一种便于操作的离子溅射仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于操作的离子溅射仪，包括工作台，所述工作台顶部外壁分别放置有离子溅射仪本体和真空泵，所述真空泵顶部外壁开有圆孔，且圆孔内插接有气压表，所述真空泵一侧内壁插接有真空管，且真空管一端插接有真空管转接头，所述真空管转接头两侧外壁均粘贴有密封垫，所述离子溅射仪本体顶部外壁设置有玻璃样品室，且玻璃样品室顶部外壁设置有固定板，所述玻璃样品室底部内壁设有保护壳，且保护壳底部内壁设置有电机。本实用新型专利技术便于引导处于学习阶段且导师不在身边的操作人员进行操作，避免了操作人员由于不熟悉操作流程出现操作失误，降低了意外事故的发生率，提高了整个装置的安全性。

An Easy-to-operate Ion Sputtering Instrument

【技术实现步骤摘要】
一种便于操作的离子溅射仪
本技术涉及离子溅射仪
，尤其涉及一种便于操作的离子溅射仪。
技术介绍
离子溅射仪镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电产生带正电荷的气体离子，在阴极和阳极之间电压的加速作用下，带正电荷的气体离子轰击阴极表面使阴极表面材料原子化形成中性原子，从各个方向溅出并溅落到试样的表面，于是在试样表面形成一层均匀的薄膜。当离子溅射仪作为教学使用时，由于操作人员处于学习阶段对其不够熟悉，且辅导人员不在身旁时，可能会因操作失误，导致意外事故的发生。同时目前的溅射仪放置板为固定的，无法使溅射材料溅射到样品的侧面，降低了样品的导电性，还无法实现样品全面性和均匀性的喷镀，使得在扫描电镜中无法得到更加清晰的图像。因此，亟需设计一种便于操作的离子溅射仪来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种便于操作的离子溅射仪。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种便于操作的离子溅射仪，包括工作台，所述工作台顶部外壁分别放置有离子溅射仪本体和真空泵，所述真空泵顶部外壁开有圆孔，且圆孔内插接有气压表，所述真空泵一侧内壁插接有真空管，且真空管一端插接有真空管转接头，所述真空管转接头两侧外壁均粘贴有密封垫，所述离子溅射仪本体顶部外壁设置有玻璃样品室，且玻璃样品室顶部外壁设置有固定板，所述玻璃样品室底部内壁设有保护壳，且保护壳底部内壁设置有电机，所述电机输出轴的一端外壁设置有转动杆，且转动杆外壁套接有联轴器，所述转动杆远离电机输出轴的一端外壁设置有放置板，所述放置板顶部外壁设置有固定杆，所述固定杆顶部外壁开有凹槽，且凹槽底部内壁转动连接有转轴，所述转轴顶部外壁设置有样品盒，所述放置板顶部外壁设置有电动伸缩筒，且电动伸缩筒顶部内壁插接有电动伸缩杆。作为本技术再进一步的方案，所述工作台底部外壁设置有支撑腿，且支撑腿底部外壁套接有防滑套。作为本技术再进一步的方案，所述玻璃样品室顶部外部粘接有吸盘，且吸盘顶部外壁设置有连接杆。作为本技术再进一步的方案，所述连接杆一侧外壁设置有连接板，且连接板外壁粘贴有使用说明书。作为本技术再进一步的方案，所述固定板底部外壁设置有固定柱，且固定柱底部外壁设置有靶头，靶头位于样品盒的顶部。作为本技术再进一步的方案，所述电动伸缩杆顶部外壁设置有连接板，且连接板顶部外壁设置有弹簧，弹簧远离连接板的一端外壁焊接在样品盒的底部外壁上。作为本技术再进一步的方案，所述真空泵、离子溅射仪本体、电机和电动伸缩筒均通过导线连接有开关，且开关通过导线连接有电源。本技术的有益效果为：1.通过设置的连接杆、连接板和说明书，便于引导处于学习阶段且导师不在身边的操作人员进行操作，避免了操作人员由于不熟悉操作流程出现操作失误，降低了意外事故的发生率，提高了整个装置的安全性；2.通过设置的电机、转动杆、放置板、电动伸缩筒、电动伸缩杆和转轴，电机通过转动杆带动样品盒进行转动，通过电动伸缩杆从电动伸缩筒内进行伸缩，带动样品盒上升和下降，可实现样品盒同时上下摆动和水平转动，以便于对样品进行全方位、均匀性的喷镀，最终观察时得到一个良好的图像。附图说明图1为本技术提出的一种便于操作的离子溅射仪的结构示意图；图2为本技术提出的一种便于操作的离子溅射仪的玻璃样品室内部结构示意图；图3为本技术提出的一种便于操作的离子溅射仪的电动伸缩筒结构示意图。1工作台、2真空管、3真空泵、4气压表、5密封垫、6真空管转接头、7连接杆、8使用说明书、9玻璃样品室、10固定板、11支撑腿、12离子溅射仪本体、13靶头、14样品盒、15电机、16保护壳、17联轴器、18转动杆、19放置板、20电动伸缩筒、21电动伸缩杆、22转轴、23弹簧。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-3，一种便于操作的离子溅射仪，包括工作台1，工作台1顶部外壁分别放置有离子溅射仪本体12和真空泵3，真空泵3顶部外壁开有圆孔，且圆孔内插接有气压表4，真空泵3一侧内壁插接有真空管2，且真空管2一端插接有真空管转接头6，真空管转接头6两侧外壁均粘贴有密封垫5，离子溅射仪本体12顶部外壁设置有玻璃样品室9，且玻璃样品室9顶部外壁设置有固定板10，便于观察内部的情况，玻璃样品室9底部内壁设有保护壳16，且保护壳16底部内壁通过螺栓连接有电机15，电机15输出轴的一端外壁焊接有转动杆18，且转动杆18外壁套接有联轴器17，转动杆18远离电机15输出轴的一端外壁通过螺栓连接有放置板19，放置板19顶部外壁通过螺栓连接有固定杆，固定杆顶部外壁开有凹槽，且凹槽底部内壁转动连接有转轴22，转轴22顶部外壁焊接有样品盒14，放置板19顶部外壁通过螺栓连接有电动伸缩筒20，且电动伸缩筒20顶部内壁插接有电动伸缩杆21，可以实现样品盒14同时上下摆动和水平转动，以便于对样品进行全方位、均匀性的喷镀，最终观察时得到一个良好的图像。本技术中，工作台1底部外壁通过螺栓连接有支撑腿11，且支撑腿11底部外壁套接有防滑套，玻璃样品室9顶部外部粘接有吸盘，且吸盘顶部外壁设置有连接杆7，连接杆7一侧外壁通过螺栓连接有连接板，且连接板外壁粘贴有使用说明书8，固定板10底部外壁通过螺栓连接有固定柱，且固定柱底部外壁设置有靶头13，靶头13位于样品盒14的顶部，电动伸缩杆21顶部外壁通过螺栓连接有连接板，且连接板顶部外壁焊接有弹簧23，弹簧23远离连接板的一端外壁焊接在样品盒14的底部外壁上，真空泵3、离子溅射仪本体12、电机15和电动伸缩筒20均通过导线连接有开关，且开关通过导线连接有电源。工作原理：使用时，电机15转动带动转动杆18一同转动，转动杆18转动带动连接板放置板19转动，便于对样品进行全方位均匀的喷镀，同时电动伸缩杆21在电动伸缩筒20内进行伸缩，电动伸缩杆21缩短时拉动弹簧23，由于弹簧23的一端焊接在样品盒14底部外壁上，同时样品盒14底部外壁焊接有转轴22，所以可以实现样品盒14同时上下摆动和水平转动，通过设置的说明书8，便于引导处于学习阶段且导师不在身边的操作人员进行操作，避免了操作人员由于不熟悉操作流程出现操作失误。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于操作的离子溅射仪，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)顶部外壁分别放置有离子溅射仪本体(12)和真空泵(3)，所述真空泵(3)顶部外壁开有圆孔，且圆孔内插接有气压表(4)，所述真空泵(3)一侧内壁插接有真空管(2)，且真空管(2)一端插接有真空管转接头(6)，所述真空管转接头(6)两侧外壁均粘贴有密封垫(5)，所述离子溅射仪本体(12)顶部外壁设置有玻璃样品室(9)，且玻璃样品室(9)顶部外壁设置有固定板(10)，所述玻璃样品室(9)底部内壁设有保护壳(16)，且保护壳(16)底部内壁设置有电机(15)，所述电机(15)输出轴的一端外壁设置有转动杆(18)，且转动杆(18)外壁套接有联轴器(17)，所述转动杆(18)远离电机(15)输出轴的一端外壁设置有放置板(19)，所述放置板(19)顶部外壁设置有固定杆，所述固定杆顶部外壁开有凹槽，且凹槽底部内壁转动连接有转轴(22)，所述转轴(22)顶部外壁设置有样品盒(14)，所述放置板(19)顶部外壁设置有电动伸缩筒(20)，且电动伸缩筒(20)顶部内壁插接有电动伸缩杆(21)。

【技术特征摘要】
1.一种便于操作的离子溅射仪，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)顶部外壁分别放置有离子溅射仪本体(12)和真空泵(3)，所述真空泵(3)顶部外壁开有圆孔，且圆孔内插接有气压表(4)，所述真空泵(3)一侧内壁插接有真空管(2)，且真空管(2)一端插接有真空管转接头(6)，所述真空管转接头(6)两侧外壁均粘贴有密封垫(5)，所述离子溅射仪本体(12)顶部外壁设置有玻璃样品室(9)，且玻璃样品室(9)顶部外壁设置有固定板(10)，所述玻璃样品室(9)底部内壁设有保护壳(16)，且保护壳(16)底部内壁设置有电机(15)，所述电机(15)输出轴的一端外壁设置有转动杆(18)，且转动杆(18)外壁套接有联轴器(17)，所述转动杆(18)远离电机(15)输出轴的一端外壁设置有放置板(19)，所述放置板(19)顶部外壁设置有固定杆，所述固定杆顶部外壁开有凹槽，且凹槽底部内壁转动连接有转轴(22)，所述转轴(22)顶部外壁设置有样品盒(14)，所述放置板(19)顶部外壁设置有电动伸缩筒(20)，且电动伸缩筒(20)顶部内壁插接有电动伸缩杆(21)。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：皮晓宇，
申请(专利权)人：上海欧波同仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31