衬底支撑设备及其制造方法技术

本公开提供一种衬底支撑设备，其包含：安装部分，设置有与衬底接触使得衬底安装于其上的第一主体和被配置成包围第一主体的第二主体；以及支撑部分，连接在安装部分下方以便支撑安装部分，其中第一主体和第二主体包含多个突起，且设置在第一主体上的突起的上表面的面积形成为大于设置在第二主体上的突起的上表面的面积，因此可稳定地支撑衬底。

Substrate Support Equipment and Its Manufacturing Method

【技术实现步骤摘要】
衬底支撑设备及其制造方法
本公开涉及一种衬底支撑设备及其制造方法，且更确切地说涉及一种允许均匀地调节衬底的整体温度同时稳定地支撑衬底的衬底支撑设备，且涉及一种衬底支撑设备的制造方法。
技术介绍
一般来说，为制造例如液晶显示装置和太阳能电池等产品，将执行各种制造工艺，例如将不同类型的薄膜沉积于待处理的衬底(例如玻璃衬底)上，以及使所沉积薄膜图案化。此处，借助于使用物理沉积方法的沉积设备，或使用化学沉积方法的沉积设备来执行用于在衬底上形成薄膜的工艺。物理沉积方法包含使薄膜颗粒与衬底直接地碰撞并吸附到衬底的溅镀。化学沉积方法包含用于诱发基团在衬底上方的化学反应且使所得薄膜颗粒下降并吸附到衬底的化学气相沉积。用于执行化学气相沉积的沉积设备可包含其上安装衬底的基座和用于从基座上方将处理气体朝向衬底注射的喷头(showerhead)。在相关技术中，为将衬底稳定安装于基座上，沿基座的周边表面提供遮蔽框架。遮蔽框架按压基座上安装的衬底的边缘区域来固定衬底。然而，由于基座的周边表面与遮蔽框架之间的分离空间，基座的周边比基座的中心部分发生的热损耗更多。即，由于基座的周边表面与大气之间的直接接触，周边表面比中心区域发生的热损耗多。因此，邻接于基座的周边的外围区域比衬底的中心区域发生的热损耗多。因此，存在衬底的整体温度变得不一致的问题。另外，由于基座的热膨胀和收缩的程度与遮蔽框架的热膨胀和收缩的程度不同，因此在处理衬底时，可由于基座与遮蔽框架之间的摩擦而产生颗粒。另外，还存在电子集中在遮蔽框架按压衬底的区域中使得衬底上产生火花的问题。[相关技术文献][专利文献](专利文献1)KR10-1628813B
技术实现思路
本公开提供一种能够均匀调节衬底的整体温度的衬底支撑设备及其制造方法。本公开还提供一种能够防止颗粒产生的衬底支撑设备及其制造方法。本专利技术还提供一种能够抑制或防止衬底上产生火花的衬底支撑设备及其制造方法。根据示范性实施例，一种衬底支撑设备包含：安装部分，设置有与衬底接触使得衬底安装于其上的第一主体，及被配置成包围第一主体的第二主体；以及支撑部分，连接在安装部分下方以便支撑安装部分。第一主体和第二主体可具有多个突起，且设置在第一主体上的突起的上表面的面积可形成为大于设置在第二主体上的突起的上表面的面积。第二主体可具有比第一主体更小的表面粗糙度值。第一主体的算术平均粗糙度值可为约15微米到25微米，且第二主体的算术平均粗糙度值可为约1.6微米到3.6微米。衬底支撑设备可还包含加热部分，其安装在安装部分上以便加热安装在安装部分上的衬底。第一主体的竖直方向厚度可大于第二主体的竖直方向厚度，以及加热部分可仅安装于第一主体上。第一主体的竖直方向厚度可形成为不大于第二主体的竖直方向厚度，以及加热部分可安装于第一主体和第二主体上。衬底支撑设备可还包含从第二主体的表面向上突出且经安装以便包围衬底的周边的至少一部分的突起部分。突起部分可包含加热部件以便加热衬底的边缘区域。插入凹槽可设置在第二主体中，且安装部分可包含可拆卸地安装于插入凹槽中以便接合用于输送衬底支撑设备的输送设备的接合部件。安装部分可包含可拆卸地安装到已拆卸接合部件的插入凹槽中的插入部件。一分离空间可设置在插入凹槽的至少一部分与插入部件之间。根据另一示范性实施例，一种制造用于支撑衬底的衬底支撑设备的方法，所述方法包含：提供安装部分，安装部分包含与衬底接触的第一区域及被配置成包围第一区域的第二区域；以及处理第一区域的表面并处理第二区域的表面，使得第二区域的表面粗糙度值小于第一区域的表面粗糙度值。处理第一区域的表面可包含增大第一区域与衬底之间的接触面积的处理。第一区域和第二区域的表面的处理可包含：用涂布剂涂布第一区域和第二区域当中的一个区域的表面且在其它区域上注入颗粒；将涂布剂从一个区域中去除并用另一涂布剂涂布其它区域的表面；在一个区域的表面上注入颗粒；以及将涂布剂从其它区域中去除。第一区域和第二区域的表面的处理可包含将颗粒注入到第二区域上，颗粒的直径小于注入到第一区域上的颗粒的直径。制造衬底支撑设备的方法可还包含：在处理第一区域和第二区域的表面之后，将衬底支撑设备安装在腔室内部。提供安装部分可包含在安装部分的周边中形成插入凹槽；以及将衬底支撑设备安装在腔室内部可包含：将接合部件安装到插入凹槽中且使得接合部件与输送设备接合；以及通过输送设备来将衬底支撑设备放置在腔室内部。将衬底支撑设备安装在腔室内部可包含：将接合部件与插入凹槽分离；以及填充插入凹槽。附图说明通过结合附图进行的以下描述可更详细地理解示范性实施例，其中：图1是根据示范性实施例的衬底处理设备的结构的视图。图2是根据示范性实施例的衬底支撑设备的结构的视图。图3是根据示范性实施例的第一主体和第二主体的突起的形状的示意图。图4是根据示范性实施例的用于对第一主体的厚度与第二主体的厚度进行比较的视图。图5是根据示范性实施例的接合部件安装在第二主体上的结构的视图。图6是根据示范性实施例的插入部件安装在第二主体上的结构的视图。图7是根据另一示范性实施例的衬底支撑设备的结构的视图。图8是根据示范性实施例的用于制造衬底支撑设备的方法的流程图。附图标号说明10：腔室；15：压力泵；20：注入设备；100：衬底支撑设备；110：安装部分；111：第一主体；111a：紧固孔；111b、112b：突起；112：第二主体；112a：插入凹槽；112c：台阶；114：第二紧固螺栓；116：接合部件；116a：框架；116b：吊环螺栓；117：第一紧固螺栓；120：支撑部分；130：加热部分；140：突起部分；145：加热部件；D1、D2：竖起方向厚度；S：衬底；S110、S120：步骤。具体实施方式下文中将参考附图详细地描述示范性实施例。然而，本公开可以不同形式实施，并且不应被解释为限于本文中所阐述的实施例。实际上，提供这些实施例以使得本公开将为透彻且完整的，并且将向所属领域的技术人员充分传达本公开的范围。为详细地描述本公开，可放大图式，且附图中的相似附图标记指代相似元件。图1是根据示范性实施例的衬底处理设备的结构的视图。在下文中，为理解示范性实施例，将描述根据示范性实施例的衬底处理设备的结构。参看图1，衬底处理设备包含腔室10、注入设备20以及衬底支撑设备100。此处，衬底处理设备可执行用于在衬底S上形成薄膜的工艺，且衬底S可以是玻璃衬底。腔室10形成为呈盒形状。腔室10具有内部空间。在腔室10的一侧上，设置进入开口(未绘示)，可通过进入开口装载/卸载衬底S。闸门阀可安装在入口开口上。用于传送衬底S的传送部分(未绘示)可安装于腔室10中。因此，衬底S可传送到腔室10中且可执行用于处理衬底S的工艺。另外，压力泵15可连接到腔室10。因此，通过压力泵15可来控制腔室10内部的压力。然而，腔室10的结构和形状不限于此，而是可多样化。衬底支撑设备100支撑腔室10内部的衬底S。衬底支撑设备100的至少一部分位于腔室10内部的下部部分上。衬底S可安装在衬底支撑设备100的上表面上。注入设备20可供应待沉积到衬底S上的原材料。注入设备20位于腔室10内部的上部部分上。注入设备20安置成面向衬底支撑设备100，且注入设备20与衬底支撑设备100彼此本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种衬底支撑设备，包括：安装部分，包括与衬底接触使得所述衬底安装于其上的第一主体以及被配置成包围所述第一主体的第二主体；以及支撑部分，连接在所述安装部分下方以便支撑所述安装部分，其中所述第一主体以及所述第二主体包括多个突起，且设置在所述第一主体上的所述多个突起的上表面的面积形成为大于设置在所述第二主体上的所述多个突起的上表面的面积。

