【技术实现步骤摘要】
基板处理装置、基板处理装置的控制方法、保存有程序的存储介质
本专利技术涉及基板处理装置、基板处理装置的控制方法、保存有用于使计算机执行基板处理装置的控制方法的程序的存储介质。
技术介绍
在镀覆装置中，存在对安装于基板保持件的基板进行镀覆处理的装置。在这样的镀覆装置中，在将基板安装到基板保持件时及/或使基板从基板保持件脱离时，有时基板会从规定的正确位置偏离。另外，出于基板保持件翘曲、载置基板保持件的载台翘曲、基板翘曲、或因基板表面的水滴、载台上的灰尘引起的基板保持件的倾斜等原因，也可能产生基板的错位。并且，当存在这样的错位时，可能无法对作为被镀覆对象物的基板正确地进行镀覆处理。提出过在向基板保持件安装基板时检测基板位置、并在基板错位的情况下进行修正的技术(例如，专利文献1)。专利文献1所记载的技术中，在基板保持件110的固定保持部件15中，在与基板500的缘部对应的位置设置切缺部17，并配置激光传感器1140，该激光传感器1140在基板500被置于正确位置的情况下，能够不被基板500遮住而对切缺部17的表面进行照射。在将基板500设置到了固定保持部件15上时，激光传...
【技术保护点】
1.一种基板处理装置，用于处理基板，其特征在于，具备：图像传感器，其在基板被输送到规定位置时，检测所述基板的至少一个对角线上的两个角部的位置；照明装置，其相对于位于所述规定位置的所述基板而在与所述图像传感器相反的一侧，能够配置为对所述基板的所述两个角部进行照射；以及控制装置，其基于由所述图像传感器检测出的所述两个角部的位置来判定所述基板的位置，所述控制装置根据所述基板的特性，来变更所述照明装置的输出光的光量及波长中的至少一者。
【技术特征摘要】
2017.12.13 JP 2017-2387931.一种基板处理装置，用于处理基板，其特征在于，具备：图像传感器，其在基板被输送到规定位置时，检测所述基板的至少一个对角线上的两个角部的位置；照明装置，其相对于位于所述规定位置的所述基板而在与所述图像传感器相反的一侧，能够配置为对所述基板的所述两个角部进行照射；以及控制装置，其基于由所述图像传感器检测出的所述两个角部的位置来判定所述基板的位置，所述控制装置根据所述基板的特性，来变更所述照明装置的输出光的光量及波长中的至少一者。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述基板的特性包括所述基板的材料、厚度及基板的种类中的至少一者。3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，具备将所述基板的特性和所述照明装置的输出光的光量及波长中的至少一者建立了对应的数据库。4.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，所述图像传感器配置于基板装拆部，在所述基板位于与配置于基板装拆装置的作为基板保持部件的基板保持件的上方、下方或侧方相邻的位置时，计测所述基板的位置，所述控制装置基于所述图像传感器的计测结果，进行所述基板相对于所述基板保持件的定位，然后将所述基板设置到所述基板保持件。5.一种基板处理装置，用于处理基板，其特征在于，具备：图像传感器，其在基板被输送到规定位置时，检测所述基板的至少一个对角线上的两个角部的位置；照明装置，其相对于位于所述规定位置的所述基板而在与所述图像传感器相反的一侧，能够配置为对所述基板的所述两个角部进行照射；以及控制装置，其基于由所述图像传感器检测出的所述两个角部的位置来判定所述基板的位置，所述控制装置作为所述基板的位置而计算出所述基板的中心位置及旋转角，在计算出的所述基板的中心位置及旋转角偏离规定的中心位置及规定的旋转角的情况下，在将所述基板的旋转角修正为规定的旋转角之后，将所述基板的中心位置修正为规定的中心位置。6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，所述图像传感器配置于基板装拆部，在所述基板位于与配置于基板装拆装置的作为基板保持部件的基板保持件的上方、下方或侧方相邻的位置时，计测所述基板的位置，所述控制装置基于所述基板的中心位置及旋转角的计算结果，进行所述基板相对于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：山川纯逸，对马拓也，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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