探针制造技术

探针(1)具备柱塞(10)、螺旋弹簧(20)及连接构件(30)。连接构件(30)具有面向柱塞(10)的第三端部(12)的第一端面(32)和面向螺旋弹簧(20)的第四端部(21)的第二端面(33)。第一端面(32)与第三端部(12)点接触。第三端部(12)及第一端面(32)中的至少一个在第三端部(12)与第一端面(32)之间的第一接触部包括第一球面的一部分。第二端面(33)构成为不扩展第四端部(21)处的螺旋弹簧(20)的内径及外径。因此，探针(1)具有较长的寿命。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】探针
本专利技术涉及探针。
技术介绍
日本特开2009-115659号公报(专利文献1)及日本特开2002-202323号公报(专利文献2)公开了一种探针，其具备筒体、构成为能够一边相对于筒体旋转一边在筒体的长度方向上移动的柱塞及对柱塞施力的螺旋弹簧。日本实开昭61-99060号公报(专利文献3)公开了一种探针，其具备筒体、构成为能够一边相对于筒体旋转一边在筒体的长度方向上移动的柱塞、对柱塞施力的螺旋弹簧及配置于柱塞与螺旋弹簧之间的球。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-115659号公报专利文献2：日本特开2002-202323号公报专利文献3：日本实开昭61-99060号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在专利文献1及专利文献2公开的探针中，螺旋弹簧与柱塞面接触。在螺旋弹簧伸缩而柱塞在筒体的长度方向上移动时，每当柱塞相对于筒体旋转时，柱塞对螺旋弹簧施加扭转力。反复作用于螺旋弹簧的该扭转力会使螺旋弹簧断裂。因此，专利文献1及专利文献2公开的探针具有较短的寿命。另外，在专利文献3公开的探针中，在向被检查体的检查端子推压柱塞时，球的一部分进入螺旋弹簧的内侧，球使螺旋弹簧在螺旋弹簧的径向上膨胀。膨胀的螺旋弹簧与筒体的内壁磨擦而导致螺旋弹簧受损或断裂。因此，专利文献3公开的探针也具有较短的寿命。本专利技术鉴于上述课题而作出，其目的在于提供一种具有较长的寿命的探针。用于解决课题的方案本专利技术的探针具备筒体、柱塞、螺旋弹簧及连接构件。筒体具有第一端部和与第一端部相反的一侧的第二端部，所述第一端部具有开口。柱塞具有接触端子部和与接触端子部相反的一侧的第三端部。第三端部收容于筒体，且接触端子部从第一端部露出。柱塞构成为能够一边相对于筒体旋转一边在筒体的长度方向上移动。螺旋弹簧朝向第一端部对柱塞施力。螺旋弹簧配置于第二端部与第三端部之间。螺旋弹簧具有第三端部侧的第四端部。连接构件将第三端部与第四端部连接。连接构件具有面向第三端部的第一端面和面向第四端部的第二端面。第一端面与第三端部点接触。第三端部及第一端面中的至少一个在第三端部与第一端面之间的第一接触部包括第一球面的一部分。第二端面构成为不扩展第四端部处的螺旋弹簧的内径及外径。专利技术的效果在本专利技术的探针中，连接构件的第一端面与柱塞的第三端部点接触，并且第三端部及第一端面中的至少一个在第三端部与第一端面之间的第一接触部包括第一球面的一部分。因此，能够大幅减小连接构件与柱塞之间的第一接触部的面积。能够大幅减小每当柱塞相对于筒体旋转时柱塞经由连接构件施加于螺旋弹簧的扭转力。而且，第二端面构成为不扩展第四端部处的螺旋弹簧的内径及外径。因此，防止在向被检查体的检查端子推压柱塞时连接构件进入螺旋弹簧的内侧。防止螺旋弹簧与筒体的内壁磨擦而导致螺旋弹簧受损或断裂。这样，本专利技术的探针具有较长的寿命。附图说明图1是本专利技术的实施方式1的探针的概略图。图2是本专利技术的实施方式1的探针的、图1所示的区域II中的概略局部放大剖视图。图3是本专利技术的实施方式1的探针包括的柱塞的概略放大立体图。图4是本专利技术的实施方式1的探针的、图3所示的剖面线IV-IV处的概略剖视图。图5是示出本专利技术的实施方式1的探针的制造方法中的将螺旋弹簧与连接构件接合的工序的概略局部放大剖视图。图6是示出本专利技术的实施方式1的探针的制造方法中的将螺旋弹簧与连接构件接合的工序的概略局部放大剖视图。图7是本专利技术的实施方式1的第一变形例的探针的概略图。图8是本专利技术的实施方式1的第二变形例的探针的概略图。图9是本专利技术的实施方式2的探针的概略图。图10是本专利技术的实施方式2的探针的、图9所示的区域X中的概略局部放大剖视图。图11是本专利技术的实施方式3的探针的概略图。图12是本专利技术的实施方式3的探针的、图11所示的区域XII中的概略局部放大剖视图。图13是本专利技术的实施方式3的变形例的探针的概略局部放大剖视图。图14是本专利技术的实施方式4的探针的概略图。图15是本专利技术的实施方式4的探针的、图14所示的区域XV中的概略局部放大剖视图。图16是本专利技术的实施方式4的变形例的探针的概略图。图17是本专利技术的实施方式4的变形例的探针的、图16所示的区域XVII中的概略局部放大剖视图。图18是示出本专利技术的实施方式4的探针的制造方法的一个工序的概略局部放大剖视图。图19是示出本专利技术的实施方式4的探针的制造方法中的图18所示的工序的下一工序的概略局部放大剖视图。图20是本专利技术的实施方式5的探针的概略图。图21是本专利技术的实施方式5的探针的、图20所示的区域XXI中的概略局部放大剖视图。