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一种电子气体混配装置制造方法及图纸
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下载一种电子气体混配装置的技术资料
文档序号:46549672
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本技术涉及气体混配技术领域,具体为一种电子气体混配装置,包括柜体,所述柜体后侧固定连接有储气箱,所述柜体后侧安装有真空泵,所述真空泵的抽气口与柜体连通,所述真空泵的排气口与储气箱连通,所述柜体内腔安装有配气仓,所述配气仓底部固定连通有若干组...
该专利属于博纯材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过博纯材料股份有限公司授权不得商用。
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