一种干燥炉加热模组制造技术

技术编号:21662800 阅读:22 留言:0更新日期:2019-07-20 06:42
本实用新型专利技术公开了一种干燥炉加热模组,包括上加热模组和下加热模组,上加热模组和下加热模组相扣合,在上加热模组和下加热模组之间形成一加热腔室,加热模组还包括设置在加热腔室内相对两侧的加热单元,加热模组还包括固定设置在传输硅片的链条下方的挡板组件,挡板组件包括挡板,加热模组还包括固定设置在挡板组件的相对两侧的第一网孔板,两侧的第一网孔板分别设置在对应一侧的加热单元的内侧,且与加热单元之间均具有一通道。该干燥炉加热模组结构简单,在对硅片进行加热烘干时,热风从挡板下方经两侧的第一网孔板之后再作用于硅片,这样可避免热风直接作用于硅片,而且使得硅片受热均匀,从而可保证硅片的加热烘干效果。

A Heating Module for Drying Furnace

【技术实现步骤摘要】
一种干燥炉加热模组
本技术涉及太阳能电池生产
,具体涉及一种干燥炉加热模组。
技术介绍
HIT及HJT结构的太阳能电池就是晶体硅片上沉积一层非掺杂氢化非晶硅薄膜和一层与晶体硅掺杂种类相反的掺杂氢化非晶硅薄膜,改善了P-N节性能,具有更高的转换效率和更低的光致衰减。在现有的太阳能电池制备工艺中,通过加热灯管发出的热量直接加热烘干硅片,这种加热烘干方式,热风直接作用于硅片,而且硅片受热不均匀,从而会对硅片的性能造成一定的影响。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术中的问题提供一种改进的干燥炉加热模组。为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:一种干燥炉加热模组,包括上加热模组和下加热模组,所述上加热模组和所述下加热模组相扣合,在所述上加热模组和所述下加热模组之间形成一加热腔室,所述加热模组还包括设置在所述加热腔室内相对两侧的加热单元,所述加热模组还包括固定设置在传输硅片的链条下方的挡板组件,所述挡板组件包括挡板,所述加热模组还包括固定设置在所述挡板组件的相对两侧的第一网孔板,两侧的所述第一网孔板分别设置在对应一侧的所述加热单元的内侧,且与所述加热单元之间均具有一通道。优选地,所述挡板所在平面平行于所述下加热模组的底面,所述挡板的下端面与所述下加热模组的底面之间具有间距,所述加热模组还包括风轮,所述风轮能够转动地设置在所述挡板的下端面与所述下加热模组的底面之间的空间中。进一步地,所述加热模组还包括用于驱动所述风轮转动的电机,所述电机设置在所述加热腔室的外部,且所述电机的电机轴穿过所述下加热模组的底部与所述风轮连接。优选地,两侧的所述第一网孔板所在平面均垂直于所述挡板所在平面。优选地,所述挡板组件还包括支撑在所述挡板和所述下加热模组之间的多根支撑杆,每根所述支撑杆的上端部与所述挡板固定连接,每根所述支撑杆的下端部与所述下加热模组的底面相固定连接。优选地,所述第一网孔板上设置有多个第一网孔,多个所述第一网孔在所述第一网孔板上均匀分布。优选地,所述加热模组还包括固定设置在所述加热腔室的上部的第二网孔板,所述第二网孔板位于硅片的上方,所述第二网孔板上设置有多个第二网孔,所述第二网孔板具有正下方设置有硅片的第一区域和正下方未放置硅片的第二区域,多个所述第二网孔均布分布在所述第二网孔板的所述第二区域处。优选地,所述上加热模组的内腔呈下大上小的锥形结构。优选地,所述加热模组还包括用于支撑所述链条的托架,所述托架固定设置在所述挡板上。优选地,所述加热模组还包括包覆在所述加热腔室的外部的保温装置。由于上述技术方案的运用,本技术与现有技术相比具有下列优点:本技术的干燥炉加热模组结构简单,在对硅片进行加热烘干时,热风从挡板下方经两侧的第一网孔板之后再作用于硅片,这样可避免热风直接作用于硅片,而且使得硅片受热均匀,从而可保证硅片的加热烘干效果。附图说明图1为本技术的干燥炉加热模组的内部结构示意图;图2为本技术的干燥炉加热模组的外形图。具体实施方式下面结合附图来对本技术的技术方案作进一步的阐述。如图1和图2所示,本技术的干燥炉加热模组包括下加热模组1和上加热模组2。上加热模组2和下加热模组1相扣合,在上加热模组2和下加热模组1之间形成一加热腔室,该加热模组还包括设置在加热腔室中的加热单元3。本实施例中,加热单元3采用加热管,加热管分别设置在加热腔室的相对两侧。加热模组还包括挡板组件,挡板组件包括挡板401和支撑杆402。挡板401平行设置在下加热模组1的底面的上方,且与下加热模组1的底面之间具有一间距,当链条11带动硅片100进入到加热腔室中时,挡板401位于硅片100的下方。支撑杆402支撑在挡板401和下加热模组1的底面之间,支撑杆402的上端部固定设置挡板401上,支撑杆402的下端部固定设置在下加热模组1的底面上。加热模组还包括第一网孔板5,第一网孔板5分别固定设置在挡板401的相对两侧,且两侧的第一网孔板5分别位于对应一侧的加热单元3的内侧,并与对应的加热单元3之间具有一距离,第一网孔板5所在平面垂直于挡板401所在平面。第一网孔板5上设置有多个第一网孔,多个第一网孔在第一网孔板5上间隔均布分布。加热模组还包括第二网孔板6,第二网孔板6位于加热腔室的上部,当链条11带动硅片100进入到加热腔室中时,第二网孔板6位于硅片100的上方,且与硅片100之间间隔一定距离。第二网孔板6上设置有多个第二网孔,第二网孔板6具有正下方设置有硅片100的第一区域和正下方未放置硅片100的第二区域,多个第二网孔均布分布在第二网孔板6上的第二区域处。加热模组还包括风轮7,风轮7能够转动地设置在挡板401和下加热模组1的底面之间所形成的空间内,风轮7能够转动地设置,从而使得加热单元3所产生热量能够经风轮7转动形成热风在加热腔室中流动以对硅片100进行加热。加热模组还包括用于驱动风轮7转动的电机8,电机8设置在加热腔室的外部,电机8的电机轴穿过下加热模组1的底部与风轮7连接,从而驱动风轮7转动。上加热模组2的内腔呈下大上小的锥形结构,在上加热模组2的顶部开设排风口201,排风口201与上加热模组2的内腔相连通,排风口201处外接排风装置。加热模组还包括包覆在加热腔室的外部的保温装置9,本实施例中,保温装置9采用隔热棉。加热模组还包括用于支撑链条11的托架10,托架10固定设置在挡板401上,这样,可通过挡板401来支撑硅片传输装置。通过上述结构的设置,通过加热单元3对硅片100进行加热时热风在加热腔室中流动的路径为:首先加热单元3所产生的热量辐射到挡板401和下加热模组1的底面之间所形成的空间内;风轮7转动时,形成热风,由于挡板401的阻挡,可避免热风直接作用于硅片100从而影响硅片100的性能,被阻挡的热风向加热腔室的两侧流动,并沿每侧的第一网孔板5和加热单元3之间的通道向上流动;然后经第一网孔板5上的第一网孔流出到放置硅片100的空间中,从而作用于硅片100,热风采用透过第一网孔板5上的第一网孔再作用于硅片100表面,而不是直接作用在硅片100表面,这样使得硅片100的受热更加均匀;然后热风继续向上流动,透过第二网孔板6上的第二网孔进入到上加热模组2和第二网孔板6之间所形成的空间内,由于第二网孔板6上的第二网孔的设置位置错开了硅片100,这样,可防止热量流失使得硅片100不能被充分加热;最后,热风从设置在上加热模组2的顶部的出风口201排出到加热腔室的外部。具体详见附图1中的箭头所示。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并加以实施,并不能以此限制本技术的保护范围,凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干燥炉加热模组,包括上加热模组和下加热模组,所述上加热模组和所述下加热模组相扣合,在所述上加热模组和所述下加热模组之间形成一加热腔室,所述加热模组还包括设置在所述加热腔室内相对两侧的加热单元,其特征在于:所述加热模组还包括固定设置在传输硅片的链条下方的挡板组件,所述挡板组件包括挡板,所述加热模组还包括固定设置在所述挡板组件的相对两侧的第一网孔板,两侧的所述第一网孔板分别设置在对应一侧的所述加热单元的内侧,且与所述加热单元之间均具有一通道。

