【技术实现步骤摘要】
臭氧循环清洗系统
本公开涉及一种清洗装置，具体涉及一种臭氧循环清洗系统。
技术介绍
臭氧由于其自身具有强氧化性和杀菌能力，被广泛应用于清洁装置，例如现有技术中的臭氧清洗机，被广泛用于果蔬、餐具等清洗中，这种清洗机中的溶液臭氧浓度低，对人体无害，满足日常清洗使用。对于硅片、锗片以及砷化镓等晶圆的清洗，常规的低浓度臭氧清洗机难以产生作用，需要高浓度的臭氧溶液进行清洗。为产生高浓度臭氧溶液，现有设备中利用臭氧发生器生成气态臭氧，采用气液混合泵将气态臭氧与溶液溶解形成臭氧溶液，这种气液混合泵混合效率低，导致混合后的臭氧溶液浓度低，对硅片等清洁效果难以达到要求，导致清洁效率低下，因此如何提高现有技术中的臭氧清洗机的臭氧溶液浓度成为重要问题。
技术实现思路
为解决现有臭氧清洗装置臭氧溶液浓度低导致清洁效果差的技术问题，本公开提供了一种气态臭氧溶解更快、臭氧溶液浓度更高的臭氧循环清洗系统。在第一方面中，本公开提供了一种臭氧循环清洗系统，包括清洗槽，清洗槽具有进液口和排液口，进液口和排液口通过循环管路连接；循环管路上设置有：泵，用于为系统内的液体循环流动提供动力；臭氧发生器，连接循环管路...
【技术保护点】
1.一种臭氧循环清洗系统，包括：清洗槽(01)，具有进液口和排液口，所述进液口和排液口通过循环管路连接；其特征在于，所述循环管路上设置有：泵(02)，用于为所述系统内的液体循环流动提供动力；臭氧发生器(05)，连接所述循环管路，用于为所述系统提供气态臭氧；以及溶气膜(06)，设置在所述臭氧发生器(05)与所述循环管路连接处，所述气态臭氧通过所述溶气膜(06)溶解于所述液体。
【技术特征摘要】
1.一种臭氧循环清洗系统，包括：清洗槽(01)，具有进液口和排液口，所述进液口和排液口通过循环管路连接；其特征在于，所述循环管路上设置有：泵(02)，用于为所述系统内的液体循环流动提供动力；臭氧发生器(05)，连接所述循环管路，用于为所述系统提供气态臭氧；以及溶气膜(06)，设置在所述臭氧发生器(05)与所述循环管路连接处，所述气态臭氧通过所述溶气膜(06)溶解于所述液体。2.根据权利要求1所述的臭氧循环清洗系统，其特征在于，所述臭氧发生器(05)与所述循环管路连接处之前设置有调压阀(04)，用于控制进入所述连接处的液体压力。3.根据权利要求2所述的臭氧循环清洗系统，其特征在于，所述臭氧发生器(05)与所述循环管路连接处之后设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔水炜，万肇勇，黄登强，吴章平，
申请(专利权)人：苏州昊建自动化系统有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。