一种电子气体混配装置制造方法及图纸

本技术涉及气体混配技术领域，具体为一种电子气体混配装置，包括柜体，所述柜体后侧固定连接有储气箱，所述柜体后侧安装有真空泵，所述真空泵的抽气口与柜体连通，所述真空泵的排气口与储气箱连通，所述柜体内腔安装有配气仓，所述配气仓底部固定连通有若干组进气管，所述配气仓侧壁固定连通有出气管，所述柜体内腔固定安装有气体检测仪，所述进气管底部固定连通有防爆软管，所述防爆软管的另一端固定连通有气瓶，所述柜体上安装有用于放置气瓶的放置组件，所述柜体上安装有带动放置组件前后移动的驱动组件，若气体泄漏，气体检测仪发出信号，真空泵将柜体中的气体抽到储气箱中，同时报警灯进行声光报警，可有效降低气体泄漏的危害。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体混配，具体为一种电子气体混配装置。

技术介绍

1、电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，被称为电子工业的“血液”和“粮食”。电子气体混配是指将不同种类的电子气体按照特定比例混合在一起的过程，以满足半导体制造过程中对气体成分和纯度的严格要求。这个过程需要高度的精确性和控制，以确保混合气体的质量能够满足半导体制造的高标准。

2、由于半导体工业经常使用的气体大部分都是易燃易爆，腐蚀性强气体，且对人体血液，神经，内脏都有中毒作用，这就给电子气体混配造成了极大的困难。现有电子混合气体的配制大多使用传统普通标准气体配制装置进行配制，对于气体泄漏问题缺少完善的防护措施，而电子气体的泄漏可能会危害操作人员的身体健康，为了能及时发现电子气体泄漏问题并降低电子气体泄漏的危害，我们提出一种电子气体混配装置。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种电子气体混配装置，可及时发现电子气体泄漏问本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子气体混配装置，包括柜体（1），其特征在于：所述柜体（1）后侧固定连接有储气箱（8），所述柜体（1）后侧固定安装有真空泵（12），所述真空泵（12）的抽气口与柜体（1）固定连通，所述真空泵（12）的排气口与储气箱（8）固定连通，所述柜体（1）前侧设置有上柜门（3）与下柜门（4），所述柜体（1）内腔固定安装有配气仓（14），所述配气仓（14）底部固定连通有若干组进气管（15），所述配气仓（14）侧壁固定连通有出气管（6），所述出气管（6）穿设出柜体（1），所述出气管（6）上设置有阀门（7），所述柜体（1）内腔固定安装有气体检测仪（17），所述进气管（15）底部固定连通有防爆软管（...

【技术特征摘要】

1.一种电子气体混配装置，包括柜体（1），其特征在于：所述柜体（1）后侧固定连接有储气箱（8），所述柜体（1）后侧固定安装有真空泵（12），所述真空泵（12）的抽气口与柜体（1）固定连通，所述真空泵（12）的排气口与储气箱（8）固定连通，所述柜体（1）前侧设置有上柜门（3）与下柜门（4），所述柜体（1）内腔固定安装有配气仓（14），所述配气仓（14）底部固定连通有若干组进气管（15），所述配气仓（14）侧壁固定连通有出气管（6），所述出气管（6）穿设出柜体（1），所述出气管（6）上设置有阀门（7），所述柜体（1）内腔固定安装有气体检测仪（17），所述进气管（15）底部固定连通有防爆软管（18），所述防爆软管（18）的另一端固定连通有气瓶（19），所述柜体（1）上安装有用于放置气瓶（19）的放置组件，所述柜体（1）上安装有带动放置组件前后移动的驱动组件。

2.根据权利要求1所述的一种电子气体混配装置，其特征在于：所述放置组件包括底板（21），所述底板（21）与柜体（1）内腔底部滑动连接，所述底板（21）顶部固定连接有竖板（20），所述竖板（20）左右两侧固定连接有若干组定位圈（23），所述竖板（20）顶部固定连接有第一限位板（22）。

3.根据权利要求2所述的一种电子气体混配装置，其特征在于：所述驱动组件包括气缸（13），所述气缸（13）固定安装在柜体（1）后侧，所述气缸（13）的输出端固定连接有驱动杆（24），所述驱动杆（24）滑动穿设进柜体（1），所述驱动杆（24）的另一端与...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国富，陈学胜，郑经纬，吴超农，缪振华，林贵函，刘诗艺，苏少剑，
申请(专利权)人：博纯材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：