【技术特征摘要】
1.一种干燥炉加热模组,包括上加热模组和下加热模组,所述上加热模组和所述下加热模组相扣合,在所述上加热模组和所述下加热模组之间形成一加热腔室,所述加热模组还包括设置在所述加热腔室内相对两侧的加热单元,其特征在于:所述加热模组还包括固定设置在传输硅片的链条下方的挡板组件,所述挡板组件包括挡板,所述加热模组还包括固定设置在所述挡板组件的相对两侧的第一网孔板,两侧的所述第一网孔板分别设置在对应一侧的所述加热单元的内侧,且与所述加热单元之间均具有一通道。2.根据权利要求1所述的干燥炉加热模组,其特征在于:所述挡板所在平面平行于所述下加热模组的底面,所述挡板的下端面与所述下加热模组的底面之间具有间距,所述加热模组还包括风轮,所述风轮能够转动地设置在所述挡板的下端面与所述下加热模组的底面之间的空间中。3.根据权利要求2所述的干燥炉加热模组,其特征在于:所述加热模组还包括用于驱动所述风轮转动的电机,所述电机设置在所述加热腔室的外部,且所述电机的电机轴穿过所述下加热模组的底部与所述风轮连接。4.根据权利要求1所述的干燥炉加热模组,其特征在于:两侧的所述第一网孔板所在平面均垂直于所述挡板所在...

【专利技术属性】
技术研发人员:王会刘品德朱速锋戴向荣
申请(专利权)人:苏州南北深科智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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