弹性波器件制造技术

弹性波器件包括压电薄膜。在该压电薄膜上具有IDT电极。绝缘层在支撑基板的主表面上围绕压电薄膜。在俯视图中，间隔层围绕压电薄膜。在间隔层上具有盖。间隔层具有外边缘和内边缘，在俯视图中内边缘比外边缘更靠近压电薄膜。绝缘层的更靠近间隔层的主表面具有倾斜区域，该倾斜区域在俯视图中在绝缘层与间隔层重叠的范围中延伸，并且在所述倾斜区域中，在与支撑基板垂直的方向上与支撑基板的第一主表面之间的距离从外边缘朝向内边缘逐渐增加。

Elastic wave devices

【技术实现步骤摘要】
弹性波器件
本专利技术总体上涉及弹性波器件，并且更具体地涉及具有支撑基板和压电薄膜的弹性波器件。
技术介绍
在支撑基板上具有包括压电薄膜在内的多层膜的弹性波器件是已知的(例如，参见日本未审查专利申请公开No.2017-011681)。日本未审查专利申请公开No.2017-011681中描述的弹性波器件包括支撑基板、多层膜、叉指换能器(IDT)电极、外部连接端子(外部连接电极)、绝缘层、支撑层(间隔层)和盖。多层膜位于支撑基板上，并且包括压电薄膜和其他层。IDT电极位于压电薄膜的一侧上。外部连接端子电耦合到IDT电极，并且还电耦合到外部。在俯视图中IDT电极占据的区域之外，并且在外部连接端子下方，支撑基板具有未被多层膜覆盖的区域。绝缘层在该区域的至少一部分中延伸。外部连接端子包括凸块下(under-bump)金属层和金属凸块中的至少一种。支撑层位于绝缘层上，围绕支撑基板的由IDT电极占据的区域。将盖紧固到支撑层上，以密封由支撑层形成的空腔。在内部具有中空空间，从而不限制由IDT电极激发的弹性波的运动，并且盖和支撑层密封该中空空间。然而，这种类型的弹性波器件具有有可能被水(例如空气中的水分)渗入的缺点。例如，该器件允许水通过绝缘层与支撑层之间的接合面渗入并到达中空空间，并且这种水可能影响器件的特性。
技术实现思路
因此，本专利技术的一个目的是提供具有改进的耐湿性的弹性波器件。根据本专利技术的优选实施例，弹性波器件包括支撑基板、压电薄膜、叉指换能器电极、布线层、绝缘层、间隔层和盖。压电薄膜直接位于支撑基板的第一主表面上或间接位于支撑基板的第一主表面上方。叉指换能器电极位于压电薄膜上。布线层电耦合到IDT电极。绝缘层位于支撑基板的第一主表面上并围绕压电薄膜。间隔层至少部分地位于绝缘层上，并且在俯视图中，或者在与支撑基板垂直的方向上或在厚度方向上向下看时，该间隔层围绕压电薄膜。盖位于间隔层上，并且在厚度方向上与IDT电极间隔开。间隔层具有外边缘和内边缘，在俯视图中内边缘比外边缘靠近压电薄膜。绝缘层的更靠近间隔层的第一主表面具有倾斜区域，所述倾斜区域在俯视图中在绝缘层与间隔层重叠的范围中延伸，并且在所述倾斜区域中，在厚度方向上与支撑基板的第一主表面之间的距离从外边缘朝向内边缘逐渐增加。根据以下参考附图对本专利技术的优选实施例的详细描述，本专利技术的其他特征、元件、特性和优点将变得更加明显。附图说明图1是根据本专利技术的实施例的弹性波器件的横截面；图2是同一弹性波器件的另一横截面；图3是同一弹性波器件的未示出盖的俯视图；图4A和图4B是用于说明制造上述弹性波器件的方法的步骤横截面图；图5是根据本专利技术的实施例的变型1的弹性波器件的横截面，其示出了该器件的主要组件；图6是根据本专利技术的实施例的变型2的弹性波器件的横截面；以及图7是根据本专利技术的实施例的变型3的弹性波器件的横截面。具体实施方式下面参考附图描述根据实施例的弹性波器件。在以下实施例或本文其他地方参考的图1至图7都是示意图。所示元件的相对尺寸和厚度不一定是按比例绘制的。实施例(1)弹性波器件的整体结构下面参考附图描述根据实施例的弹性波器件1。如图1至图3所示，根据实施例1的弹性波器件1包括支撑基板11、压电薄膜122、叉指换能器(IDT)电极13、两个布线层15、绝缘层16、间隔层17和盖18。