一种活动密封装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，包括：活动门，活动门设置在所述系统的腔体外侧，对所述腔体进行密封；十字转盘，十字转盘设置在所述活动门的中心位置，与所述活动门可转动连接；拉杆机构，拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接，另一端所述十字转盘连接；压紧机构，压紧机构设置在所述活动门内侧，位于所述活动门四周边缘处，对腔体进行压紧密封。解决现有技术中活动门密封效果不佳，使用的端面密封存在压力不均匀和压力弱的技术问题，达到了通过一个转盘带动活动门四周的压紧机构同时压紧，保证活动门周边的密封压紧同步性和均匀性，密封效果佳的技术效果。

A Movable Sealing Device

【技术实现步骤摘要】
一种活动密封装置
本专利技术涉及微环境控制
，尤其涉及一种活动密封装置。
技术介绍
为了可以同时保证温度、压力、洁净度等多项指标的精确控制，微环境控制系统目标区域只能是一个密闭的小型局部空间。必须以设备为中心，在其周围构建一个密闭腔体。目前市场上成熟的一体化的微环境控制系统，大多体积较小，其密闭室采用一体化的结构密封，无须留有活动开口，但对于大型的检测设备或半导体装备，相应的其环控系统的体积也非常庞大，而且必须为设备留有活动的检修或观察窗。对于此类大型的系统，非活的部分采用固连的结构，再加上密封胶，其效果也非常良好，但对于活动部分，由于经常开启与关闭，其密封就存在问题。目前常用活动门密封是在贴合面上安装相胶条，一侧边安装铰链，方便开闭，对边安装压紧把手，又或有采用磁条结构，通过磁力压紧胶条，达到密封的效果。前者不能在门板四周均匀施压，对于有严格要求的密封的结构，就不在适用。后者通过磁力压紧，一般磁力都较弱，不能达到很好的效果，如果采用强磁材料，又会产生别的副效。所以需要对不同的腔体设计其专用的密封活动门。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供了一种活动密封装置，以便至少部分解决上述技术问题，该目的是通过以下技术方案实现。本专利技术提供了一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，所述装置包括：活动门，所述活动门设置在所述系统的腔体外侧，对所述腔体进行密封；十字转盘，所述十字转盘设置在所述活动门的中心位置，与所述活动门可转动连接；拉杆机构，所述拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接，另一端所述十字转盘连接；压紧机构，所述压紧机构设置在所述活动门内侧，位于所述活动门四周边缘处，对所述腔体进行压紧密封。优选的，所述活动门包括：定位台阶，所述定位台阶位于所述活动门外侧中心位置，对所述十字转盘进行定位；螺柱，所述螺柱设置在所述定位台阶上，通过所述螺柱将所述十字转盘与所述活动门进行连接。优选的，所述活动门还包括：密封条，所述密封条设置在所述活动门内侧四周边缘处，且所述密封条的形状与所述活动门外围轮廓相匹配。优选的，所述十字转盘包括：圆弧槽，所述圆弧槽设置在所述十字转盘与所述拉杆机构的连接处，当转动所述十字转盘时，所述拉杆机构能够在所述圆弧槽中进行伸缩运动。优选的，所述圆弧槽的数量与所述拉杆机构的数量相同。优选的，所述拉杆机构包括：四个拉杆，所述四个拉杆分别设置在所述活动门的四个顶角处，且所述拉杆的一端与所述十字转盘连接；四个直角压块，所述四个直角压块分别设置在所述活动门的四个顶角外侧，与所述四个拉杆对应连接，通过转动所述十字转盘，拉动拉杆带动所述直角压块对所述活动门进行压紧。优选的，所述直角压块包括：直角固定架，所述直角固定架设置在所述活动门顶角外侧；连接杆，所述连接杆的一端与所述直角固定架外侧连接；活动板，所述活动板的一端具有一通孔，所述连接杆的另一端穿过所述通孔与所述活动板连接，且所述活动板的另一端具有一凹槽，通过所述凹槽与所述拉杆连接；其中，拉杆带动所述活动板在所述连接杆上移动，驱动所述支架固定架压紧所述活动门的顶角。优选的，所述直角压块还包括：第一弹簧，所述第一弹簧套设在所述连接杆上，位于所述直角固定架和所述活动板之间。优选的，所述压紧机构包括：压条，所述压条分别设置在所述活动门边框外围，且所述压条之间相互交错连接；导向柱，所述导向柱的一端与所述压条侧面连接，另一端朝向远离所述活动门方向，嵌入所述腔体对应的导向孔内。优选的，所述导向柱还包括：第二弹簧，所述第二弹簧套设在所述导向柱上，控制所述压条通过弹力向远离活动门的方向弹起。本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：本专利技术实施例提供的一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，所述装置采用内侧带压紧机构的活动门对腔体进行密封，活动门设置在腔体外侧，在活动门中心设置的十字转盘可进行转动，十字转盘在活动门处于闭合时，活动门内侧滑入腔体卡槽中，通过十字转盘转动控制活动门四个顶角与十字转盘之间连接的拉杆机构，拉杆机构一端经过活动门的顶角与腔体连接，另一端与十字转盘连接，当针转动十字转盘时，通过拉杆机构对活动门顶角向活动门中心方向进行收紧，通过活动门顶角对活动门四周边缘设置的压紧机构进行收紧施压，利用压紧机构对腔体内壁的凸缘压紧，达到密封作用，通过一个转盘带动活动门四周的压紧机构同时压紧，保证了活动门周边的密封压紧同步性和均匀性，从而解决了现有技术中活动门密封效果不佳，使用的端面密封存在压力不均匀和压力弱的技术问题，另外拉杆机构与压紧机构只有在活动门处于关闭位置时才能滑入卡槽连接，起到压紧与松开作用，当活动门处于开启位置时，两者不相连，旋转转盘也不会起到压紧作用，从而避免压紧机构进行无效运动及由此产生的磨损，能够实现活动门的并合与压紧密封功能，压紧机构与活动门和腔体紧密嵌套，融为一体，操作简单，密封效果良好。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本专利技术的具体实施方式。附图说明图1为本专利技术实施例的一种活动密封装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例中活动门的正面示意图；图3为本专利技术实施例中压紧机构的结构示意图；图4为本专利技术实施例中直角压块的安装示意图；图5为本专利技术实施例中密封条的结构示意图；图6为本专利技术实施例中定位台阶的结构示意图；图7为本专利技术实施例中直角压块的结构示意图。附图标记说明：腔体1，活动门2，密封条21，定位台阶22，螺柱23，十字转盘3，圆弧槽31，拉杆机构4，拉杆41，直角压块42，活动板421，第一弹簧422，连接杆423，直角固定架424，压条51，导向柱52，第二弹簧53，螺母6。具体实施方式本专利技术实施例提供了一种活动密封装置，用于解决现有技术中活动门密封效果不佳，使用的端面密封存在压力不均匀和压力弱的技术问题。本专利技术提供的技术方案总体思路如下：活动门，所述活动门设置在所述系统的腔体外侧，对所述腔体进行密封；十字转盘，所述十字转盘设置在所述活动门的中心位置，与所述活动门可转动连接；拉杆机构，所述拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接，另一端所述十字转盘连接；压紧机构，所述压紧机构设置在所述活动门内侧，位于所述活动门四周边缘处，对所述腔体进行压紧密封。达到了通过一个转盘带动活动门四周的压紧机构同时压紧，保证了活动门周边的密封压紧同步性和均匀性，密封效果佳，适用于具有密封要求的活动开口系统的技术效果。为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例一图1为本专利技术实施例中一种活动密封装置的结构示意图。本专利技术实施例提供了一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，请参考图1，所述装置包括：活动门2、十字转盘3、拉杆机构4、压紧机构。所述活动门2设置在所述系统的腔体1外侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，其特征在于，所述装置包括：活动门，所述活动门设置在所述系统的腔体外侧，对所述腔体进行密封；十字转盘，所述十字转盘设置在所述活动门的中心位置，与所述活动门可转动连接；拉杆机构，所述拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接，另一端所述十字转盘连接；压紧机构，所述压紧机构设置在所述活动门内侧，位于所述活动门四周边缘处，对所述腔体进行压紧密封。

