一种倒U型联合炉生产高纯海绵钛的方法技术

本发明专利技术公开了一种倒U型联合炉生产高纯海绵钛的方法，采用纯度高于99.99％的四氯化钛与金属镁经过还原蒸馏，得到高纯海绵钛坨，对高纯海绵钛坨进行切削底帽边后进行破碎包装，得到高纯海绵钛，本发明专利技术在生产过程中对原料杂质含量的控制，在TiCl4提纯过程中杂质含量(重量％)可降低至1×10

A Method of Producing High Purity Sponge Titanium in Inverted U-shaped Combination Furnace

【技术实现步骤摘要】
一种倒U型联合炉生产高纯海绵钛的方法
本专利技术属于海绵钛的生产
，特别涉及倒U型炉生产高纯海绵钛的方法。
技术介绍
高纯钛是极大规模集成电路(芯片)溅射靶材所需的主要原材料之一，随着信息电子工业的不断发展，对金属钛的纯度要求越来越高，高纯钛在微电子行业主要做为布线材料，以磁控溅射靶材的形式被使用，做为磁控溅射靶材，要求高纯钛中的杂质越少越好，高纯钛锭的纯度要求99.995％(重量比)以上，才能作为靶材制作的原料。目前制取高纯钛的常见方法有克劳尔法、熔盐电解法及碘化法等，通过这些方法制得的高纯海绵钛纯度在99.95％以上，再通过后续EB精炼(电子束熔炼)成高纯钛锭(纯度达到99.995％)后用于靶材的生产。常规克劳尔法(镁还原法)生产海绵钛是在800～900℃的高温下进行的，钢制反应器中的Fe、Ni、Cr、Al、Si等杂质易进入产品海绵钛中，而使得海绵钛纯度约为99.7％左右，不能满足靶材的生产需要。日本专利特许第2863469号公报、特许第2921790号公报、CN1633511A所公布的方法均是针对克劳尔法在中心及其附近部位提取部分海绵钛作为产品，其它部位的海绵钛不能作为靶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种倒U型联合炉生产高纯海绵钛的方法，其特征是采用纯度高于99.99％的四氯化钛与金属镁经过还原蒸馏，得到高纯海绵钛坨，对高纯海绵钛坨进行切削底帽边后进行破碎包装，得到高纯海绵钛，具体为：所述纯度高于99.99％四氯化钛是采用纯度为99.9％的工业精四氯化钛通过矿物油除V、蒸馏法除FeCl3等高沸点杂质、精馏法除SiCl4等低沸点杂质制得；所述金属镁采用GB/T3499‑2011标准中的Mg9999镁锭；所述还原蒸馏过程中采用的反应器(1)器壁的内层为Q345碳钢、外层为316L不锈钢材质的复合板，反应器(1)内壁及筛板(2)先进行渗钛处理后，在反应器(1)中还设置有一上部为敞口的纯钛筒体...

【技术特征摘要】
1.一种倒U型联合炉生产高纯海绵钛的方法，其特征是采用纯度高于99.99％的四氯化钛与金属镁经过还原蒸馏，得到高纯海绵钛坨，对高纯海绵钛坨进行切削底帽边后进行破碎包装，得到高纯海绵钛，具体为：所述纯度高于99.99％四氯化钛是采用纯度为99.9％的工业精四氯化钛通过矿物油除V、蒸馏法除FeCl3等高沸点杂质、精馏法除SiCl4等低沸点杂质制得；所述金属镁采用GB/T3499-2011标准中的Mg9999镁锭；所述还原蒸馏过程中采用的反应器(1)器壁的内层为Q345碳钢、外层为316L不锈钢材质的复合板，反应器(1)内壁及筛板(2)先进行渗钛处理后，在反应器(1)中还设置有一...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁继维，李卫红，赵桂萍，徐展平，王平，梁晖，
申请(专利权)人：贵州省钛材料研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：贵州,52