【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于对物体成像的显微镜
本专利技术涉及一种用于对物体成像的显微镜,包括通过成像光路对物体成像的物镜、用于产生照明辐射的光源以及用于监测照明辐射的能量参数的监测装置,其中所述监测装置对入射在其上的辐射的能量参数加以确定。
技术介绍
在显微镜、基于激光的方法(例如激光扫描显微镜)和光学操纵技术(例如光学镊子)中,经常需要监测照明辐射的强度。这支持测量的可重复性。已知通过布置辐射检测器而不是样本来确定光源的强度,以这种方式可以确定照明辐射的入射在物体中的强度。这样的方法例如在EP2458420B1或US8619252B2中公开。由于强度的测量只能在样品的测量之前或之后进行,因此EP1260848B1或EP1353210B1提出在光源附近的照明光路中提供强度检测器。以这种方式,还可以在样品的测量期间确定由光源发出的照明辐射的强度。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种显微镜,其提供对照明辐射的能量参数的改善的监测方案。本专利技术在权利要求1中定义。优选实施方案是从属权利要求的主题。本专利技术创造了一种用于对物体成像的反射光显微镜,包括通过成像光路对物体成像的物镜、用于产生 ...
【技术保护点】
1.一种用于对物体(12)成像的显微镜,包括:物镜(14),用于通过成像光路(32)对物体(12)成像,光源(16),用于产生照明辐射,至少一个光学元件(18),用于将照明辐射耦合输入到成像光路(32)中,使得在光学元件(18)与物镜(14)之间形成共用光路,通过共用光路使成像光路得以延伸并且照明辐射得到引导,监测装置(20),用于测量照明辐射的能量参数,其中,监测装置(20)对入射在其上的辐射的能量参数加以确定,以及分束器装置(22),其在照明方向上在共用光路中布置在物镜(14)前面,并从照明辐射将测量辐射耦合输出到监测装置(20),共用光路在耦合输出测量辐射的分束器装置 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.11.22 DE 102016122529.01.一种用于对物体(12)成像的显微镜,包括:物镜(14),用于通过成像光路(32)对物体(12)成像,光源(16),用于产生照明辐射,至少一个光学元件(18),用于将照明辐射耦合输入到成像光路(32)中,使得在光学元件(18)与物镜(14)之间形成共用光路,通过共用光路使成像光路得以延伸并且照明辐射得到引导,监测装置(20),用于测量照明辐射的能量参数,其中,监测装置(20)对入射在其上的辐射的能量参数加以确定,以及分束器装置(22),其在照明方向上在共用光路中布置在物镜(14)前面,并从照明辐射将测量辐射耦合输出到监测装置(20),共用光路在耦合输出测量辐射的分束器装置(22)与物镜(14)之间没有光学成像元件。2.根据权利要求1所述的显微镜,其特征在于用于自动聚焦装置(24)的接口(23),所述自动聚焦装置用于确定物体(12)中的焦点位置,分束器装置(22)具有双重功能,这在于:分束器装置一方面在物镜侧将自动聚焦辐射耦合到接口/从接口耦合到成像光路(32)中,并且另一方面在光源侧将测量辐射耦合到监测装置(20),并且其可选地,显微镜(1)具有能够耦联到接口上的自动聚焦装置(24)。3.根据权利要求1或2所述的显微镜,其特征在于,在分束器装置(22)与物镜(14)之间的共用光路中设置快门(38),所述快门在一操作状态下阻挡照明辐射。4.根据前述权利要求中任一项所述的显微镜,其特征在于,分束器装置(22)布置在光学元件(18)与物镜(14)之间的无限空间中。5.根据前述权利要求中任一项所述的显微镜,其特征在于监测光阑和控制装置(28),所述监测光阑布置在分束器装置(22)与监测装置(20)之间并且监测光阑的开口在位置和/或尺寸方面是能够调节的,所述控制装置调整监测光阑的开口以适配于物镜(14)的有效孔径。6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:迈克尔·古格拉,
申请(专利权)人:卡尔蔡司显微镜有限责任公司,
类型:发明
国别省市:德国,DE
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