一种硅片插片装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种硅片插片装置。市场上现有的插片机，其对硅片整形主要采用动态整形机构，通过气缸或者电机驱动的方式，使输送线两侧的整形板往中间收缩对硅片整形，这种整形方式容易对硅片边缘造成损伤，导致硅片不良率增加。本发明专利技术涉及一种硅片插片装置，其中：整形输送模组与硅片缓冲模组之间设有提升模组，整形输送模组、提升模组、硅片缓冲模组均安装于插片机机架，花篮置于提升模组上。本装置采用静态整形的方式，由电机带动同步带对硅片进行整形，并增加导向，有效减少整形过程中对硅片造成的损伤，减少不良率；同时，采用特殊结构的硅片缓冲模组，实现对硅片的高速插片同时，对硅片进行缓冲，使硅片不与花篮底部撞击，保证硅片的品质。

A silicon wafer insertion device

【技术实现步骤摘要】
一种硅片插片装置
本专利技术涉及硅片插片机
，尤其是一种硅片插片装置。
技术介绍
在硅片进行清洗的过程中，要对硅片进行插片，利于清洗，通常有人工插片与机械插片这两种方式。人工插片方式效率低、劳动强度大，插片效果差；机械插片方式采用插片机，使用自动机构插片，但市场上现有的插片机，其对硅片整形主要采用动态整形机构，通过气缸或者电机驱动的方式，使输送线两侧的整形板往中间收缩对硅片整形，这种整形方式容易对硅片边缘造成损伤，或者是硅片产生裂痕，导致硅片不良率增加，硅片生产效率降低；同时，现有的插片机在插片过程中高速输送的硅片容易与花篮底部撞击，对硅片造成损坏，同样地，增加了不良率，造成极大浪费。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种硅片插片装置，为克服上述的不足，采用静态整形的方式，由电机带动同步带对硅片进行整形，并增加导向，有效减少整形过程中对硅片造成的损伤，减少不良率；同时，采用特殊结构的硅片缓冲模组，实现对硅片的高速插片，同时对硅片进行缓冲，使硅片不与花篮底部撞击，保证硅片的品质，提高插片速度，效率高。为了解决上述问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种硅片插片装置，包括整形输送模组、提升模组、花篮、插片机机架、硅片缓冲模组；其中：整形输送模组与硅片缓冲模组之间设有提升模组，整形输送模组、提升模组、硅片缓冲模组均安装于插片机机架，花篮置于提升模组上。一种硅片插片装置，所述整形输送模组包括底板、挡板安装板、马达座、缓冲块、第二支柱、第二步进电机、滑块滑轨、硅片整形机构、输送机构；其中：底板上左右两侧对称设有硅片整形机构，硅片整形机构通过第二支柱固定于底板，两个硅片整形机构之间设有滑块滑轨，滑块滑轨安装于底板上，滑块滑轨一端设有挡板安装板，挡板安装板安装于底板上，挡板安装板内侧安装有缓冲块，两个硅片整形机构之间设有输送机构，输送机构固定于底板上，底板底部设有第二步进电机，第二步进电机通过马达座固定于底板上。一种硅片插片装置，所述硅片整形机构包括第一安装板、支撑板、旋转轴、第一从动轮、导向板、第一主动轮、支座、第二安装板、电机板、第一盖板、第一平带、保护罩、第一深沟球轴承、第一支柱、第一步进电机；其中：第一安装板上安装有支撑板，导向板通过支座固定于支撑板上，第二安装板通过第一支柱与支撑板连接，电机板固定于第二安装板上，第一步进电机安装于电机板上，第一步进电机外部安装装有保护罩、电第一步进电机内的输出轴与第一主动轮同轴连接、第一主动轮通过第一平带依次与三个第一从动轮连接，第一从动轮内安装有第一深沟球轴承，第一从动轮上端装有盖板，第一深沟球轴承通过旋转轴固定于支撑板上。