一种22寸油扩散泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种22寸油扩散泵，包括油扩散泵泵身，油扩散泵泵身的顶部设置有进气口，油扩散泵泵身的一侧外部连接有扩散器，扩散器的上方设置有排气口，扩散器的一侧设置有油标，油扩散泵泵身的底部设置有保护罩，保护罩的上方设置有加热器，油扩散泵泵身的顶端外侧设置有法兰，油扩散泵泵身的内部设置有第一级喷嘴。本实用新型专利技术是一种22寸油扩散泵，该油扩散泵是根据玻璃装饰镀膜以及相机镜头的镀膜的工艺及真空性能要求，针对泵芯以及冷阱和加热装置进行配套设计制作的，同时该冷阱的口径设置为22寸，与镀膜设备的前级阀门匹配，泵芯采用旋压件焊接后组装的结构，进气口尺寸、组装高度及排气口组装尺寸按照客户需求定制。

A 22-inch Oil Diffusion Pump

【技术实现步骤摘要】
一种22寸油扩散泵
本技术涉及油扩散泵领域，特别是涉及一种22寸油扩散泵。
技术介绍
油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1L=10-3m3）。扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度（约为200度）产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强，这样，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩，最后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。目前，国内的扩散泵是油在真空中的加热沸腾度，但是其抽速达不到相应的速度。因此，针对国内玻璃的装饰镀膜以及照相机的镜头使用的光学镜片镀膜设备定向研发了22英寸的扩散泵，实际本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种22寸油扩散泵，包括油扩散泵泵身（1）、进气口（2）、扩散器（4）、排气口（5）、油标（6）、法兰（9）、第一级喷嘴（10）、泵芯杆（11）、第二级喷嘴（12）、第三级喷嘴（13）、固定杆（17）、滑轮（18）和电控箱（19），其特征在于，所述油扩散泵泵身（1）的顶部设置有进气口（2），所述油扩散泵泵身（1）的一侧外部连接有扩散器（4），所述扩散器（4）的上方设置有排气口（5），所述扩散器（4）的一侧设置有油标（6），所述油扩散泵泵身（1）的底部设置有保护罩（7），所述保护罩（7）的上方设置有加热器（8），所述油扩散泵泵身（1）的顶端外侧设置有法兰（9），所述油扩散泵泵身（1）的内部设...

【技术特征摘要】
1.一种22寸油扩散泵，包括油扩散泵泵身（1）、进气口（2）、扩散器（4）、排气口（5）、油标（6）、法兰（9）、第一级喷嘴（10）、泵芯杆（11）、第二级喷嘴（12）、第三级喷嘴（13）、固定杆（17）、滑轮（18）和电控箱（19），其特征在于，所述油扩散泵泵身（1）的顶部设置有进气口（2），所述油扩散泵泵身（1）的一侧外部连接有扩散器（4），所述扩散器（4）的上方设置有排气口（5），所述扩散器（4）的一侧设置有油标（6），所述油扩散泵泵身（1）的底部设置有保护罩（7），所述保护罩（7）的上方设置有加热器（8），所述油扩散泵泵身（1）的顶端外侧设置有法兰（9），所述油扩散泵泵身（1）的内部设置有第一级喷嘴（10），所述第一级喷嘴（10）安装在一级喷嘴座上，所述一级喷嘴座与泵芯杆（11）相连通，所述泵芯杆（11）的外侧设置有第二级喷嘴（12），所述第一级喷嘴（10）通过泵芯杆（11）与第二级喷嘴（12）安装成一体，所述第二级喷嘴（12）的下方设置有第三级喷嘴（13），所述第三级喷嘴（13）通过导流管（3）安装固定在加热器（8）的上方，所述油扩散泵泵身（1）的一侧设置有连接杆（15），所述油扩散泵泵身（1）的一侧下方设置有固定杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：苗润财，苗伟伟，苗润发，张震，
申请(专利权)人：上海繁枫真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31