一种PVD涂层机漏电保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种PVD涂层机漏电保护装置，属于PVD涂层机领域。一种PVD涂层机漏电保护装置，包括机体和基座，机体内固定连接有反应箱，机体内设有第一铜板、第二铜板和连接铜板，基座内固定连接有处理器，处理器与连接铜板电性相连；本实用新型专利技术通过反应箱侧壁上固定连接的导电棒放电，从而对反应箱侧壁上固定连接的蒸发源电解，在汽化离子逸出时，逸出的汽化离子将会通过铜板传导，从而传导到基座内固定连接的处理器，从而隔断机体内的电源，从而保护机体内的电器元件不被损坏，增加的机体的使用寿命，同时，断电后将不会对蒸发源继续电解，从而降低机体内汽化离子的浓度，从而使汽化离子能够充分凝固沉积在活塞环上。

A Leakage Protection Device for PVD Coating Machine

【技术实现步骤摘要】
一种PVD涂层机漏电保护装置
本技术涉及PVD涂层机
，尤其涉及一种PVD涂层机漏电保护装置。
技术介绍
PVD涂层是利用电解与加热将原子或分子由源转移到基材表面上的过程，它的作用是可以使某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能，PVD涂层一般需要使用PVD涂层机。现有的PVD涂层机在使用过程中仍有许多的隐患，PVD工作过程中需要对机体内的原子或分子进行电解，且机体内的活塞环吸附能力有限，未能及时吸收的带电粒子将会通过连接处的缝隙逸出，逸出的带电粒子会对机体内的电器元件造成损坏，降低了机体的使用寿命，从而一种能够检测涂层机漏电的装置尤为重要。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中的问题，而提出的一种PVD涂层机漏电保护装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种PVD涂层机漏电保护装置，包括机体和基座，所述机体固定连接在基座上，所述机体内固定连接有反应箱，所述反应箱侧壁上开设有进气口与排气口，所述反应箱侧壁上固定连接有导电棒，所述反应箱侧壁上固定连接有蒸发源，所述反应箱内设有加热器，所述反应箱底壁上转动连接有转盘，所述转盘上固定连接有活塞环，所述机体内设有第一铜板、第二铜板和连接铜板，所述基座内固定连接有处理器，所述处理器与连接铜板电性相连。优选的，所述机体内固定连接有第一电源，所述第一电源与导电棒电性相连，所述机体内还固定连接有第二电源，所述第二电源与通过连接杆与加热器电性相连，所述机体底部内壁上固定连接有偏置电源，所述转盘底壁上固定连接有连接板，所述偏置电源与连接板电性连接。优选的，所述处理器内包含有电性检测单元、信号传输单元、信号处理单元和终端处理器，所述处理器与第一电源、第二电源、偏置电源均电性连接。优选的，所述蒸发源与反应箱的连接处固定嵌入有第一铜片，所述加热器与反应箱的连接处嵌入有第二铜片，所述转盘与反应箱的连接处嵌入有第三铜片，所述第一铜片与第二铜板固定相连，所述第二铜片与第一铜板固定相连，所述第三铜片与第一铜板和第二铜板均固定相连。优选的，所述机体侧壁上固定连接有观察窗。优选的，所述机体侧壁上固定设有通气网孔。与现有技术相比，本技术提供了一种PVD涂层机漏电保护装置，具备以下有益效果：1、该PVD涂层机漏电保护装置，在涂层机工作过程中，通过反应箱侧壁上固定连接的导电棒放电，从而对反应箱侧壁上固定连接的蒸发源电解，从而形成汽化离子，通过反应箱上的进气口通入氮气和氧气，游离在反应箱内的离子将会与氮气和氧气反应，从而在活塞环目标源上生成氮化钛和氮化铬等陶瓷薄膜，通过转盘的转动，从而带动与转盘固定相连的活塞环转动，通过机体内固定连接的第一铜板、第二铜板和连接铜板，在汽化离子逸出时，逸出的汽化离子将会通过铜板传导，从而传导到基座内固定连接的处理器，通过处理器处理后，从而隔断机体内的电源，从而保护机体内的电器元件不被损坏，增加的机体的使用寿命，同时，断电后将不会对蒸发源继续电解，从而降低机体内汽化离子的浓度，从而使汽化离子能够充分凝固沉积在活塞环上。2、该PVD涂层机漏电保护装置，在涂层机工作过程中，通过机体内固定连接的第一电源工作，从而为导电棒输电，从而为汽化离子提供了电解源，通过机体内固定连接的第二电源工作，从而对加热器加热，为汽化离子提供了热源，通过机体底部内壁上固定连接的偏置电源工作，从而为转盘的转动提供了动力。3、该PVD涂层机漏电保护装置，当汽化离子逸出时，电性检测单元将会检测到汽化离子，检测到汽化离子后将会通过信号传输单元传输漏电信号，传输的漏电信号将会通过信号处理单元处理，处理后的信号将会传递到终端处理器，通过处理器对机体内的电源进行断电处理，从而在漏电时对机体进行保护，从而增加了机体的使用寿命。4、该PVD涂层机漏电保护装置，当汽化离子逸出时，通过蒸发源与反应箱的连接处固定嵌入的第一铜片、通过加热器与反应箱的连接处嵌入的第二铜片，从而能够及时将逸出的汽化离子导出，从而能够及时将带电粒子传递到铜板上，从而为处理器的断电处理做准备。5、该PVD涂层机漏电保护装置，在涂层机工作过程中，通过机体侧壁上固定连接的观察窗，从而便于工作人员观察机体内的反应状态，从而便于工作检查与维修。6、该PVD涂层机漏电保护装置，在涂层机工作过程中，通过机体侧壁上固定连接的通气网孔，从而能有效的将机体内的蒸发热气散出，进一步增加的机体的使用寿命。附图说明图1为本技术提出的一种PVD涂层机漏电保护装置的结构示意图之一；图2为本技术提出的一种PVD涂层机漏电保护装置的结构示意图之一；图3为本技术提出的一种PVD涂层机漏电保护装置内部结构示意图；图4为本技术提出的一种PVD涂层机漏电保护装置图3中B部分放大示意图；图5为本技术提出的一种PVD涂层机漏电保护装置图3中A部分放大示意图；图6为本技术提出的一种PVD涂层机漏电保护装置图3中C部分放大示意图。图7为本技术提出的一种PVD涂层机漏电保护装置系统图。图中：1、基座；101、处理器；102、第一铜板；1021、第二铜片；103、第二铜板；1031、第一铜片；104、连接铜板；105、第三铜片；2、机体；201、观察窗；202、通气网孔；203、第一电源；204、第二电源；2041、加热器；205、偏置电源；3、反应箱；301、导电棒；302、蒸发源；303、连接杆；304、转盘；3041、连接板；305、活塞环；306、进气口；307、排气口。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。实施例1：参照图1-6，一种PVD涂层机漏电保护装置，包括机体2和基座1，机体2固定连接在基座1上，机体2内固定连接有反应箱3，反应箱3侧壁上开设有进气口306与排气口307，反应箱3侧壁上固定连接有导电棒301，反应箱3侧壁上固定连接有蒸发源302，反应箱3内设有加热器2041，反应箱3底壁上转动连接有转盘304，转盘304上固定连接有活塞环305，机体2内设有第一铜板102、第二铜板103和连接铜板104，基座1内固定连接有处理器101，处理器101与连接铜板104电性相连，在涂层机工作过程中，通过反应箱3侧壁上固定连接的导电棒301放电，从而对反应箱3侧壁上固定连接的蒸发源302电解，从而形成汽化离子，通过反应箱3上的进气口306通入氮气和氧气，游离在反应箱3内的离子将会与氮气和氧气反应，从而在活塞环305目标源上生成氮化钛和氮化铬等陶瓷薄膜，通过转盘304的转动，从而带动与转盘304固定相连的活塞环305转动，通过机体2内固定连接的第一铜板102、第二铜板103和连接铜板104，在汽化离子本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PVD涂层机漏电保护装置，包括机体（2）和基座（1），所述机体（2）固定连接在基座（1）上，其特征在于，所述机体（2）内固定连接有反应箱（3），所述反应箱（3）侧壁上开设有进气口（306）与排气口（307），所述反应箱（3）侧壁上固定连接有导电棒（301），所述反应箱（3）侧壁上固定连接有蒸发源（302），所述反应箱（3）内设有加热器（2041），所述反应箱（3）底壁上转动连接有转盘（304），所述转盘（304）上固定连接有活塞环（305），所述机体（2）内设有第一铜板（102）、第二铜板（103）和连接铜板（104），所述基座（1）内固定连接有处理器（101），所述处理器（101）与连接铜板（104）电性相连。