图1是与图3中的I-I横截面相对应的横截面图。图2是与图3中的II-II横截面相对应的横截面图。在图3中，未示出在下文描述的盖18(参见图1和图2)。压电薄膜122位于支撑基板11的第一主表面111上。在俯视图中，或者当沿垂直于支撑基板11的方向(下文中称为厚度方向D1)向下看时，压电薄膜122与支撑基板11的第一主表面111的外周间隔开。IDT电极13位于压电薄膜122上。因此，压电薄膜122在厚度方向D1上位于支撑基板11的第一主表面111与IDT电极13之间。弹性波器件1在第一主表面111与IDT电极13之间具有功能性膜12，并且该功能性膜12至少包括压电薄膜122。布线层15电耦合到IDT电极13。绝缘层16位于支撑基板11的第一主表面111上并围绕压电薄膜122。间隔层17至少部分地位于绝缘层16上，并且在俯视图中呈框状围绕压电薄膜122。盖18位于间隔层17上。因此，间隔层17位于盖18的外周区域与绝缘层16之间。盖18在厚度方向D1上与IDT电极13间隔开。弹性波器件1具有由盖18、间隔层17、绝缘层16和支撑基板11上的多层体(包括压电薄膜122和IDT电极13)围绕的空间S1。弹性波器件1还具有多个(在所示示例中为两个)外部连接电极14，该外部连接电极14是用于进行外部连接的电极。外部连接电极14通过布线层15电耦合到IDT电极13。(2)弹性波器件的各组件下面参考附图描述弹性波器件1的各个组件。(2.1)支持基板如图1和图2所示，支撑基板11支撑包括功能性膜12和IDT电极13在内的多层体。支撑基板11具有第一主表面111和第二主表面112。支撑基板11由硅制成并且形成高声速支撑基板，该高声速支撑基板以比压电薄膜122传播弹性波的速度快的速度传播体波。高声速支撑基板不限于硅基板。可以使用的其他材料的示例包括：压电材料，例如氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化硅、蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂和石英；陶瓷材料，例如氧化铝、氧化锆、堇青石、莫来石、滑石和镁橄榄石；以及氧化镁金刚石。也可以使用基于这些材料中的任何一种的材料或基于这些材料的混合物的材料。(2.2)IDT电极叉指换能器(IDT)电极13可以由任何合适的金属材料制成。示例包括铝、铜、铂、金、银、钛、镍、铬、钼、钨和基于这些金属中的任何一种的合金。IDT电极13可以具有多层结构，在该多层结构中对由这些金属或合金制成的多个金属膜进行堆叠。如图3所示，IDT电极13包括一对汇流条131、132(第一汇流条131和第二汇流条132)、多个电极指133(第一电极指133)和多个电极指134(第二电极指134)。第一汇流条131和第二汇流条132是细长型的，它们的纵向轴线在与厚度方向D1垂直的方向上延伸。第一汇流条131和第二汇流条132在与厚度方向D1和它们的纵向轴线两者垂直的方向上彼此面对。多个第一电极指133连接到第一汇流条131，并且朝向第二汇流条132延伸。在所示的结构中，多个第一电极指133沿与第一汇流条131的纵向轴线垂直的方向从第一汇流条131延伸。多个第一电极指133的端部与第二汇流条132间隔开。例如，多个第一电极指133具有相等的长度和相等的宽度。多个第二电极指134连接到第二汇流条132，并且朝向第一汇流条131延伸。在所示的结构中，多个第二电极指134沿与第二汇流条132的纵向轴线垂直的方向从第二汇流条132延伸。多个第二电极指134的端部与第一汇流条131间隔开。例如，多个第二电极指134具有相等的长度和相等的宽度。在图3所示的示例中，多个第二电极指134的长度和宽度分别等于多个第一电极指133的长度和宽度。第一电极指133和第二电极指134在与第一汇流条131和第二汇流条132彼此面对的方向垂直的方向上交替，它们之间具有间隔。