下载一种压电气体泵的技术资料

文档序号:21371125

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本发明属于微流体传输领域,具体涉及一种压电气体泵。泵体上设有出入孔、至少两个直径依次减小体腔及与体腔数量相等的储气室,体腔上设有进口腔和与储气室连通的出口腔,出入孔分别与其相邻体腔的出口腔和进口腔连通,相邻体腔的进出口腔连通;进出口腔与其内...
该专利属于浙江师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江师范大学授权不得商用。

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