【技术特征摘要】
1.一种PVD涂层机漏电保护装置，包括机体（2）和基座（1），所述机体（2）固定连接在基座（1）上，其特征在于，所述机体（2）内固定连接有反应箱（3），所述反应箱（3）侧壁上开设有进气口（306）与排气口（307），所述反应箱（3）侧壁上固定连接有导电棒（301），所述反应箱（3）侧壁上固定连接有蒸发源（302），所述反应箱（3）内设有加热器（2041），所述反应箱（3）底壁上转动连接有转盘（304），所述转盘（304）上固定连接有活塞环（305），所述机体（2）内设有第一铜板（102）、第二铜板（103）和连接铜板（104），所述基座（1）内固定连接有处理器（101），所述处理器（101）与连接铜板（104）电性相连。2.根据权利要求1所述的一种PVD涂层机漏电保护装置，其特征在于，所述机体（2）内固定连接有第一电源（203），所述第一电源（203）与导电棒（301）电性相连，所述机体（2）内还固定连接有第二电源（204），所述第二电源（204）与通过连接杆（303）与加热器（2041）电性相连，所述机体（2）底部内壁上固定连接有偏置电源（205），所述转盘（304）底壁上固定连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄韶楠，周益，
申请(专利权)人：山东威胜发动机零部件有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37