一种压电气体泵制造技术

本发明专利技术属于微流体传输领域，具体涉及一种压电气体泵。泵体上设有出入孔、至少两个直径依次减小体腔及与体腔数量相等的储气室，体腔上设有进口腔和与储气室连通的出口腔，出入孔分别与其相邻体腔的出口腔和进口腔连通，相邻体腔的进出口腔连通；进出口腔与其内所装阀片构成进出口阀；两个泵体相连接并经密封圈将换能器压接在其体腔内，换能器为单个压电振子或由两个压电振子及其中间压接的垫圈构成，压电振子包含驱动器和传感器；换能器及密封圈与泵体构成泵腔，一个泵体上的泵腔串联成一个泵单元，两个泵单元并联；各驱动器及传感器经不同导线组与驱动电源相连，驱动电源输出给驱动器直流电压信号并根据传感器感应电压的变化使驱动电压换向。

A Piezoelectric Gas Pump

The invention belongs to the field of microfluid transmission, in particular to a piezoelectric gas pump. The pump body is provided with an inlet and outlet hole, at least two chambers with reduced diameters in turn, and an outlet cavity connected with the gas storage chamber. The inlet and outlet holes are respectively connected with the outlet cavity and the inlet and outlet cavity of the adjacent body cavity, and the inlet and outlet cavity of the adjacent body cavity is connected. The inlet and outlet cavity is connected with the valve pieces installed in the adjacent body cavity, and the two pump bodies are connected and densely passed. The sealing ring presses the transducer into its body cavity. The transducer is composed of a single piezoelectric oscillator or two piezoelectric oscillators and gaskets pressed in the middle. The piezoelectric oscillator contains actuators and sensors. The transducer and sealing ring constitute a pump cavity with the pump body. The pump cavity on one pump body is connected in series with one pump unit, and the two pump units are connected in parallel. The actuators and sensors are connected with the driving electricity through different conductor groups. The source is connected, and the driving power is output to the DC voltage signal of the driver, and the driving voltage is reversed according to the change of the inductance voltage of the sensor.

【技术实现步骤摘要】
一种压电气体泵
本专利技术属于微量气体传输与控制领域，具体涉及一种压电气体泵。
技术介绍
微型气体压缩与输送装置也称为微型气体压缩机、泵、气体压缩装置等，主要用于气体采样、气体循环与供给、喷气冷却、负压保持、充气增压、加氧等诸多方面。根据工作原理，常用气体压缩装置可分为隔膜式、电磁式、叶轮式、活塞式等，其共性特点是都包含机械传动部分，故结构复杂，体积、重量及功耗等都较大，且存在较大的噪音和电磁干扰，不便于结构的微小化与集成化，在微机电领域的应用受到了一定的制约。近年来，人们相继提出了多种类型的压电式微型气体压缩与输送装置，如中国专利201110255709.2、201410104036.4、201410577904.0、201510649212.7等。尽管上述气体压缩与输送装置结构原理及性能差异较大，但都是利用晶片型压电振子在电场作用下产生的弯曲变形实现气体驱动的，因压电振子弯曲变形所引起的泵腔容积变化量相对较小，现有压电式气体压缩装置可实现的输出流量及压力还很低，尤其是不能同时获得较大的输出流量和较高的输出压力，推广应用受到了一定的制约。
技术实现思路
为提高供气压力，本专利技术提出一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电气体泵，其特征在于：泵体上设有出入孔、至少两个体腔及与体腔数量相等的储气室，入孔与各体腔及出孔依次串联，从入孔到出孔的各体腔的直径依次减小；各体腔上都设有进口腔和与储气室连通的出口腔，入孔与其相邻体腔的进口腔连通，出孔与其相邻的体腔的出口腔连通，两相邻体腔的进出口腔连通；进出口腔与其内所装阀片分别构成进出口阀；两个泵体经螺钉连接且其直径相同的体腔相对安装，两个泵体经密封圈将换能器压接在其体腔内，换能器为单个压电振子或由两个压电振子及其中间压接的垫圈构成，压电振子由基板和压电片粘接而成，压电片表面电极包括驱动单元和传感单元，压电片的驱动单元和传感单元与基板构成的复合层分别构成驱动器和...

【技术特征摘要】
1.一种压电气体泵，其特征在于：泵体上设有出入孔、至少两个体腔及与体腔数量相等的储气室，入孔与各体腔及出孔依次串联，从入孔到出孔的各体腔的直径依次减小；各体腔上都设有进口腔和与储气室连通的出口腔，入孔与其相邻体腔的进口腔连通，出孔与其相邻的体腔的出口腔连通，两相邻体腔的进出口腔连通；进出口腔与其内所装阀片分别构成进出口阀；两个泵体经螺钉连接且其直径相同的体腔相对安装，两个泵体经密封圈将换能器压接在其体腔内，换能...

【专利技术属性】
技术研发人员：王淑云，吴亚奇，刘乐乐，温建明，唐红艳，程光明，
申请(专利权)人：浙江师范大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33