【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】模块化紫外线脉冲激光源优先权本申请要求于2016年8月25日提交的美国临时申请序列号62/379,639和2017年7月31日提交的美国非临时专利申请号15/664,176的优先权，其公开内容整体通过引用结合于本文中。
本专利技术一般涉及产生紫外(UV)激光辐射束。本专利技术特别涉及产生UV脉冲激光辐射束，例如，波长短于约380纳米，脉冲持续时间小于约20皮秒。
技术介绍
激光材料加工越来越多地用于对各种材料进行切割，钻孔，标记和划线。传统的机械加工会产生粗糙的表面和不需要的缺陷，例如微裂纹，这会降低和削弱加工材料。使用聚焦脉冲激光辐射束的激光材料加工产生更精确的切口和孔，具有更高质量的边缘和壁，同时最小化不需要的缺陷的形成。科学研究和制造方面的进步正在导致激光材料加工越来越多的材料，同时要求更高的加工速度和更高的精度。使用固态增益介质的高功率激光源产生具有红外(IR)波长的基本激光辐射，通常波长大于约750纳米(nm)。通过非线性光学晶体中的谐波产生，IR激光辐射被转换成可见光和紫外(UV)激光辐射。与较长波长的辐射相比，短波长激光辐射能够钻出更小的孔，制作更精...
【技术保护点】
1.产生紫外脉冲激光辐射的装置，包括：激光源，产生脉冲激光辐射束，所述脉冲激光辐射的脉冲持续时间在约100飞秒与约200皮秒之间；频率转换模块，该频率转换模块具有气密密封的封闭的内部容积；光纤，用于将脉冲激光辐射束从激光源传输到频率转换模块；以及四硼酸锂晶体，位于频率转换模块的封闭的内部空间内，所述四硼酸锂晶体被设置成拦截脉冲激光辐射束并由此产生紫外脉冲激光辐射束。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.25 US 62/379,639;2017.07.31 US 15/664,1761.产生紫外脉冲激光辐射的装置，包括：激光源，产生脉冲激光辐射束，所述脉冲激光辐射的脉冲持续时间在约100飞秒与约200皮秒之间；频率转换模块，该频率转换模块具有气密密封的封闭的内部容积；光纤，用于将脉冲激光辐射束从激光源传输到频率转换模块；以及四硼酸锂晶体，位于频率转换模块的封闭的内部空间内，所述四硼酸锂晶体被设置成拦截脉冲激光辐射束并由此产生紫外脉冲激光辐射束。2.如权利要求1所述的装置，其中，所述紫外脉冲激光辐射束具有约266纳米的波长。3.如权利要求1所述的装置，其中，所述紫外脉冲激光辐射束具有约244纳米的波长。4.如权利要求1所述的装置，其中，所述紫外脉冲激光辐射束具有约213纳米的波长。5.如任一前述权利要求所述的装置，其中，所述频率转换模块的封闭的内部空间被抽空。6.如权利要求1至4中任一项所述的装置，其中，用干燥气体吹扫频率转换模块的封闭的内部容积。7.如权利要求6所述的装置，其中，所述干燥气体是干净的干燥空气。8.如任一前述权利要求所述的装置，其中，所述光纤具有中空芯，所述脉冲激光辐射束在其中传播。9.如权利要求8所述的装置，其中，所述中空光纤的模场直径大于约15微米。10.如权利要求8或权利要求9所述的装置，其中，所述中空芯包含具有受调节的压力的气体。11.如任一前述权利要求所述的装置，其中，离开光纤的脉冲激光辐射具有大于20皮秒的脉冲持续时间，并且该装置还包括脉冲压缩器，脉冲压缩器位于光纤和频率转换模块之间，脉冲压缩器布置成拦截脉冲激光辐射束，并将脉冲激光辐射的脉冲持续时间减小到小于约20皮秒。12.如权利要求1至10中任一项所述的装置，其中，离开光纤的脉冲激光辐射具有大于1皮秒的脉冲持续时间，并且该装置还包括脉冲压缩器，脉冲压缩器位于光纤与频率转换模块之间，所述脉冲压缩器布置成拦截脉冲激光辐射束，并将脉冲激光辐射的脉冲持续时间减小到小于约1皮秒。13.如任一前述权利要求所述的装置，还包括光束扫描器，所述光束扫描器布置成拦截和偏转紫外脉冲激光辐射束。14.如任一前述权利要求所述的装置，还包括聚焦透镜，所述聚焦透镜布置成拦截紫外脉冲激光辐射束并使紫外脉冲激光辐射束聚焦在工件上。15.如权利要求1至12中任一项所述的装置，还包括光束扫描器和聚焦透镜，所述光束扫描器布置成拦截和偏转紫外脉冲激光辐射束，所述聚焦透镜布置成拦截偏转的紫外脉冲激光辐射束并将紫外脉冲激光束聚焦到工件上。16.如权利要求15所述的装置，其中，所述紫外脉冲激光辐射束在在气密外壳中的所述频率转换模块与所述聚焦透镜之间传播。17.如权利要求16所述的装置，其中，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·克纳佩，
申请(专利权)人：相干凯撒斯劳滕有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。