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本公开提供一种衬底支撑设备，其包含：安装部分，设置有与衬底接触使得衬底安装于其上的第一主体和被配置成包围第一主体的第二主体；以及支撑部分，连接在安装部分下方以便支撑安装部分，其中第一主体和第二主体包含多个突起，且设置在第一主体上的突起的上表...
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