【技术特征摘要】
1.一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，其特征在于，所述装置包括：活动门，所述活动门设置在所述系统的腔体外侧，对所述腔体进行密封；十字转盘，所述十字转盘设置在所述活动门的中心位置，与所述活动门可转动连接；拉杆机构，所述拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接，另一端所述十字转盘连接；压紧机构，所述压紧机构设置在所述活动门内侧，位于所述活动门四周边缘处，对所述腔体进行压紧密封。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述活动门包括：定位台阶，所述定位台阶位于所述活动门外侧中心位置，对所述十字转盘进行定位；螺柱，所述螺柱设置在所述定位台阶上，通过所述螺柱将所述十字转盘与所述活动门进行连接。3.如权利要求1所述装置，其特征在于，所述活动门还包括：密封条，所述密封条设置在所述活动门内侧四周边缘处，且所述密封条的形状与所述活动门外围轮廓相匹配。4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述十字转盘包括：圆弧槽，所述圆弧槽设置在所述十字转盘与所述拉杆机构的连接处，当转动所述十字转盘时，所述拉杆机构能够在所述圆弧槽中进行伸缩运动。5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述圆弧槽的数量与所述拉杆机构的数量相同。6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述拉杆机构包括：四个拉杆，所述四个拉杆分...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐威，孟璐璐，李璟，齐月静，宗明成，王宇，杨光华，陈进新，苏佳妮，张清洋，卢增雄，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11