图22是本专利技术的实施方式6的探针的概略图。图23是本专利技术的实施方式6的探针的、图22所示的区域XXIII中的概略局部放大剖视图。图24是本专利技术的实施方式7的探针的概略图。图25是本专利技术的实施方式7的探针的、图24所示的区域XXV中的概略局部放大剖视图。具体实施方式以下，说明本专利技术的实施方式。此外，对相同的结构标注相同的附图标记，且不重复其说明。实施方式1.参照图1至图4，说明实施方式1的探针1。本实施方式的探针1具备筒体3、柱塞10、螺旋弹簧20及连接构件30。筒体3具有第一端部5和与第一端部5相反的一侧的第二端部6，所述第一端部5具有第一开口4。第二端部6可以具有如下第二开口，该第二开口具有比螺旋弹簧20的第一外径r3小的直径。筒体3沿着筒体3的长度方向延伸。筒体3的长度方向是将第一端部5与第二端部6连结的方向。筒体3具有第一内径r1。如图1及图3所示，柱塞10具有接触端子部11和与接触端子部11相反的一侧的第三端部12。第三端部12收容于筒体3。接触端子部11从筒体3的第一端部5露出。接触端子部11可以是柱塞10的尖细的前端。柱塞10具有比筒体3的第一内径r1小的外径。柱塞10的外径可以与连接构件30或第一子连接构件31的第二外径r4相等，也可以不同。柱塞10构成为能够一边相对于筒体3旋转一边在筒体3的长度方向上移动。在向被检查体的检查端子(未图示)推压柱塞10时，柱塞10相对于筒体3及被检查体的检查端子旋转。因此，柱塞10的接触端子部11能够刺破覆盖检查端子的表面的薄层(例如污染物或氧化膜)并与检查端子直接接触。由于柱塞10构成为能够一边相对于筒体3旋转一边在筒体3的长度方向上移动，所以能够降低被检查体的检查端子与柱塞10之间的接触电阻，能够使用探针1正确地检查被检查体。在柱塞10从被检查体的检查端子离开时，柱塞10也相对于筒体3及被检查体的检查端子旋转。如图1、图3及图4所示，在本实施方式的第一例中，筒体3可以包括第一凸部7和第二凸部8，且柱塞10可以具有与第一凸部7卡合的第一螺旋槽16和与第二凸部8卡合的第二螺旋槽17。第一凸部7及第二凸部8从筒体3的内壁9突出。第二凸部8可以配置成在第一凸部7与第二凸部8之间夹着柱塞10并与第一凸部7相向。因此，柱塞10在筒体3的长度方向上移动时，柱塞10相对于筒体3旋转。第一凸部7在筒体3的长度方向上可以配置在与第二凸部8相同的位置，也可以配置在与第二凸部8不同的位置。在本实施方式的第二例中，柱塞10可以包括第一凸部7和第二凸部8，且筒体3可以具有与第一凸部7卡合的第一螺旋槽16和与第二凸部8卡合的第二螺旋槽17。在本实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针，其中，所述探针具备：筒体，所述筒体具有第一端部和与所述第一端部相反的一侧的第二端部，所述第一端部具有开口；以及柱塞，所述柱塞具有接触端子部和与所述接触端子部相反的一侧的第三端部，所述第三端部收容于所述筒体，且所述接触端子部从所述第一端部露出，所述柱塞构成为能够一边相对于所述筒体旋转一边在所述筒体的长度方向上移动，所述探针还具备朝向所述第一端部对所述柱塞施力的螺旋弹簧，所述螺旋弹簧配置于所述第二端部与所述第三端部之间，所述螺旋弹簧具有所述第三端部侧的第四端部，所述探针还具备将所述第三端部与所述第四端部连接的连接构件，所述连接构件具有面向所述第三端部的第一端面和面向所述第四端部的第二端面，所述第一端面与所述第三端部点接触，所述第三端部及所述第一端面中的至少一个在所述第三端部与所述第一端面之间的第一接触部包括第一球面的一部分，所述第二端面构成为不扩展所述第四端部处的所述螺旋弹簧的内径及外径。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.12.08 JP 2016-2382021.一种探针，其中，所述探针具备：筒体，所述筒体具有第一端部和与所述第一端部相反的一侧的第二端部，所述第一端部具有开口；以及柱塞，所述柱塞具有接触端子部和与所述接触端子部相反的一侧的第三端部，所述第三端部收容于所述筒体，且所述接触端子部从所述第一端部露出，所述柱塞构成为能够一边相对于所述筒体旋转一边在所述筒体的长度方向上移动，所述探针还具备朝向所述第一端部对所述柱塞施力的螺旋弹簧，所述螺旋弹簧配置于所述第二端部与所述第三端部之间，所述螺旋弹簧具有所述第三端部侧的第四端部，所述探针还具备将所述第三端部与所述第四端部连接的连接构件，所述连接构件具有面向所述第三端部的第一端面和面向所述第四端部的第二端面，所述第一端面与所述第三端部点接触，所述第三端部及所述第一端面中的至少一个在所述第三端部与所述第一端面之间的第一接触部包括第一球面的一部分，所述第二端面构成为不扩展所述第四端部处的所述螺旋弹簧的内径及外径。2.根据权利要求1所述的探针，其中，所述第一端面在所述第一接触部包括所述第一球面的所述一部分，所述第三端部在所述第一接触部包括第一平面。3.根据权利要求1所述的探针，其中，所述第一端面在所述第一接触部包括第一平面，所述第三端部在所述第一接触部包括所述第一球面的所述一部分。4.根据权利要求1所述的探针，其中，所述第一端面及所述第三端部在...

【专利技术属性】
技术研发人员：浅野佳江，滨口恒夫，石田清，中川正贡，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP