【技术实现步骤摘要】
一种增压雾化喷淋装置、抛光装置及抛光方法
本专利技术涉及精密加工装置的
，更具体地，涉及一种增压雾化喷淋装置、抛光装置及抛光方法。
技术介绍
透镜、反射镜等光学元件作为光学器件的核心元件之一，要达到良好的光学性能，其表面精度需要达到超光滑程度(粗糙度Ra达到1nm以下)，面形精度也有较高的要求(形状精度达到0.5微米以下)。在LED领域，单晶硅(Si)、单晶锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、单晶碳化硅(SiC)和单晶蓝宝石(Al2O3)等作为半导体衬底材料，同样要求具有超平坦和超光滑的表面(粗糙度Ra达到0.3nm以下)才能满足外延膜生长的要求，并且要求无缺陷、无损伤。在加工过程中抛光浆液的添加方法是影响工件表面粗糙度、表面质量的重要因素之一。目前，抛光浆液添加方式是将经前期搅拌、振动处理的抛光浆液滴加在抛光盘上，然后使抛光浆液与工件之间相互接触，通过机床转动使抛光浆液与工件之间产生相对运动，利用抛光浆液中磨料与工件之间产生的相对摩擦力，实现工件表面的微切削去除加工。由于抛光浆液中磨料与基载液的密度差较大，磨料容易沉淀、分散性较差，而且抛光浆液是直接滴加在抛光...
【技术保护点】
1.一种增压雾化喷淋装置，其特征在于，包括用于供应有压气体和浆液的气液供应组件(1)、用于实现浆液增压和浆液雾化的浆液雾化组件(2)以及喷洒角度可调的浆液喷洒组件(3)，所述气液供应组件(1)连通于所述浆液雾化组件(2)的一端，所述浆液喷洒组件(3)设置于浆液雾化组件(2)的另一端。
【技术特征摘要】
1.一种增压雾化喷淋装置，其特征在于，包括用于供应有压气体和浆液的气液供应组件(1)、用于实现浆液增压和浆液雾化的浆液雾化组件(2)以及喷洒角度可调的浆液喷洒组件(3)，所述气液供应组件(1)连通于所述浆液雾化组件(2)的一端，所述浆液喷洒组件(3)设置于浆液雾化组件(2)的另一端。2.根据权利要求1所述的增压雾化喷淋装置，其特征在于，所述气液供应组件(1)包括伸入浆液缸中的浆液管(11)以及连接于气源的气管(12)，所述浆液管(11)安装于蠕动泵中且所述浆液管(11)的一端安装于雾化组件的上端，所述气管(12)通过气管支架(13)安装于雾化组件的上端。3.根据权利要求2所述的增压雾化喷淋装置，其特征在于，所述浆液雾化组件(2)包括壳体(21)、设于壳体(21)上端的浆液管件(22)以及设于壳体(21)内部的雾化器件(23)，所述雾化器件(23)设有通过空气流道(24)与气管(12)连通且通过浆液流道(25)与浆液管(11)连通的雾化腔(26)，所述雾化腔(26)的下端连通设有雾化流道(27)。4.根据权利要求3所述的增压雾化喷淋装置，其特征在于，所述浆液流道(25)包括流通设置的第一浆液流道(251)、第二浆液流道(252)以及第三浆液流道(253)，所述第一浆液流道(251)设于浆液管件(22)内，所述第二浆液流道(252)为形成于雾化器件(23)与壳体(21)之间的螺旋通道，所述第三浆液流道(253)设于雾化器件(23)下部。5.根据权利要求4所述的增压雾化喷淋装置，其特征在于，所述第一浆液流道(251)为多组，多组第一浆液流道(251)与第二浆液流道(252)之间连通设有环形流道(254)；所述第二浆液流道(252)与第三浆液流道(253)之间连通有浆液腔(255)，所述浆液腔(255)形成于壳体与雾化器件(23)之间。6.根据权利要求4所述的增压雾化喷淋装置，其特征在于，所述第三浆液流道(253)为多组，环绕于雾化器件(23)设置且贯穿于浆液腔(255)与雾化腔(26)之间；多组第三浆液流道(253)环绕分布于若干平面。7.根据权利要求1至6任一项所述的增压...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘继生，邓家云，罗斌，阎秋生，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东,44
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