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一种硅片插片装置制造方法及图纸
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文档序号:21717518
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本发明涉及一种硅片插片装置。市场上现有的插片机,其对硅片整形主要采用动态整形机构,通过气缸或者电机驱动的方式,使输送线两侧的整形板往中间收缩对硅片整形,这种整形方式容易对硅片边缘造成损伤,导致硅片不良率增加。本发明涉及一种硅片插片装置,其中...
该专利属于江西宝群电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西宝群电子科技有限公司授权不得商用。
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