树脂膜的形成方法及树脂膜的成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术的树脂膜的形成方法使用掩模主体由金属材料构成且具备规定的开口部的掩模，在减压气氛下在基板上形成树脂膜，所述树脂膜的形成方法依次具备：第一工序，在减压气氛下，以与载置在经冷却的支撑台上的所述基板相接的方式设置所述掩模，并且经由该掩模供给经气化的树脂材料并在该基板上冷凝，从而在该基板上形成液态的树脂材料膜；第二工序，从所述基板剥离所述掩模；第三工序，对所述掩模上的树脂材料膜进行热处理，从而使该树脂材料膜蒸发；及第四工序，对残留在所述基板上的树脂材料膜照射UV光，使该树脂材料膜硬化而形成树脂膜。

The Formation Method of Resin Film and the Film Forming Device of Resin Film

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】树脂膜的形成方法及树脂膜的成膜装置
本专利技术涉及能够在减压气氛下容易去除在掩模上形成的树脂材料膜的树脂膜的形成方法及树脂膜的成膜装置。本申请基于2017年2月21日于日本申请的专利申请2017-030321号要求优先权，并且在此援引其内容。
技术介绍
作为由高分子有机物构成的树脂膜的制造法，广泛使用蒸镀聚合法或紫外线硬化法。这两个制造法均为通过向经减压的处理槽内导入低分子的有机物气体以使供给到被处理体上的树脂材料产生聚合反应而在被处理体的表面上形成高分子的树脂膜的方法，具有树脂膜对被处理体表面的覆盖率(coverage)良好的优点。在专利文献1中公开了适于这两个制造法的成膜装置。图7是表示现有的树脂膜的形成方法的流程图，表示通过使用金属掩模MY来形成丙烯酸树脂膜F作为树脂膜的代表例的情况。首先，在对基板S实施无机保护膜形成等的前处理之后，向成膜室内移动基板S(SY1、SY2)。如图8～图11所示，在成膜室内(减压气氛)，将设置有期望的开口部的金属掩模MY配置在基板S的被成膜面上(SY3)。由此，如图8所示，基板S的位于开口部的位置上的被成膜面成为露出状态。接着，如图9所示，经由金属本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种树脂膜的形成方法，使用掩模主体由金属材料构成且具备规定的开口部的掩模，在减压气氛下在基板上形成树脂膜，所述树脂膜的形成方法依次具备：第一工序，在减压气氛下，以与载置在经冷却的支撑台上的所述基板相接的方式设置所述掩模，并且经由该掩模供给经气化的树脂材料并在该基板上冷凝，从而在该基板上形成液态的树脂材料膜；第二工序，从所述基板剥离所述掩模；第三工序，对所述掩模上的树脂材料膜进行热处理，从而使该树脂材料膜蒸发；及第四工序，对残留在所述基板上的树脂材料膜照射UV光，使该树脂材料膜硬化而形成树脂膜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.21 JP 2017-0303211.一种树脂膜的形成方法，使用掩模主体由金属材料构成且具备规定的开口部的掩模，在减压气氛下在基板上形成树脂膜，所述树脂膜的形成方法依次具备：第一工序，在减压气氛下，以与载置在经冷却的支撑台上的所述基板相接的方式设置所述掩模，并且经由该掩模供给经气化的树脂材料并在该基板上冷凝，从而在该基板上形成液态的树脂材料膜；第二工序，从所述基板剥离所述掩模；第三工序，对所述掩模上的树脂材料膜进行热处理，从而使该树脂材料膜蒸发；及第四工序，对残留在所述基板上的树脂材料膜照射UV光，使该树脂材料膜硬化而形成树脂膜。2.根据权利要求1所述的树脂膜的形成方法，其中，所述第三工序中的热处理为使用加热装置对所述掩模进行的加热升温。3.根据权利要求1所述的树脂膜的形成方法，其中，通过从所述支撑台分离所述掩模的自然升温来进行所述第三工序中的热处理。4.根据权利要求1所述的树脂膜的形成方法，其中，在所述第三工序中的热处理中，从所述支撑台分离所...

【专利技术属性】
技术研发人员：青代信，清健介，高桥明久，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本,JP