因此，在第一汇流条131的纵向轴线上，第一电极指133与和其紧邻的第二电极指134间隔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波器件，包括：支撑基板；直接位于所述支撑基板的第一主表面上或间接位于所述支撑基板的第一主表面上方的压电薄膜；位于所述压电薄膜上的叉指换能器电极；电耦合到所述叉指换能器电极的布线层；位于所述支撑基板的第一主表面上的绝缘层，所述绝缘层围绕所述压电薄膜；至少一部分位于所述绝缘层上的间隔层，在俯视图中，或者在与所述支撑基板垂直的方向上或在厚度方向上向下看时，所述间隔层围绕所述压电薄膜；以及位于所述间隔层上的盖，所述盖在所述厚度方向上与所述叉指换能器电极间隔开，其中：所述间隔层具有外边缘和内边缘，在俯视图中所述内边缘比所述外边缘靠近所述压电薄膜；以及所述绝缘层的更靠近所述间隔层的第一主表面具有倾斜区域，所述倾斜区域在俯视图中在所述绝缘层与所述间隔层重叠的范围中延伸，并且在所述倾斜区域中，在所述厚度方向上与所述支撑基板的第一主表面之间的距离从所述外边缘朝向所述内边缘逐渐增加。

【技术特征摘要】
2017.11.29 JP 2017-229527;2018.10.11 JP 2018-192311.一种弹性波器件，包括：支撑基板；直接位于所述支撑基板的第一主表面上或间接位于所述支撑基板的第一主表面上方的压电薄膜；位于所述压电薄膜上的叉指换能器电极；电耦合到所述叉指换能器电极的布线层；位于所述支撑基板的第一主表面上的绝缘层，所述绝缘层围绕所述压电薄膜；至少一部分位于所述绝缘层上的间隔层，在俯视图中，或者在与所述支撑基板垂直的方向上或在厚度方向上向下看时，所述间隔层围绕所述压电薄膜；以及位于所述间隔层上的盖，所述盖在所述厚度方向上与所述叉指换能器电极间隔开，其中：所述间隔层具有外边缘和内边缘，在俯视图中所述内边缘比所述外边缘靠近所述压电薄膜；以及所述绝缘层的更靠近所述间隔层的第一主表面具有倾斜区域，所述倾斜区域在俯视图中在所述绝缘层与所述间隔层重叠的范围中延伸，并且在所述倾斜区域中，在所述厚度方向上与所述支撑基板的第一主表面之间的距离从所述外边缘朝向所述内边缘逐渐增加。2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其中，所述绝缘层覆盖所述压电薄膜的与所述支撑基板远离的第一主表面的一部分，并且还覆盖所述压电薄膜的侧面。3.根据权利要求2所述的弹性波器件，其中，所述绝缘层的第一主表面在比所述倾斜区域靠近所述压电薄膜的部分内大致呈凸形。4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波器件，其中，所述倾斜区域在与所述间隔层的周向垂直的平面中具有拐点，在所述拐点处，更靠近所述外边缘并且朝向所述支撑基板大致呈凸形的曲线与更靠近所述内边缘并且朝向所述盖大致呈凸形的曲线相会。5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波器件，其中，所述倾斜区域围绕所述压电薄膜的整个外周。6.根据权利要求5所述的弹性波器件，其中，所述间隔层沿着所述绝缘层的整个外周与所述绝缘层接触。7.根据权利要求6所述的弹性波器件，其中：所述布线层包括：位于所述叉指换能器电极上的第一连接部分；以及介于所述绝缘层与所述间隔层之间并且与所述绝缘层的外周相比位于内侧的第二连接部分；所述弹性波器件还包括外部连接电极，所述外部连接电极形成在所述布线层的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂井亮介，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP