【技术实现步骤摘要】
一种COS生产尾气处理系统
本技术涉及化工设计领域，特别是一种COS生产尾气处理系统。
技术介绍
氧硫化碳（COS）又名羰基硫或羰酰硫，它是合成硫代氨基甲酸酯类农药和杀虫剂的重要原料，是一种重要的医药中间体和粮食熏蒸剂。近年来，高纯氧硫化碳被发现在集成电路刻蚀工艺中有特殊的功效，世界上最领先的集成电路制造商已建立了以氧硫化碳为原料的芯片刻蚀生产线，并且该工艺有向所有集成电路制造商扩散的趋势。目前，国内对羰基硫需求较小，而羰基硫在制造过程中，排出的尾气只含有少量硫化物，直接排放到空气中，既不会对环境造成太大影响，也不需要在尾气处理方面投入资金，节省成本。但是，跟随社会发展脚步，对企业的要求，不再是安全稳定制造出产品，还提出了更多的要求，其中减小对环境的危害就是其中着重强调的一点。羰基硫生产制造尾气中含有少量硫化氢、二硫化碳，甚至是羰基硫也少量存在，对尾气中硫化物进行处理，消除制造过程尾气中的硫化物，保护环境。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种COS生产尾气处理系统，通过多阶反应洗手，将硫化物留在处理系统中，消除尾气中的硫化物，达到零排放和保护环境的效果。为实现上述...
【技术保护点】
1.一种COS生产尾气处理系统，所述的尾气处理系统与COS尾气管路相连，其特征在于，包括了前置尾气处理桶、连接管路、后置尾气处理塔，所述的COS尾气管路与前置尾气处理桶的上端部相接，COS尾气管路延伸至前置尾气处理桶底部，所述的连接管路一端与前置尾气处理桶的上端部相接，连接管路的另一端延伸至后置尾气处理塔的底部，所述的后置尾气处理塔为多层过滤结构，后置尾气处理塔的塔罩顶部安装有排气风扇。
【技术特征摘要】
1.一种COS生产尾气处理系统，所述的尾气处理系统与COS尾气管路相连，其特征在于，包括了前置尾气处理桶、连接管路、后置尾气处理塔，所述的COS尾气管路与前置尾气处理桶的上端部相接，COS尾气管路延伸至前置尾气处理桶底部，所述的连接管路一端与前置尾气处理桶的上端部相接，连接管路的另一端延伸至后置尾气处理塔的底部，所述的后置尾气处理塔为多层过滤结构，后置尾气处理塔的塔罩顶部安装有排气风扇。2.如权利要求1所述的一种COS生产尾气处理系统，其特征在于：所述的后置尾气处理塔为三层过滤结构，底层为处理液层，中层和上层为物理吸附层，所述的三层过滤结构采用带孔隔板进行分隔。3.如权利要求2所述的一种COS生产尾气处理系统，其特征在于：所述的物理吸附层内填充有若干的带孔小球，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈国富，龚施健，彭王生，
申请(专利权)人：博纯材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35
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