一种硅片插片装置，所述输送机构包括第二盖板、第一侧板、第二侧板、尼龙垫块、第一枪板、第二枪板、隔套、气缸连接板、从动轴、第二从动轮、限位安装板、第一连接板、第一输送线连接板、第二输送线连接板、主动轴、芯轴、角件、滑块连接板、张紧轴、第二平带、第二主动轮、盖子、传感器座、第三从动轮、高从动轮、第二深沟球轴承、微型轴承、第三支柱、笔型气缸、浮动接头、螺纹型光纤；其中：第一侧板与第二侧板之间固定有限位安装板、第一输送线连接板、第三支柱、第二输送线连接板以及气缸连接板，限位安装板上装有尼龙垫块，笔型气缸安装于气缸连接板上，笔型气缸前端安装有浮动接头，浮动接头另一端与第一连接板连接，第一连接板两侧安装有第一枪板、第二枪板，第一连接板下端固定有角件和滑块连接板，第一连接板上端安装有盖子，第一枪板与第二枪板的前端通过第三支柱连接，第二枪板上安装有传感器座，传感器座用于固定螺纹型光纤，第一侧板与第二侧板的下端固定有主动轴，第二主动轮通过第二平带与第二从动轮连接、第三从动轮、高从动轮连接，第二从动轮通过第二深沟球轴承与张紧轴同时固定于第一侧板、第二侧板上，张紧轴安装于第一侧板、第二侧板上，第三从动轮通过第二深沟球轴承与从动轴同时固定于第一侧板、第二侧板上，高从动轮通过芯轴、微型轴承、隔套同时固定于第一枪板、第二枪板上，从动轴与张紧轴的端部均安装有第二盖板。一种硅片插片装置，其中：所述第二步进电机内的输出轴通过联轴器与所述硅片整形机构上的主动轴连接，所述滑块连接板与所述滑块滑轨上的滑块连接。一种硅片插片装置，其中：所述滑块滑轨外部安装有风琴罩，所述风琴罩安装于底板上。一种硅片插片装置，所述提升模组包括升降电机、丝杆传动模组、提升平台；其中：所述升降电机安装于丝杆传动模组上，所述升降电机内的转轴与所述丝杆传动模组内的丝杆同轴连接，所述提升平台安装于丝杆传动模组内的滑块上。一种硅片插片装置，所述硅片缓冲模组包括支架、气缸座、安装板、缓冲垫支架、第一缓冲垫、第二连接板、限位块、第二缓冲垫、滑轨、气缸；其中：气缸通过气缸座固定于支架上，气缸内的活塞杆与第二连接板一端连接，第二连接板另一端与安装板连接，支架上设有滑轨，安装板与滑轨活动连接，滑轨一端设有限位块，限位块固定于支架上，限位块上安装有第二缓冲垫，缓冲垫支架安装于安装板上，缓冲垫支架上安装有第一缓冲垫。一种硅片插片装置，其中：所述第一缓冲垫表面与水平面成95度夹角。本专利技术的优点在于：本装置采用静态整形的方式，由电机带动同步带对硅片进行整形，并增加导向，有效减少整形过程中对硅片造成的损伤，减少不良率；同时，采用特殊结构的硅片缓冲模组，实现对硅片的高速插片，同时对硅片进行缓冲，使硅片不与花篮底部撞击，保证硅片的品质，提高插片速度，效率高。附图说明图1为本专利技术的整体结构示意图。图2为本专利技术中的整形输送模组结构示意图。图3为本专利技术中的硅片整形机构的结构示意图。图4为本专利技术中的硅片整形机构主视图。图5为本专利技术中的输送机构结构示意图。图6为本专利技术中的输送机构主视图。图7为本专利技术中的输送机构俯视图。图8为本专利技术中的输送机构右视图。图9为本专利技术中的硅片缓冲模组结构示意图。