喷嘴底端固定连接设置有二级导流管，所述二级导流管底端固定连接设置有三级喷嘴，所述三级喷嘴底端固定安装设置有三级导流管，所述三级导流管底端固定安装设置有四级喷嘴，所述四级喷嘴底端固定安装设置有加热器，所述加热器底端固定安装设置有底座，所述底座中部安装设置有油锅支杆，所述加热器旁边安装设置有扩散器，所述扩散器一端连接设置有出气口，所述扩散器旁边安装设置有电控箱。作为本技术的一种优选的技术方案，所述扩散泵主体底部一侧固定安装设置有连接杆，所述连接杆底端安装设置有滑轮。作为本技术的一种优选的技术方案，所述油锅支杆旁边固定安装设置有热电偶。作为本技术的一种优选的技术方案，所述出气口内部安装设置有挡油片，所述挡油片设置有若干个。作为本技术的一种优选的技术方案，所述扩散器旁边固定安装设置有油标。作为本技术的一种优选的技术方案，所述法兰上等间隔距离贯穿设置有通孔。作为本技术的一种优选的技术方案，所述扩散泵主体底端安装设置有保温罩。作为本技术的一种优选的技术方案，所述扩散泵主体表面安装设置有冷阱叶片，所述冷阱叶片采用旋压式制作。作为本技术的一种优选的技术方案，所述泵芯采用旋压件焊接后组装的结构。与现有技术相比，本技术能达到的有益效果是：本技术结构简单合理，针对客户的前级阀门的口径设计为28英寸，结合加热时间、加热温度针对加热器进行了重新设计，结合真空管路以及前级泵的组装要求，对泵的外形尺寸进行了重新设计，可以满足同类型的玻璃屏幕的镀膜要求；本技术工作效率高，具有良好的应用前景。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的俯视图；其中：1、扩散泵主体；2、冷却水管；3、法兰；4、进气口；5、一级喷嘴；6、喷嘴座；7、二级喷嘴；8、泵芯；9、二级导流管；10、三级喷嘴；11、四级喷嘴；12、三级导流管；13、连接杆；14、出气口；15、滑轮；16、加热器；17、底座；18、油锅支杆；19、热电偶；20、扩散器；21、挡油片；22、油标；23、电控箱；24、通孔。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。请参照图1-2所示，一种28寸油扩散泵，包括扩散泵主体1、冷却水管2、法兰3、进气口4、一级喷嘴5、喷嘴座6、二级喷嘴7、泵芯8、二级导流管9、三级喷嘴10、四级喷嘴11、三级导流管12、出气口14、加热器16、底座17以及扩散器20，扩散泵主体1外部固定安装设置有冷却水管2，扩散泵主体1顶端固定安装设置有法兰3，法兰3内部贯穿安装设置有进气口4，法兰3底端安装设置有一级喷嘴5，一级喷嘴5底端固定安装设置有喷嘴座6，喷嘴座6底端固定连接设置有泵芯8，泵芯8底部安装设置有二级喷嘴7，二级喷嘴7底端固定连接设置有二级导流管9，二级导流管9底端固定连接设置有三级喷嘴10，三级喷嘴10底端固定安装设置有三级导流管12，三级导流管12底端固定安装设置有四级喷嘴11，四级喷嘴11底端固定安装设置有加热器16，加热器16底端固定安装设置有底座17，底座17中部安装设置有油锅支杆18，加热器16旁边安装设置有扩散器20，扩散器20一端连接设置有出气口14，扩散器20旁边安装设置有电控箱23。扩散泵主体1底部一侧固定安装设置有连接杆13，连接杆13底端安装设置有滑轮15，方便狭小空间客户的拆卸以及安装；油锅支杆18旁边固定安装设置有热电偶19，用于提高加热效率；出气口14内部安装设置有挡油片21，挡油片21设置有若干个，用于挡油；扩散器20旁边固定安装设置有油标22，便于实时掌控扩散泵的内部情况；法兰3上等间隔距离贯穿设置有通孔24，便于安装连接；扩散泵主体1底端安装设置有保温罩，使得扩散泵底部加热后能够保证良好的温度环境；扩散泵主体1表面安装设置有冷阱叶片，冷阱叶片采用旋压式制作，符合返油率以及安装尺寸的设计；泵芯8采用旋压件焊接后组装的结构，方便安装和拆卸。