【技术特征摘要】
2018.01.22 KR 10-2018-00078761.一种衬底支撑设备，包括：安装部分，包括与衬底接触使得所述衬底安装于其上的第一主体以及被配置成包围所述第一主体的第二主体；以及支撑部分，连接在所述安装部分下方以便支撑所述安装部分，其中所述第一主体以及所述第二主体包括多个突起，且设置在所述第一主体上的所述多个突起的上表面的面积形成为大于设置在所述第二主体上的所述多个突起的上表面的面积。2.根据权利要求1所述的衬底支撑设备，其特征在于，所述第二主体具有比所述第一主体更小的表面粗糙度值。3.根据权利要求2所述的衬底支撑设备，其特征在于，所述第一主体的算术平均粗糙度值介于15微米到25微米，以及所述第二主体的算术平均粗糙度值介于1.6微米到3.6微米。4.根据权利要求1到权利要求3中任一权利要求所述的衬底支撑设备，还包括加热部分，安装于所述安装部分上以便加热安装于所述安装部分上的所述衬底。5.根据权利要求4所述的衬底支撑设备，其特征在于，所述第一主体的竖直方向厚度大于所述第二主体的竖直方向厚度，以及所述加热部分仅安装于所述第一主体上。6.根据权利要求4所述的衬底支撑设备，其特征在于，所述第一主体的所述竖直方向厚度形成为不大于所述第二主体的所述竖直方向厚度，以及所述加热部分安装于所述第一主体及所述第二主体上。7.根据权利要求4所述的衬底支撑设备，还包括从所述第二主体的表面向上突出且经安装以便包围所述衬底的周边的至少一部分的突起部分。8.根据权利要求7所述的衬底支撑设备，其特征在于，所述突起部分包括加热部件以便加热所述衬底的边缘区域。9.根据权利要求1到权利要求3中任一权利要求所述的衬底支撑设备，其特征在于，插入凹槽设置在所述第二主体中，以及所述安装部分包括可拆卸地安装于所述插入凹槽中的接合部件，以便接合用于输送所述衬底支撑设备的输送设备。10.根据权利要求9所述的衬底支撑设备，其特征在于，所述安装部分包括可拆卸地安装到已拆卸所述接合部件的所述插入凹槽中的插入部件。11.根据权利要求10所述的衬底...

【专利技术属性】
技术研发人员：张锡采，吴燦，朴成晧，丁晟云，张相求，金日，
申请(专利权)人：相求精工株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR