射频电源冷却装置和方法、半导体加工设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种射频电源冷却装置及方法、半导体加工设备，该装置包括冷却水路、进水管路和出水管路，以及进水阀、出水阀和吹扫装置，其中，进水阀设置在进水管路上，用于接通或断开进水管路；出水阀设置在出水管路上，用于接通或断开出水管路；吹扫装置用于在进水阀关闭后，对冷却水路进行吹扫。本发明专利技术提供的射频电源冷却装置，其可以避免射频电源内部的水蒸气凝结，从而可以提高射频电源的寿命，减少机台成本。

Radio Frequency Power Cooling Device and Method, Semiconductor Processing Equipment

【技术实现步骤摘要】
射频电源冷却装置和方法、半导体加工设备
本专利技术涉及半导体制造
，具体地，涉及一种射频电源冷却装置和方法、半导体加工设备。
技术介绍
刻蚀机是集成电路制造工艺中必不可少的设备，刻蚀机的原理为：工艺气体在上射频系统的作用下电离，产生活跃的等离子体和自由基，等离子体和自由基在下射频系统的作用下到达晶圆(wafer)表面，并与晶圆发生一系列物理、化学反应，从而完成对晶圆的加工。在刻蚀机工作时，一般主要采用上、下射频系统，上射频系统用于产生等离子体，下射频系统用于产生能够吸引等离子体朝向晶圆运动的偏压。在射频系统中，射频电源作为射频能量的供应端，其工作时会产生大量的热，因此需要在进行工艺时对射频电源进行冷却。但是，在现有技术中，在进行工艺的过程中，用于对射频电源进行冷却的冷却装置保持常开的状态，这会导致射频电源内部的水蒸气凝结，长时间使用时会导致射频电源损坏，特别是对于先进制程的脉冲电源，该现象更为明显，严重时会影响机台的正常运行，增加了机台成本。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种射频电源冷却装置和方法、半导体加工设备，其可以避免射频电源内部的水蒸气凝结，从而可以提高射频电源的寿命，减少机台成本。为实现本专利技术的目的而提供一种射频电源冷却装置，包括冷却水路、进水管路和出水管路，还包括进水阀、出水阀和吹扫装置，其中，所述进水阀设置在所述进水管路上，用于接通或断开所述进水管路；所述出水阀设置在所述出水管路上，用于接通或断开所述出水管路；所述吹扫装置用于在所述进水阀关闭后，对所述冷却水路进行吹扫。优选的，所述吹扫装置包括吹扫气路和通断阀，其中，所述吹扫气路的出口端与所述进水管路连接，用于通过所述进水管路向所述冷却水路中输送吹扫气体；所述通断阀设置在所述吹扫气路上，用于接通或断开所述吹扫气路。优选的，所述冷却水路包括第一冷却水路和第二冷却水路，二者分别用于设置在第一射频电源和第二射频电源中以分别对所述第一射频电源和所述第二射频电源冷却；所述进水管路包括并联设置的第一进水管路和第二进水管路，分别用于向所述第一冷却水路和所述第二冷却水路中输入冷却水；所述出水管路包括并联设置的第一出水管路和第二出水管路，分别用于排出所述第一冷却水路和所述第二冷却水路中的冷却水；所述进水阀包括第一进水阀和第二进水阀，二者分别设置在所述第一进水管路和所述第二进水管路上；所述出水阀包括第一出水阀和第二出水阀，二者分别设置在所述第一出水管路和所述第二出水管路上；所述吹扫气路包括总气路和两个支路，其中，所述总气路的出口端分别与两个所述支路的入口端连接，两个所述支路的出口端分别与所述第一进水管路和所述第二进水管路连接；所述通断阀包括第一通断阀和第二通断阀，二者分别设置在两个所述支路上。优选的，所述通断阀为气动阀。优选的，所述进水阀和所述出水阀均为电磁阀。作为另一个技术方案，本专利技术还提供一种射频电源冷却方法，采用本专利技术提供的上述射频电源冷却装置对射频电源进行冷却，包括以下步骤：S1，打开所述出水阀；S2，打开所述进水阀；S3，向进水管路中通入冷却水第一预设时间，关闭所述进水阀；S4，利用所述吹扫装置对所述冷却水路吹扫第二预设时间；S5，关闭所述出水阀和所述吹扫装置。优选的，在所述步骤S1之前，还包括：检测所述进水阀、所述出水阀和所述吹扫装置是否均处于关闭状态；若是，则进行所述步骤S1；若否，则关闭未关闭的所述进水阀、所述出水阀和/或所述吹扫装置。优选的，所述步骤S4具体包括：S41，利用所述吹扫装置对所述冷却水路进行吹扫；S42，判断吹扫是否达到第二预设时间，若是，则进行所述步骤S5；若否，则继续所述步骤S41。优选的，在所述步骤S5中，先关闭所述出水阀，后关闭所述吹扫装置。作为另一个技术方案，本专利技术还提供一种半导体加工设备，包括射频电源，还包括本专利技术提供的上述射频电源冷却装置。本专利技术具有以下有益效果：本专利技术提供的射频电源冷却装置，其通过借助吹扫装置用于在进水阀关闭后，对冷却水路进行吹扫，可以避免射频电源内部的水蒸气凝结，从而可以提高射频电源的寿命，减少机台成本。本专利技术提供的射频电源冷却方法，其采用本专利技术提供的上述射频电源冷却装置对射频电源进行冷却，可以避免射频电源内部的水蒸气凝结，从而可以提高射频电源的寿命，减少机台成本。本专利技术提供的半导体加工设备，其通过采用本专利技术提供的上述射频电源冷却装置对射频电源进行冷却，可以避免射频电源内部的水蒸气凝结，从而可以提高射频电源的寿命，减少机台成本。附图说明图1为本专利技术第一实施例提供的射频电源冷却装置的结构图；图2为本专利技术第二实施例提供的射频电源冷却装置的结构图；图3为本专利技术第三实施例提供的射频电源冷却方法的流程框图；图4A为本专利技术第四实施例提供的射频电源冷却方法的流程框图；图4B为本专利技术第四实施例的一个具体步骤的流程框图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图来对本专利技术提供的射频电源冷却装置和方法、半导体加工设备进行详细描述。请参阅图1，本专利技术第一实施例提供的射频电源冷却装置，用于冷却射频电源1。具体包括冷却水路(图中未示出)、进水管路2和出水管路5，以及进水阀3、出水阀6和吹扫装置4，其中，进水阀3设置在进水管路2上，用于接通或断开进水管路2；出水阀6设置在出水管路5上，用于接通或断开出水管路5；吹扫装置4用于在进水阀3关闭后，对冷却水路进行吹扫。借助上述吹扫装置4在完成工艺之后，在进水阀3关闭后，对冷却水路进行吹扫，可以避免冷却水残留在冷却水路中，从而可以避免射频电源1内部的水蒸气凝结，从而可以提高射频电源1的寿命，减少机台成本。在本实施例中，吹扫装置4包括吹扫气路41和通断阀42，其中，吹扫气路41的出口端与进水管路2连接，用于通过进水管路2向冷却水路中输送吹扫气体。该吹扫气路41的入口端与用于提供吹扫气体的气源43连接。通断阀42设置在吹扫气路41上，用于接通或断开吹扫气路41。优选的，该通断阀42可以为气动阀，以实现自动控制。另外，上述进水阀3和出水阀6均为电磁阀，以实现自动控制。上述第一实施例提供的射频电源冷却装置应用在一个射频电源的情况。但是本专利技术并不局限于此，在实际应用中，射频电源通常为两个，分别应用在上电极系统和下电极系统中。在这种情况下，请参阅图2，本专利技术第二实施例提供的射频电源冷却装置，其与上述第一实施例相比，其区别在于：冷却水路包括第一冷却水路和第二冷却水路，二者分别用于设置在第一射频电源11和第二射频电源12中以分别对第一射频电源11和第二射频电源12冷却。进水管路包括并联设置的第一进水管路21和第二进水管路22，分别用于向第一冷却水路和第二冷却水路中输入冷却水。出水管路包括并联设置的第一出水管路51和第二出水管路52，分别用于排出第一冷却水路和第二冷却水路中的冷却水。另外，第一出水管路51和第二出水管路52相互并联之后，连接在一个总出水管路OUT上；第一进水管路21和第二进水管路22相互并联之后，连接在一个总进水管路IN上。进水阀包括第一进水阀31和第二进水阀32，二者分别设置在第一进水管路21和第二进水管路22上；出水阀包括第一出水阀61和第二出水阀62，二者分别设置在第一出水管路51和第二出水管路本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种射频电源冷却装置，包括冷却水路、进水管路和出水管路，其特征在于，还包括进水阀、出水阀和吹扫装置，其中，所述进水阀设置在所述进水管路上，用于接通或断开所述进水管路；所述出水阀设置在所述出水管路上，用于接通或断开所述出水管路；所述吹扫装置用于在所述进水阀关闭后，对所述冷却水路进行吹扫。

【技术特征摘要】
1.一种射频电源冷却装置，包括冷却水路、进水管路和出水管路，其特征在于，还包括进水阀、出水阀和吹扫装置，其中，所述进水阀设置在所述进水管路上，用于接通或断开所述进水管路；所述出水阀设置在所述出水管路上，用于接通或断开所述出水管路；所述吹扫装置用于在所述进水阀关闭后，对所述冷却水路进行吹扫。2.根据权利要求1所述的射频电源冷却装置，其特征在于，所述吹扫装置包括吹扫气路和通断阀，其中，所述吹扫气路的出口端与所述进水管路连接，用于通过所述进水管路向所述冷却水路中输送吹扫气体；所述通断阀设置在所述吹扫气路上，用于接通或断开所述吹扫气路。3.根据权利要求2所述的射频电源冷却装置，其特征在于，所述冷却水路包括第一冷却水路和第二冷却水路，二者分别用于设置在第一射频电源和第二射频电源中以分别对所述第一射频电源和所述第二射频电源冷却；所述进水管路包括并联设置的第一进水管路和第二进水管路，分别用于向所述第一冷却水路和所述第二冷却水路中输入冷却水；所述出水管路包括并联设置的第一出水管路和第二出水管路，分别用于排出所述第一冷却水路和所述第二冷却水路中的冷却水；所述进水阀包括第一进水阀和第二进水阀，二者分别设置在所述第一进水管路和所述第二进水管路上；所述出水阀包括第一出水阀和第二出水阀，二者分别设置在所述第一出水管路和所述第二出水管路上；所述吹扫气路包括总气路和两个支路，其中，所述总气路的出口端分别与两个所述支路的入口端连接，两个所述支路的出口端分别与...

【专利技术属性】
技术研发人员：李华，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11