具体的，本技术针对客户的前级阀门的口径设计为28英寸，进气口4的尺寸、组装高度以及出气口14的组装尺寸均采用定制方式，满足广大客户的需求；并且扩散泵主体1底部一侧固定安装设置有连接杆13，连接杆13底端安装设置有滑轮15，方便狭小空间客户的拆卸以及安装；油锅支杆18旁边固定安装设置有热电偶19，用于提高加热效率；出气口14内部安装设置有挡油片21，挡油片21设置有若干个，用于挡油；扩散器20旁边固定安装设置有油标22，便于实时掌控扩散泵的内部情况；法兰3上等间隔距离贯穿设置有通孔24，便于安装连接；扩散泵主体1底端安装设置有保温罩，使得扩散泵底部加热后能够保证良好的温度环境；扩散泵主体1表面安装设置有冷阱叶片，冷阱叶片采用旋压式制作，符合返油率以及安装尺寸的设计；泵芯8采用旋压件焊接后组装的结构，方便安装和拆卸。与现有技术相比，本技术能达到的有益效果是：本技术结构简单合理，针对客户的前级阀门的口径设计为28英寸，结合加热时间、加热温度针对加热器进行了重新设计，结合真空管路以及前级泵的组装要求，对泵的外形尺寸进行了重新设计，可以满足同类型的玻璃屏幕的镀膜要求；本技术工作效率高，具有良好的应用前景。本技术的实施方式不限于此，按照本技术的上述实施例内容，利用本领域的常规技术知识和惯用手段，在不脱离本技术上述基本技术思想前提下，以上优选实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种28寸油扩散泵，包括扩散泵主体(1)、冷却水管(2)、法兰(3)、进气口(4)、一级喷嘴(5)、喷嘴座(6)、二级喷嘴(7)、泵芯(8)、二级导流管(9)、三级喷嘴(10)、四级喷嘴(11)、三级导流管(12)、出气口(14)、加热器(16)、底座(17)以及扩散器(20)，其特征在于，所述扩散泵主体(1)外部固定安装设置有冷却水管(2)，所述扩散泵主体(1)顶端固定安装设置有法兰(3)，所述法兰(3)内部贯穿安装设置有进气口(4)，所述法兰(3)底端安装设置有一级喷嘴(5)，所述一级喷嘴(5)底端固定安装设置有喷嘴座(6)，所述喷嘴座(6)底端固定连接设置有泵芯(8)，所述泵芯(8)底部安装设置有二级喷嘴(7)，所述二级喷嘴(7)底端固定连接设置有二级导流管(9)，所述二级导流管(9)底端固定连接设置有三级喷嘴(10)，所述三级喷嘴(10)底端固定安装设置有三级导流管(12)，所述三级导流管(12)底端固定安装设置有四级喷嘴(11)，所述四级喷嘴(11)底端固定安装设置有加热器(16)，所述加热器(16)底端固定安装设置有底座(17)，所述底座(17)中部安装设置有油锅支杆(18)，所述加热器(16)旁边安装设置有扩散器(20)，所述扩散器(20)一端连接设置有出气口(14)，所述扩散器(20)旁边安装设置有电控箱(23)。...

【技术特征摘要】
1.一种28寸油扩散泵，包括扩散泵主体(1)、冷却水管(2)、法兰(3)、进气口(4)、一级喷嘴(5)、喷嘴座(6)、二级喷嘴(7)、泵芯(8)、二级导流管(9)、三级喷嘴(10)、四级喷嘴(11)、三级导流管(12)、出气口(14)、加热器(16)、底座(17)以及扩散器(20)，其特征在于，所述扩散泵主体(1)外部固定安装设置有冷却水管(2)，所述扩散泵主体(1)顶端固定安装设置有法兰(3)，所述法兰(3)内部贯穿安装设置有进气口(4)，所述法兰(3)底端安装设置有一级喷嘴(5)，所述一级喷嘴(5)底端固定安装设置有喷嘴座(6)，所述喷嘴座(6)底端固定连接设置有泵芯(8)，所述泵芯(8)底部安装设置有二级喷嘴(7)，所述二级喷嘴(7)底端固定连接设置有二级导流管(9)，所述二级导流管(9)底端固定连接设置有三级喷嘴(10)，所述三级喷嘴(10)底端固定安装设置有三级导流管(12)，所述三级导流管(12)底端固定安装设置有四级喷嘴(11)，所述四级喷嘴(11)底端固定安装设置有加热器(16)，所述加热器(16)底端固定安装设置有底座(17)，所述底座(17)中部安装设置有油锅支杆(18)，所述加热器(16)旁边安装设置有扩散器...

【专利技术属性】
技术研发人员：苗润财，苗伟伟，苗润发，张震，
申请(专利权)人：上海繁枫真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31