光电二极管及形成方法、成像模组、身份识别装置及方法制造方法及图纸

一种光电二极管及形成方法、成像模组、身份识别装置及方法，所述光电二极管的形成方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成底电极；在所述底电极上采用第一射频频率形成第一感光层；在所述第一感光层上采用第二射频频率形成第二感光层，所述第二射频频率大于所述第一射频频率。本发明专利技术技术方案能够在不增加工艺步骤、运输过程的前提下，改善光电二极管的红外响应性能；从而能够在无需额外增加更多的模组结构，不会增加采集成本的前提下，即可获得指纹图像和血液生理特征，有利于实现身份识别安全性的改善和简化模组结构、降低采集成本的兼顾。

Photodiode and its forming method, imaging module, identification device and method

【技术实现步骤摘要】
光电二极管及形成方法、成像模组、身份识别装置及方法
本专利技术涉及指纹成像领域，特别涉及一种光电二极管及形成方法、成像模组、身份识别装置及方法。
技术介绍
指纹识别是在采集人体指纹图像之后，将指纹图像与指纹识别系统里已有指纹信息进行比对，以实现身份识别。由于使用的方便性，以及人体指纹的唯一性，指纹识别技术已经大量应用于各个领域，比如：公安局、海关等安检领域，楼宇的门禁系统，以及个人电脑和手机等消费品领域等等。为了提高光学式指纹成像模组的安全性，假指纹检测技术应运而生。假指纹检测技术中的一种是通过判断指纹样本是否来自活体指纹，而实现对真假指纹的分辨。通过对待成像件的血液生理特征(例如，血氧浓度等)进行检测，是一种利用非侵入式的活体检测方法。对于血液生理特征进行检测需要所采用的成像模组对红外信号具有较好的响应。但是现有成像模组对红外信号的响应性能并不理想。而且现有技术中，提高成像模组红外响应性能的方法，往往需要在成像模组的形成过程引入额外的处理，会引起工艺步骤的增加，运输过程的增加，从而增大了运输过程中出现污染和氧化问题的可能性。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种光电二极管及形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光电二极管的形成方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上形成底电极；在所述底电极上采用第一射频频率形成第一感光层；在所述第一感光层上采用第二射频频率形成第二感光层，所述第二射频频率大于所述第一射频频率。

【技术特征摘要】
1.一种光电二极管的形成方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上形成底电极；在所述底电极上采用第一射频频率形成第一感光层；在所述第一感光层上采用第二射频频率形成第二感光层，所述第二射频频率大于所述第一射频频率。2.如权利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述第二射频频率与所述第一射频频率的比值大于或等于1.5:1。3.如权利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述第一感光层的材料为非晶硅，所述第一射频频率为13.56MHz；所述第二感光层的材料包括微晶硅，所述第二射频频率在20MHz到150MHz范围内。4.如权利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述第二感光层材料厚度与所述第一感光层材料厚度的比值小于或等于1:1。5.如权利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述第二感光层材料的厚度在5nm到1μm范围内；所述第一感光层材料的厚度在5nm到1μm范围内。6.如权利要求1所述的形成方法，其特征在于，在同一工艺腔内进行形成所述第一感光层的工艺与形成所述第二感光层的工艺。7.如权利要求1至权利要求6任意一项所述的形成方法，通过化学气相沉积的方式形成所述第一感光层；通过化学气相沉积的方式形成所述第二感光层。8.一种光电二极管，其特征在于，包括：衬底；底电极，所述底电极位于所述衬底上；第一感光层，所述第一感光层位于所述底电极上，所述第一感光层的材料为非晶材料；第二感光层，所述第二感光层位于所述第一感光层上，所述第二感光层的材料包括微晶材料。9.如权利要求8所述的光电二极管，其特征在于，所述第二感光层材料厚度与所述第一感光层材料厚度的比值小于或等于1:1。10.如权利要求8所述的光电二极管，其特征在于，所述第二感光层材料的厚度在5nm到1μm范围内；所述第一感光层材料的厚度在5nm到1μm范围内。11.一种成像模组，其特征在于，包括：第一光源，用于产生第一探测光；第二光源，用于产生第二探测光，所述第二探测光的波长大于所述第一探测光的波长；感测面，部分所述第一探测光在所述感测面上形成携带有指纹信息的成像光；部分所述第一探测光透射所述感测面，投射至待成像件内，并经待成像件传导形成第一感测光；所述第二探测光投射至待成像件内，并经待成像件传导形成第二感测光；图像传感器，所述图像传感器具有像素阵列，所述像素阵列包括具有多个第一像素单元的第一像素区和具有多个第二像素单元的第二像素区，至少所述第一像素单元包括宽光谱二极管，所述宽光谱二极管如权利要求8至权利要求10任意一项所述。12.如权利要求11所述的成像模组，其特征在于，所述第一光源为可见光光源或者红外光光源；所述第二光源为红外光光源。13.如权利要求11所述的成像模组，其特征在于，所述第一光源和所述图像传感器位于所述感测面的同侧；所述第二光源和所述图像传感器分别位于所述感测面的两侧。14.如权利要求11或13所述的成像模组，其特征在于，所述第一探测光的波长范围在600nm到700nm范围内；所述第二探测光的波长在750nm到1000nm范围内。15.如权利要求11所述的成像模组，其特征在于，所述第一像素区的面积大于0.5mm×0.5mm。16.如权利要求11所述的成像模组，其特征在于，所述第二像素单元包括宽光谱二极管。17.一种身份识别方法，其特征在于，包括：提供成像模组，所述成像模组包括用于产生第一探测光的第一光源和用于产生第二探测光的第二光源，所述第二探测光的波长大于所述第一探测光的波长；开启所述第一光源，以提供第一探测光；部分所述第一探测光在感测面上形成携带有指纹信息的成像光；部分所述第一探测光透射感测面，投射至待成像件内，并经待成像件传导形成第一感测光；采集所述成像光，以产生第一成像信号；采集所述第一感测光，以产生第一血液信号；开启第二光源，以提供第二探测光；所述第二探测光经待成像件传导形成第二感测光；采集至少部分所述第二感测光，以产生第二血液信号；根据所述第一成像信号获得第一指纹图像；根据所述第一血液信号和第二血液信号，获得血液生理特征；根据所述第一指纹图像，并结合所述血液生理特征进行身份识别。18.如权利要求17所述的身份识别方法，其特征在于，进行所述身份识别的过程包括：根据所述血液生理特征进行活体检测；在所述活体检测通过时，根据所述第一指纹图像进行身份识别。19.如权利要求17所述的身份识别方法，其特征在于，根据所述第一血液信号和第二血液信号，采用定标的方式获得血液生理特征。20.如权利要求17所述的身份识别方法，其特征在于，进行身份识别的过程还包括：根据所述第一成像信号、所述第一血液信号和所述第二血液信号中至少一个信号进行假指纹判断；在待成像件为假指纹时，判断身份识...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲志刚，朱虹，
申请(专利权)人：上海箩箕技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31