一种UV炉制造技术

本技术涉及一种UV炉，包括其包括炉体以及炉体内形成的空腔,空腔设有，传输组件，其设置在炉体上，传输组件包括耐高温材质的辊轴，辊轴用于输送硅片；预热组件，预热组件包括上预热模组和下预热模组，其分别扣合在传输组件的上下两侧；UV光源组件，UV光源组件包括光模组和加热模组，其分别扣合在传输组件的上下两侧，预热组件和UV光源组件相邻设置，且沿辊轴的分布方向延伸；通过传输组件传输硅片，提高了工作效率，预热组件从上下两侧对硅片进行递进式、充分预热，UV光源对硅片进行光照，有效降低硅片的衰减率，有效提高了硅片光电转化效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片制备，尤其是指一种uv炉。

技术介绍

1、在太阳能硅片制备领域中，为了研发新一代硅片产品，提高硅片产品光电转换效率，常常在实验室中对硅片进行工序改进，并收集实验结果，论证改进的可行性。

2、uv炉，又称uv固化炉，uv，即紫外线的英文缩写，固化是指物质从低分子转变为高分子的过程，uv固化一般是指需要用uv照射固化的涂料(油漆)、胶粘剂(胶水)或其它灌封密封剂的固化条件或要求，uv炉可提高硅片的光电转化效率，但现今对硅片进行工序改进的实验设备相对较少，且设备结构较为单一，无法满足实验需求，因此提供一种对硅片进行cvd烘干(uv照射)工序(cvd,气相化学沉积)的实验设备。

技术实现思路

1、为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中uv固化炉结构单一，无法满足实验需求的问题，进而提供一种uv炉，解决了uv固化结构单一的问题，有效提高了硅片光电转化效率，提高了工作效率。

2、为解决上述技术问题，本技术提供了一种uv炉，其包括炉体以及炉体内形成的空腔，所述空腔设有。

3、传输组件，其设置在所述炉体上，传输组件包括耐高温材质的辊轴，所述辊轴用于输送硅片。

4、预热组件，所述预热组件包括上预热模组和下预热模组，其分别扣合在所述传输组件的上下两侧。

5、uv光源组件，所述uv光源组件包括光模组和加热模组，其分别扣合在所述传输组件的上下两侧，所述预热组件和所述uv光源组件相邻设置，且沿所述辊轴的分布方向延伸。

6、在本技术的一个实施例中，还包括排废组件，其包括多个废气罩，所述废气罩设有排废口，所述多个废气罩分别套在所述上预热模组、所述下预热模组、所述光模组以及所述加热模组外。

7、在本技术的一个实施例中，所述排废组件还包括排废风机和排废软管，所述排废软管一端连通所述排废口，所述排废软管另一端连通所述排废风机。

8、在本技术的一个实施例中，还包括设置在所述传输组件上方的冷却组件，且所述冷却组件与所述uv光源组件相邻，所述冷却组件包括多个吹风机。

9、在本技术的一个实施例中，所述排废软管还连通所述冷却组件。

10、在本技术的一个实施例中，所述炉体还滑动设有升降台，所述升降台设置在所述传输组件上方，所述上预热模组、所述光模组以及所述冷却组件均设置在所述升降台上。

11、在本技术的一个实施例中，还包括抬升组件，所述抬升组件包括提升电机，所述提升电机驱动所述升降台靠近或远离所述传输组件。

12、在本技术的一个实施例中，还包括保险组件，所述保险组件包括挂座和挂钩，所述挂座设置在所述炉体上，所述挂钩设置在所述升降台上。

13、在本技术的一个实施例中，所述炉体设有沿所述升降台升降方向延伸的导杆，所述升降台设有通孔，所述导杆穿过所述通孔。

14、在本技术的一个实施例中，所述上预热模组、所述下预热模组以及所述加热模组均设有加热棒，所述加热棒连接外部电源，所述光模组设有uv光源和电源，所述电源为所述uv光源提供电能。

15、在本技术的一个实施例中，所述排废软管包括主软管和多个支软管，所述主软管通过集气管连接所述多个支软管，所述主软管的自由端连通所述排废风机。

16、本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

17、本技术所述的实验用uv炉，传输组件用于自动传输硅片，硅片经过预热组件时，预热组件递进式升温对硅片进行均匀预热，预热后的硅片进入uv光源组件后被uv光源光照，可有效降低n型硅片的衰减率，提高n型硅片的可靠性和稳定性，加热模组使得硅片的温度保持在预定温度左右，保证了激发态氢原子的数量，提高了硅片的气相化学沉积效果。

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【技术保护点】

1.一种UV炉，其包括炉体以及炉体内形成的空腔，其特征在于，所述空腔设有，

2.根据权利要求1所述的一种UV炉，其特征在于，还包括排废组件，其包括多个废气罩，所述废气罩设有排废口，所述多个废气罩分别套在所述上预热模组、所述下预热模组、所述光模组以及所述加热模组外。

3.根据权利要求2所述的一种UV炉，其特征在于，所述排废组件还包括排废风机和排废软管，所述排废软管一端连通所述排废口，所述排废软管另一端连通所述排废风机。

4.根据权利要求3所述的一种UV炉，其特征在于，还包括设置在所述传输组件上方的冷却组件，且所述冷却组件与所述UV光源组件相邻，所述冷却组件包括多个吹风机。

5.根据权利要求4所述的一种UV炉，其特征在于，所述排废软管还连通所述冷却组件。

6.根据权利要求4所述的一种UV炉，其特征在于，所述炉体还滑动设有升降台，所述升降台设置在所述传输组件上方，所述上预热模组、所述光模组以及所述冷却组件均设置在所述升降台上。

7.根据权利要求6所述的一种UV炉，其特征在于，还包括抬升组件，所述抬升组件包括提升电机，所述提升电机驱动所述升降台靠近或远离所述传输组件。

8.根据权利要求6所述的一种UV炉，其特征在于，还包括保险组件，所述保险组件包括挂座和挂钩，所述挂座设置在所述炉体上，所述挂钩设置在所述升降台上。

9.根据权利要求6所述的一种UV炉，其特征在于，所述炉体设有沿所述升降台升降方向延伸的导杆，所述升降台设有通孔，所述导杆穿过所述通孔。

10.根据权利要求1所述的一种UV炉，其特征在于，所述上预热模组、所述下预热模组以及所述加热模组均设有加热棒，所述加热棒连接外部电源，所述光模组设有UV光源和电源，所述电源为所述UV光源提供电能。

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【技术特征摘要】

1.一种uv炉，其包括炉体以及炉体内形成的空腔，其特征在于，所述空腔设有，

2.根据权利要求1所述的一种uv炉，其特征在于，还包括排废组件，其包括多个废气罩，所述废气罩设有排废口，所述多个废气罩分别套在所述上预热模组、所述下预热模组、所述光模组以及所述加热模组外。

3.根据权利要求2所述的一种uv炉，其特征在于，所述排废组件还包括排废风机和排废软管，所述排废软管一端连通所述排废口，所述排废软管另一端连通所述排废风机。

4.根据权利要求3所述的一种uv炉，其特征在于，还包括设置在所述传输组件上方的冷却组件，且所述冷却组件与所述uv光源组件相邻，所述冷却组件包括多个吹风机。

5.根据权利要求4所述的一种uv炉，其特征在于，所述排废软管还连通所述冷却组件。

6.根据权利要求4所述的一种uv炉，其特征在于，所述炉体还滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王会，谭建辉，戴向荣，李运辉，
申请(专利权)人：苏州南北深科智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：