一种压电叠堆式气泵制造技术

本发明专利技术属于微流体传输领域，具体涉及一种压电叠堆式气泵。泵体上设有出入孔、至少两个储气室及由体腔构成的体腔组，从入孔到出孔的体腔组所含体腔数依次减少；体腔组中靠近入孔和出孔的体腔上分别设有进出口腔，出入孔分别与其相邻体腔组的出口腔和进口腔连通；相邻体腔组的进出口腔相连通；进出口腔与其内所装阀片构成进出口阀；压盖将隔膜压在泵体上，压盖的导向孔和泵体的体腔对称配置在隔膜两侧，隔膜与体腔构成泵腔，同一体腔组内的泵腔并联成泵腔组；导向孔中带驱动及传感单元的压电叠堆将活塞压接在隔膜上；各泵腔组中的压电叠堆经不同的导线组与驱动电源相连；驱动电源输出直流电压信号并根据传感单元感应电压的变化情况换向。

A piezoelectric stacked air pump

【技术实现步骤摘要】
一种压电叠堆式气泵
本专利技术属于微量气体传输与控制领域，具体涉及一种压电叠堆式气泵。
技术介绍
微型气体压缩与输送装置也称为微型空压机、气泵、气体压缩装置等，主要用于气体采样、气体循环与供给、喷气冷却、负压保持、充气增压、加氧等诸多方面。根据工作原理，常用气体压缩装置可分为隔膜式、电磁式、叶轮式、活塞式等，其共性特点是都包含机械传动部分，故结构复杂，体积、重量及功耗都较大，且存在较大的噪音和电磁干扰，不便于结构的微小化与集成化，在微机电领域的应用受到了一定的制约。近年来，人们相继提出了多种类型的压电式微型气体压缩与输送装置，如中国专利201410104036.4、201410577904.0、201510649212.7、201710697409.7等。尽管上述气体压缩与输送装置结构原理及性能差异较大，但都是利用晶片型压电振子在电场作用下产生的弯曲变形实现气体驱动的，因压电振子弯曲变形所引起的泵腔容积变化量相对较小，现有压电式气体压缩装置可实现的输出流量及压力还很低，尤其是不能同时获得较大的输出流量和较高的输出压力，推广应用受到了一定的制约。
技术实现思路
为提高供气压力，本专利技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电叠堆式气泵，由泵体、压盖、压电叠堆、活塞、阀片、隔膜及密封圈构成，其特征在于：泵体上设有出入孔、至少两个由体腔构成的体腔组及与体腔组数量相等的储气室，入孔与各体腔组及出孔依次串联，从入孔到出孔的各体腔组所含体腔数量依次减少；各体腔组中靠近入孔一侧的体腔上设有进口腔、靠近出孔一侧的体腔上设有与储气室连通的出口腔，入孔与其相邻体腔组的进口腔连通，出孔与其相邻的体腔组的出口腔连通；同一体腔组内的各体腔经内通孔连通，两相邻体腔组的进出口腔经外通孔连通；进出口腔与其内所安装的阀片分别构成进出口阀；压盖装在泵体上并将隔膜压接在泵体上，压盖的导向孔的直径与泵体的体腔的直径相等，导向孔和体腔对称配...

【技术特征摘要】
1.一种压电叠堆式气泵，由泵体、压盖、压电叠堆、活塞、阀片、隔膜及密封圈构成，其特征在于：泵体上设有出入孔、至少两个由体腔构成的体腔组及与体腔组数量相等的储气室，入孔与各体腔组及出孔依次串联，从入孔到出孔的各体腔组所含体腔数量依次减少；各体腔组中靠近入孔一侧的体腔上设有进口腔、靠近出孔一侧的体腔上设有与储气室连通的出口腔，入孔与其相邻体腔组的进口腔连通，出孔与其相邻的体腔组的出口腔连通；同一体腔组内的各体腔经内通孔连通，两相邻体腔组的进出口腔经外通孔连通；进出口腔与其内所安装的阀片分别构成进出口阀；压盖装在泵...

【专利技术属性】
技术研发人员：王淑云，唐红艳，吴正韬，毛燕飞，柴超辉，曾平，
申请(专利权)人：浙江师范大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33