附图标记：底板1、挡板安装板2、马达座3、缓冲块4、第一安装板5、支撑板6、旋转轴7、第一从动轮8、导向板9、第一主动轮10、支座11、第二安装板12、电机板13、第一盖板14、第一平带15、保护罩16、第一深沟球轴承17、第一支柱18、第二支柱19、第一步进电机20、第二步进电机21、滑块滑轨22、联轴器23、第二盖板24、第一侧板25、第二侧板26、尼龙垫块27、第一枪板28、第二枪板29、隔套30、气缸连接板31、从动轴32、第二从动轮33、限位安装板34、第一连接板35、第一输送线连接板36、第二输送线连接板37、主动轴38、芯轴39、角件40、滑块连接板41、张紧轴42、第二平带43、第二主动轮44、盖子45、传感器座46、第三从动轮47、高从动轮48、第二深沟球轴承49、微型轴承50、第三支柱51、笔型气缸52、浮动接头53、螺纹型光纤54、硅片整形机构55、输送机构56、风琴罩57、整形输送模组58、提升模组59、升降电机5901、丝杆传动模组5902、提升平台5903、花篮60、插片机机架61、硅片缓冲模组62、支架6201、气缸座6202、第三安装板6203、缓冲垫支架6204、第一缓冲垫6206、第二连接板6206、限位块6207、第二缓冲垫6208、滑轨6209、气缸6210。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片插片装置，包括整形输送模组、提升模组、花篮、插片机机架、硅片缓冲模组；其特征在于：整形输送模组与硅片缓冲模组之间设有提升模组，整形输送模组、提升模组、硅片缓冲模组均安装于插片机机架，花篮置于提升模组上。

【技术特征摘要】
1.一种硅片插片装置，包括整形输送模组、提升模组、花篮、插片机机架、硅片缓冲模组；其特征在于：整形输送模组与硅片缓冲模组之间设有提升模组，整形输送模组、提升模组、硅片缓冲模组均安装于插片机机架，花篮置于提升模组上。2.根据权利要求1所述的一种硅片插片装置，所述整形输送模组包括底板、挡板安装板、马达座、缓冲块、第二支柱、第二步进电机、滑块滑轨、硅片整形机构、输送机构；其特征在于：底板上左右两侧对称设有硅片整形机构，硅片整形机构通过第二支柱固定于底板，两个硅片整形机构之间设有滑块滑轨，滑块滑轨安装于底板上，滑块滑轨一端设有挡板安装板，挡板安装板安装于底板上，挡板安装板内侧安装有缓冲块，两个硅片整形机构之间设有输送机构，输送机构固定于底板上，底板底部设有第二步进电机，第二步进电机通过马达座固定于底板上。3.根据权利要求2所述的一种硅片插片装置，所述硅片整形机构包括第一安装板、支撑板、旋转轴、第一从动轮、导向板、第一主动轮、支座、第二安装板、电机板、第一盖板、第一平带、保护罩、第一深沟球轴承、第一支柱、第一步进电机；其特征在于：第一安装板上安装有支撑板，导向板通过支座固定于支撑板上，第二安装板通过第一支柱与支撑板连接，电机板固定于第二安装板上，第一步进电机安装于电机板上，第一步进电机外部安装装有保护罩、电第一步进电机内的输出轴与第一主动轮同轴连接、第一主动轮通过第一平带依次与三个第一从动轮连接，第一从动轮内安装有第一深沟球轴承，第一从动轮上端装有盖板，第一深沟球轴承通过旋转轴固定于支撑板上。4.根据权利要求2所述的一种硅片插片装置，所述输送机构包括第二盖板、第一侧板、第二侧板、尼龙垫块、第一枪板、第二枪板、隔套、气缸连接板、从动轴、第二从动轮、限位安装板、第一连接板、第一输送线连接板、第二输送线连接板、主动轴、芯轴、角件、滑块连接板、张紧轴、第二平带、第二主动轮、盖子、传感器座、第三从动轮、高从动轮、第二深沟球轴承、微型轴承、第三支柱、笔型气缸、浮动接头、螺纹型光纤；其特征在于：第一侧板与第二侧板之间固定有限位安装板、第一输送线连接板、...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志康，喻由之，徐坤，
申请(专利权)人：江西宝群电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江西,36