【技术实现步骤摘要】
一种AlN陶瓷表面金属化的方法
本专利技术涉及高功率光纤激光器用陶瓷封接领域。
技术介绍
陶瓷无法与无氧铜直接钎焊,因此在钎焊之前,需要在陶瓷表面进行金属化处理。AlN陶瓷表面金属化一般包括直接覆铜法、活性封接法、厚膜法与薄膜法等。传统的做法大都采用活性封接法,以Mo、MnO、Al2O3、SiO2和CaO等为金属化原料,乙醇、松油醇和乙基纤维素按重量比为6∶24∶1配成有机溶剂。然后在一定条件下烧结得到Mo-Mn金属化层。上述制备的金属化层常存在鼓泡、结合强度不高等不足,很难保证陶瓷金属化层的气密性和有效封接。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题在于:克服上述制备的金属化层常存在鼓泡、结合强度不高等不足,很难保证陶瓷金属化层的气密性和有效封接的缺陷,提出一种AlN陶瓷表面金属化的方法。为了解决上述技术问题,本专利技术提出下列技术方案:一种AlN陶瓷表面金属化的方法,其包括如下步骤:步骤1:将AlN陶瓷片在空气+10%氧气气氛中,于1100℃氧化60分钟,在AlN陶瓷表面得到致密的Al2O3层;步骤2:仅以Mo和MnO为金属化原料,以乙基纤维素和乙二醇按一定比例配成有机溶剂;步骤3:将金属化原料置于有机溶剂中,混合均匀,采用丝网印刷的方法涂覆到陶瓷表面;步骤4:将步骤3得到的陶瓷,在H2气氛下,一定温度下保温40分钟,即在AlN陶瓷表面得到均匀的金属化层。上述技术方案的进一步限定在于,步骤2中,乙基纤维素和乙二醇的比例为1:1或3:2。上述技术方案的进一步限定在于,步骤4中,保温温度为1400℃-1500℃。与现有技术相比,本专利技术具有下列有益效果:本专 ...
【技术保护点】
1.一种AlN陶瓷表面金属化的方法,其特征在于,其包括如下步骤:步骤1:将AlN陶瓷片在空气+10%氧气气氛中,于1100℃氧化60分钟,在AlN陶瓷表面得到致密的Al2O3层;步骤2:仅以Mo和MnO为金属化原料,以乙基纤维素和乙二醇按一定比例配成有机溶剂;步骤3:将金属化原料置于有机溶剂中,混合均匀,采用丝网印刷的方法涂覆到陶瓷表面;步骤4:将步骤3得到的陶瓷,在H2气氛下,一定温度下保温40分钟,即在AlN陶瓷表面得到均匀的金属化层。
【技术特征摘要】
1.一种AlN陶瓷表面金属化的方法,其特征在于,其包括如下步骤:步骤1:将AlN陶瓷片在空气+10%氧气气氛中,于1100℃氧化60分钟,在AlN陶瓷表面得到致密的Al2O3层;步骤2:仅以Mo和MnO为金属化原料,以乙基纤维素和乙二醇按一定比例配成有机溶剂;步骤3:将金属化原料置于有机溶剂中,混合均匀,采用丝网印刷的方法涂覆到陶瓷表面...
【专利技术属性】
技术研发人员:许乐,
申请(专利权)人:深圳市宏钢机械设备有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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