一种串联腔体阵列式微型压电气体压缩机制造技术

本发明专利技术属于微型气体压缩机技术领域，具体涉及一种串联腔体阵列式微型压电气体压缩机，整体由外套、冷却套、上板、中间板、下板、密封圈、单向阀、第四单向阀、压电振子构成；上板的下端面与中间板的上端面之间从左到右依次安装有第一压电振子和第三压电振子，中间板的下端面与下板的上端面之间安装有第二压电振子，第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子的直径依次减小。冷却套与盖板之间涂有导热胶，冷却套外表面设置有冷却管道，冷却套外侧设置有外套。特色及优势：前一级腔体吸入大体积气体以充足供应下一级腔体压缩，可有效累积各级腔体气体压缩量，能量转换效率高，能量密度大，且可同时实现大流量和高压力气体输出。

【技术实现步骤摘要】
一种串联腔体阵列式微型压电气体压缩机
本专利技术属于微型气体压缩机
，具体涉及一种串联腔体阵列式微型压电气体压缩机。
技术介绍
由于微型压缩机体积小、结构紧凑以及高的控制精度等优势，目前已广泛应用于电子冷却、化学合成、气体输送以及航空航天等领域。中国专利CN105321404A提出了一种电磁式压缩机，主要包括固定壳体、进气管、出气管、气缸、活塞、传动架、衔铁铁芯和电磁线圈，该电磁式压缩机控制容易，电磁力大；中国专利CN207048923U提出一种单驱动式天然气用微型循环压缩机，采用立式结构进行压缩机结构设计，通过电机驱动，占地面积小，便于维护和搬运。但电机驱动的微型气体压缩机结构复杂、体积大、功耗高且存在电磁干扰，不便用于系统的集成化和微型化。人们又相继提出了气动式和静电驱动式气体压缩机。其中，气动式需要单独气源进行驱动，无法用于便携式或者独立仪器设备；静电驱动式因膜片驱动力小且需要高电压驱动，很难输出高压力气体。微型压电气体压缩机结构简单、功耗低、能量密度高、无电磁干扰且易于控制，是构造微型气体压缩机的有效方法。然而现有微型压电气体压缩机多为单腔体结构，导致压缩机的压升能力不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种串联腔体阵列式微型压电气体压缩机，其特征在于：整体由外套、冷却套、上板、中间板、下板、密封圈、第一单向阀、第二单向阀、第三单向阀、第四单向阀、第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子构成；所述上板、中间板和下板从上到下依次相连，上板与中间板之间从左到右依次安装有第一压电振子和第三压电振子，中间板与下板之间安装有第二压电振子；所述第一压电振子、第三压电振子与中间板之间分别设置有第一腔、第三腔，所述第二压电振子与中间板之间设置有第二腔，第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子的变形分别作用于第一腔、第二腔、第三腔；所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子均由金属基板和压电陶瓷片同心粘结...

【技术特征摘要】
1.一种串联腔体阵列式微型压电气体压缩机，其特征在于：整体由外套、冷却套、上板、中间板、下板、密封圈、第一单向阀、第二单向阀、第三单向阀、第四单向阀、第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子构成；所述上板、中间板和下板从上到下依次相连，上板与中间板之间从左到右依次安装有第一压电振子和第三压电振子，中间板与下板之间安装有第二压电振子；所述第一压电振子、第三压电振子与中间板之间分别设置有第一腔、第三腔，所述第二压电振子与中间板之间设置有第二腔，第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子的变形分别作用于第一腔、第二腔、第三腔；所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子均由金属基板和压电陶瓷片同心粘结而成；所述第一压电振子、第二压电振子...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈松，俞迈，罗罕频，何力钧，
申请(专利权)人：浙江师范大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33