【技术实现步骤摘要】
201610187670
【技术保护点】
一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构,其特征在于,包括:具有侧部接口的镜筒和通过所述侧部接口安装在所述镜筒上的调整部件,所述调整部件的正视面形状为直角梯形,所述调整部件的一部分位于所述镜筒内部;所述调整部件的正视面的上底与位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的腰之间的夹角为135°;位于所述镜筒内部的调整部件上集成有TEM荧光屏和STEM探测器;所述TEM荧光屏安装于位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的腰面上,所述STEM探测器安装于位于所述镜筒内部的所述调整部件构的正视面的上底面上或下底面上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王义林,张大梁,周向志,
申请(专利权)人:镇江乐华电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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