流体帘幕供应装置制造方法及图纸

提供一种难以发生流体分离，且能够均等地供应流体的流体帘幕供应装置。流体帘幕供应装置包括：贮存部(22)，其贮存IPA(29)；长边状的狭缝(23)，其将贮存于贮存部(22)的IPA(29)以帘幕状吐出；多个供应管(24)，其向贮存部(22)供应IPA(29)且为三根以上，多个供应管(24)连接于贮存部(22)中狭缝(23)的延伸方向中的中间部的至少一个位置以及两端部，各供应管(24)设有能够调节IPA(29)的流量的流量调节阀(26)。

Fluid curtain supply device

【技术实现步骤摘要】
流体帘幕供应装置
本专利技术是关于以帘幕状吐出或者喷出液体、气体的流体帘幕供应装置。
技术介绍
现有技术中，例如液晶显示装置的主要构成部件即液晶面板的制造中，应该要去除附着于基板的表面的异物，通过纯水等的清洗液清洗基板表面。在该基板清洗中，常常发生清洗不均的问题。作为抑制清洗不均的方法，有向基板表面均匀地供应清洗液的方法。具体而言，能够通过水刀以所谓的液帘幕状吐出清洗液，从而抑制清洗不均。现有技术文献专利文献专利文献1：特开平7-77677号公报
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题但是，以帘幕状供应清洗液时，会有帘幕状的清洗液的一部分就如纵向切开那样液体分离的情况(参照图5)。作为其原因一个，可以想到设为狭缝状的吐出孔整体的吐出压力的平衡不足而导致流量不足。这是因为，近几年基板尺寸逐渐大型化，与此相伴吐出清洗液的吐出孔(狭缝)也长条化，因与供应管近的位置和远的位置而难以均等地维持清洗液的吐出压力。若发生这样的液体分离，则发生筋状或者带状的清洗不均，这样的局部的清洗效果之差对液晶显示装置的品质的降低带来大的影响。本专利技术为基于上述情况而完成的，其目的在于提供一种难以发生流体分离，且能够均等地供应流体的流体帘幕供应装置。用于解决技术问题的技术方案本专利技术的流体帘幕供应装置，其包括：贮存部，其贮存流体；长边状的狭缝，其将贮存于所述贮存部的所述流体以帘幕状供应；三根以上的多个供应管，其向所述贮存部供应所述流体，所述多个供应管连接于所述贮存部中所述狭缝的延伸方向中的中间部的至少一个位置以及两端部，各所述供应管设有能够调节所述流体的流量的流量调节阀。根据这样的结构，例如即便在随着液晶用基板的大型化而贮存部以及狭缝长条化的情况下，向贮存部供应流体的流体供应管设置多个，这些多个流体供应管以在狭缝的延伸方向分散的状态连接多个位置，而且由于各流体供应管流的流体通过流量调节阀以流量均等的方式调节。因此，能够将从贮存部通过狭缝而供应的流体的流量，以均等维持在狭缝的延伸方向的整体上，且能够回避液体分离。此外，贮存部的端部不仅包含端部边缘部、端面，还包括相对中间部比中间部更邻近端部边缘部的区域。上述流体帘幕供应装置也可以包括以下的结构。也可以是各供应管包含分支部，所述分支部在流量调节阀和贮存部之间以相互对称形态分支成两个，各分支部在延伸方向排列而与贮存部连接。根据这样的结构，到与贮存部相邻位置比较少的根数来布线流体供应管，并且贮存部上将多个流体供应管在延伸方向排列而连接。即，能够通过简单的结构，以均等的状态使流体遍布于贮存部。另外，也可以是各供应管设有流量计或者压力计。根据这样的结构，能够一边确认流量计或者压力计一边控制流量调节阀的关闭状态，能够以更均等的流量来向贮存部送入流体。有益效果根据本专利技术，得到难以发生流体分离，且能够均等地供应流体的流体帘幕供应装置。附图说明图1是基板处理装置的示意图。图2是通过第一实施方式的IPA供应装置向液晶用基板吐出IPA的状态的示意立体图。图3是通过IPA供应装置向液晶用基板吐出IPA的状态的示意平面图。图4是通过第二实施方式的空气供应装置向液晶用基板喷出空气的状态的示意平面图。图5是通过现有的流体帘幕供应装置向液晶用基板吐出流体的状态的示意平面图。具体实施方式以下，基于图1至图4说明本专利技术的第一实施方式至第三实施方式。第一实施方式至第三实施方式的流体帘幕供应装置是，例如用于清洗处理在表面附着了微细的粉尘、切削屑等异物的情况的液晶用基板100的异物的、使用于基板处理装置10的装置。在第一实施方式至第三实施方式中，液晶用基板100要进行以下处理：首先涂布预处理材料，之后纯水置换预处理材料，而后进行纯水清洗。如图1所示，基板处理装置10包括多个处理槽。