【技术实现步骤摘要】
薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法
本专利技术涉及一种薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法，尤指利用电铸方式形成薄型化、高精度以及无遮蔽影响区的金属蒸镀遮罩的制造方法。
技术介绍
请参阅图1所示，一般金属蒸镀遮罩A是以金属薄料A1作为基材，黄光显影制程于金属薄料A1上蚀刻出所需的开口A2，此种作法具有下列缺失：一、金属薄料A1会因作业环境温度差的问题，产生热涨冷缩的尺寸变异，故无法制作高精度尺寸的金属蒸镀遮罩A。二、金属薄料A1上的开口A2须以上、下两面蚀刻加工形成，所以开口A2尺寸公差大，且会于开口A2内形成尖点A3，而产生遮蔽影响区A4影响蒸镀品质。再请参阅图2与图3所示，现有金属蒸镀遮罩B于蒸镀前须通过两侧夹具拉撑，于定位后使用雷射点焊的方式将金属遮罩B固定于金属框架C上，此种作法具有下列缺失：1、高解析度的金属蒸镀遮罩B，其厚度往往低于20um，在此厚度下的极为容易折伤与变形，产生使用合格率上的问题。2、雷射点焊需满足点焊时吃料的厚度基本需求，点焊处的最薄厚度需≧20um，此与金属蒸镀遮罩B薄化的厚度产生冲突。3、在进行雷射点焊前，考量金属框架C与金属遮罩B于温度差异而...
【技术保护点】
1.一种薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法，其特征是先备制一模具，该模具具有以不导电材质所制成的基材，以及该基材表面所设置的导电膜，该基材的膨胀系数小于导电膜的膨胀系数，并在该导电膜上设置有具有缺口的图形部，然后将模具以电铸制程(electrotyping)，让金属以导电膜为背景沉积于导电膜表面形成蒸镀用的遮罩。
【技术特征摘要】
2018.01.26 CN 20181007934971.一种薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法，其特征是先备制一模具，该模具具有以不导电材质所制成的基材，以及该基材表面所设置的导电膜，该基材的膨胀系数小于导电膜的膨胀系数，并在该导电膜上设置有具有缺口的图形部，然后将模具以电铸制程(electrotyping)，让金属以导电膜为背景沉积于导电膜表面形成蒸镀用的遮罩。2.如权利要求1所述薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法，其特征在于：该模具的导电膜是多个并排设置于该基材表面，而该模具在进行电铸制程前，将该模具置入于金属框架中，再将该模具与该金属框架同时进行电铸制程，让金属以该导电膜以及该金属框架为背景沉积形成蒸镀用的遮罩，使遮罩在该导电膜上形成遮罩部...
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