此外，在以下的说明中，图1的X轴方向设为液晶用基板100的输送方向(前后方向)，与纸面正交的Y轴方向设为左右方向(被输送的液晶用基板100的宽度方向)，Z轴方向设为上下方向。另外，图1的左侧设为输送方向的上游侧，图1的右侧设为输送方向的下游侧。在该基板处理装置10中，液晶用基板100在预处理材料的薄膜的形成预定面朝向上侧的水平状态下被搬入至输送方向的上游侧，以该液晶用基板100的长边方向沿着X轴方向的同时，其短边方向沿着Y轴方向的方式，通过输送装置15从输送方向的上游侧输送至下游侧。如图1所示，基板处理装置10具有四个处理槽，这些槽从上游侧(左侧)依次设有涂布处理槽11、置换槽12、清洗槽13、干燥槽14。基板处理装置10包括输送装置15，该输送装置15设有通过未图示液晶用基板100的驱动源沿着输送方向(X轴方向)输送的多个输送辊16。液晶用基板100的与预处理材料的薄膜的形成预定面(上表面)相反的一侧的板面(下面)通过输送辊16断续地支撑，并且通过输送装置15沿着输送方向依次输送各槽内的同时，在各槽内被处理。此外，在图1以及图2中，为了使图简略化，省略后述的供应管24、34、44。另外，在图3以及图4中，为了便于说明，供应管24、34的朝向与实际的朝向不同。在第一实施方式至第三实施方式中，液晶用基板100的尺寸设为G4.5至G6的尺寸。另外，输送速度设为2000～3000mm/分。<第一实施方式>第一实施方式的流体帘幕供应装置是IPA供应装置20，在涂布处理槽11中使用。涂布处理槽11为用于对水洗之前的干燥状态的液晶用基板100，使作为预处理材料的异丙醇(IPA29)的薄膜涂布的槽。在涂布处理槽11内的上方，即被搬入的液晶用基板100的上方，在输送方向中的上游侧设有与IPA供应管24连接的IPA刀21(IPA供应装置20)。通过该IPA刀21，对液晶用基板100的上表面以帘幕状吐出IPA29。IPA供应管24以及IPA刀21由被实施耐IPA处理的材质来形成。IPA刀21的内部包括有IPA贮存部22，所述IPA贮存部22沿着液晶用基板100的板面(XY平面)且与输送方向正交，而向液晶用基板100的宽度方向(Y方向)细长延伸(参照图2以及图3)。该IPA刀21以下方侧配置于下游侧的方式整体斜向地倾斜。贮存部22的下方设有用于以帘幕状吐出IPA29的长边状的狭缝23，所述狭缝23沿着贮存部22的延伸方向(Y方向)设置。该狭缝23设定为IPA29相对于液晶用基板100的板面(XY平面)以规定的倾斜角度θ朝向输送方向的下游侧(图1的右侧)，也就是使得以液体帘幕状供应。此外，θ优选为30～80°的范围内。IPA刀21的贮存部22连接有，从贮存了IPA29的未图示的IPA贮存容器经由泵延伸的多个(本实施方式中是三根)IPA供应管24(参照图3)。多个IPA供应管24中的两根是，在贮存部22中的狭缝23的延伸方向(Y方向)中的两端部附近配置的一对端部供应管24E，其余的IPA供应管24(本实施方式中是一根)是，在相同延伸方向中的中间部(本实施方式中是中央)配置的中间部供应管24M。从这些IPA贮存容器延伸的多个(三根)的各IPA供应管24(24E、24M、24E)在前端侧相互对称的形态下以U字形状分支成两根(以下，将分支了的区域设为分支部24A)，这些分支部24A的前端向狭缝23的延伸方向(Y方向)排列而分别与贮存部22的未图示的供应孔连接。更详细本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体帘幕供应装置，其特征在于，包括：贮存部，其贮存流体；长边状的狭缝，其将贮存于所述贮存部的所述流体以帘幕状供应；多个供应管，其向所述贮存部供应所述流体且为三根以上，所述多个供应管连接于所述贮存部中所述狭缝的延伸方向中的中间部的至少一个位置以及两端部，各所述供应管设有能够调节所述流体的流量的流量调节阀。

【技术特征摘要】
2017.12.28 JP 2017-2542241.一种流体帘幕供应装置，其特征在于，包括：贮存部，其贮存流体；长边状的狭缝，其将贮存于所述贮存部的所述流体以帘幕状供应；多个供应管，其向所述贮存部供应所述流体且为三根以上，所述多个供应管连接于所述贮存部中所述狭缝的延伸方向中的中间部的至少一个位置以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷池康司郎，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP